ICS31.200 CCSL59 中华人民共和国国家标准 GB/T47719—2026 微机电系统(MEMS)技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法 Micro-electromechanicalsystems(MEMS)technology—Testmethodsofthe performancesforMEMScapacitivemicrophone 2026-05-25发布 2026-09-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 试验条件 1 ………………………………………………………………………………………………… 4.1 一般要求 1 …………………………………………………………………………………………… 4.2 大气条件 1 …………………………………………………………………………………………… 4.3 其他环境条件 2 ……………………………………………………………………………………… 4.4 测试系统 2 …………………………………………………………………………………………… 5 麦克风芯片圆片级性能试验方法 3 ……………………………………………………………………… 6 麦克风性能试验方法 3 …………………………………………………………………………………… 6.1 输出阻抗 3 …………………………………………………………………………………………… 6.2 灵敏度 4 ……………………………………………………………………………………………… 6.3 本底噪声 5 …………………………………………………………………………………………… 6.4 信噪比 5 ……………………………………………………………………………………………… 6.5 声学过载点 5 ………………………………………………………………………………………… 6.6 动态范围 5 …………………………………………………………………………………………… 6.7 频率响应 5 …………………………………………………………………………………………… 6.8 极性 6 ………………………………………………………………………………………………… 6.9 等效输入噪声 6 ……………………………………………………………………………………… 6.10 总谐波失真 6 ………………………………………………………………………………………… 6.11 电源抑制比 6 ………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T47719—2026前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出。 本文件由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)和全国集成电路标准化技术委员会 (SAC/TC599)共同归口。 本文件起草单位:北京大学、北京智芯传感科技有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、中机生 产力促进中心有限公司、瑞声声学科技(深圳)有限公司、歌尔微电子股份有限公司、苏州敏芯微电子技 术股份有限公司、天津新智感知科技有限公司、北京大学南昌创新研究院、中北大学、无锡华润上华科技 有限公司、广州增芯科技有限公司、中国航天时代电子有限公司、北京赛微电子股份有限公司、安徽奥飞 声学科技有限公司、无锡华润微电子有限公司、北京科技大学、广东鼎创智造科技有限公司、湖南捷力泰 科技有限公司、安徽京芯传感科技有限公司、东莞市瑞勤电子有限公司、共达电声股份有限公司。 本文件主要起草人:张威、张亚婷、顾学强、李根梓、张金宇、宋青林、李刚、曹笈、赵晓东、冯艳露、 杨明、陈得民、黄天云、石云波、胡永刚、彭坤、张森、邢朝洋、李立伟、魏宝节、金文超、闻小龙、荣根兰、 王娜、方亮、周元东、杨硕、万景明。 ⅢGB/T47719—2026微机电系统(MEMS)技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法 1 范围 本文件描述了MEMS电容式麦克风圆片级和器件级性能的试验条件和试验方法。 本文件适用于在空气中使用、频率范围为20Hz~20kHz的MEMS电容式麦克风。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T3947 声学名词术语 GB/T12060.1—2017 声系统设备 第1部分:概述 GB/T26111 微机电系统(MEMS)技术 术语 3 术语和定义 GB/T3947和GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 MEMS电容式麦克风 MEMScapacitivemicrophone 由MEMS电容式麦克风芯片、专用集成电路(ASIC)、抗干扰电路等部分组成,并通过保护外壳和 基板封装成的声学器件。 3.2 声学过载点 acousticoverloadpoint 麦克风总谐波失真(THD)达到10%时所对应的输入声压级。 注:也称为最大声学输入。 4 试验条件 4.1 一般要求 本文件规定的默认测量条件为自由场,若包含额外条件,应明确指定。 为了获得正确的测量条件,应根据器件制造商提供的要求进行操作。 4.2 大气条件 温度:15℃~35℃; 相对湿度:20%~80%; 1GB/T47719—2026大气压力:86kPa~106kPa。 4.3 其他环境条件 除上述大气条件外,还应在下述环境条件下进行试验: a) 磁场:试验场地除地磁场外,应无影响测试结果的其他外界磁场; b) 机械振动:试验场地应无影响测试结果的机械振动。 4.4 测试系统 MEMS电容式麦克风(以下简称“麦克风”)性能测试系统见图1。 图1 测试系统图 声源中心与麦克风应位于同一水平线,距离宜为0.5m或1m。音频分析仪宜放在消声室或半消 声室外。测试前,应使用标准麦克风校准测试系统。 测试系统包括以下内容。 a) 声源。对于噪声类测试,声源的噪声应低于被测麦克风等效输入噪声10dB以上。对于总谐 波失真测试,声源的总谐波失真应低于被测麦克风的1/10。 b) 标准麦克风。在20Hz~20kHz频率范围内,频响曲线平坦,偏差在±0.5dB范围内;灵敏度 长期稳定性:≤0.02dB/年;声学过载点≥140dB;本底噪声≤20dB。 c) 直流电源。电压波动宜控制在±0.1%以内,纹波系数小于0.1%。 d) 音频分析仪。幅值精度宜高于±0.01dB,频率精度宜高于0.005%,谐波失真不高于-110dB,有 效测量频率范围应覆盖5次谐波频率或更高。 注:音频分析仪也可用信号发生装置和频谱分析仪组成的系统代替。 e) 电压表。电压分辨力宜优于麦克风空载输出电压和带负载时输出电压差值的1%,量程选择 为待测电压的1倍~2倍。 f) 示波器。用于观察和分析麦克风的输出波形,判断麦克风的极性。 2GB/T47719—2026