ICS13.040.35 CCSC70 中华人民共和国国家标准 GB/T47506—2026 洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求 Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments— Technicalrequirementsformicrovibrationcontrol 2026-04-30发布 2026-11-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 引言 Ⅳ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 一般要求 2 ………………………………………………………………………………………………… 5 控制方法和措施 2 ………………………………………………………………………………………… 6 材料要求 3 ………………………………………………………………………………………………… 7 作业要求 3 ………………………………………………………………………………………………… 8 检测和监测 4 ……………………………………………………………………………………………… 附录A(资料性) 典型精密设备及仪器容许振动值 5 …………………………………………………… 附录B(资料性) 电子洁净厂房动力设备和管道振动控制及隔振措施示例 9 ………………………… 参考文献 10 …………………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T47506—2026前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。 本文件起草单位:中国电子工程设计院股份有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、中国 电子系统工程第二建设有限公司、武汉华康世纪洁净科技股份有限公司、中国工程物理研究院激光聚变 研究中心、中国标准化协会、亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司、中铁上海设计院集团有限公司、中 国电子系统工程第三建设有限公司、中建研科技股份有限公司、上海市室内环境净化行业协会、中国计 量科学研究院、上海朗脉洁净技术股份有限公司、湖南省计量检测研究院、惠瑞净化科技(江苏)有限公 司、信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司、北京中科航建环境工程技术有限公司、关 音实业(上海)有限公司。 本文件主要起草人:袁晓东、吴耀辉、郝胤博、秦敬伟、吕佐超、董连东、林新智、霍金鹏、佟昊、 李锡伟、王伟、汪洪军、黄荷、王伟伟、白冰、王芳、范军琳、孙炎、陈宁、张琦龙。 ⅢGB/T47506—2026引 言 洁净室及相关受控环境用于将室内污染控制在适当水平,以完成对污染敏感的活动,是电子、航空 航天、食品、医药、医疗卫生等行业生产、科研必需的环境条件,其建造难度大、技术复杂、能耗高、投资 大。随着科技的发展,洁净室及相关受控环境对污染敏感的种类越来越多,微振动作为污染源之一,已 成为洁净室及相关受控环境质量的重要影响因素。 洁净室微振动由外部振源和内部振源引起,其中外部振源包括交通、施工、风、地脉动、潮汐等,内部 振源包括动力设备(风机、空调机组、冷水机组、空压机等)、动力管道(液体管道、气体管道等)、吊车、物 料传输系统、人员、生产设备等。洁净室微振动会影响洁净室内的生产、实验、测量等活动,降低洁净室 内精密设备的加工精度、精密设备及仪器的测量精度,影响精密设备及仪器的稳定性和使用寿命,降低 产品的良率。洁净室内微振动控制措施不当时,例如材料选择不当、刚性基台未按要求开气流孔、隔振 缝(沟)密封不严等,会影响洁净室的气流流型和洁净度。 本文件针对洁净室及相关受控环境提出了微振动控制的方法、措施、材料要求、作业要求、检测和监 测要求等内容,以保证洁净室运行可靠,满足生产、科研的工艺和使用要求。 ⅣGB/T47506—2026洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求 1 范围 本文件规定了洁净室及相关受控环境微振动控制的方法和措施、材料、作业、检测和监测要求。 本文件适用于洁净室及相关受控环境的微振动控制。 2 规范性引用文件 本文件没有规范性引用文件。 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 微振动 microvibration 影响精密设备或仪器正常运行的振动幅值较低的振动。 3.2 微振动控制 microvibrationcontrol 为保证精密设备或仪器正常工作所采取的降低振动影响的方法和措施。 3.3 容许振动值 allowablevalueofvibration 保证精密设备或仪器能正常运行的支承位置处最大振动限值。 3.4 主动隔振措施 activevibrationisolationmeasure 为减小振源对精密设备或仪器产生振动影响而对振源采取的隔振措施。 3.5 隔振器 vibrationisolator 具有隔离和衰减振动功能的支承元件。 3.6 隔振装置 vibrationisolationdevice 由隔振器(3.5)、阻尼器、传感器、控制器、作动器、信号处理器、隔振台座等元器件形成的隔振组 合体。 3.7 洁净室结构 cleanroomstructure 由洁净室地基基础、梁、板、柱、墙、支撑、围护等构件组成的体系。 1GB/T47506—20264 一般要求 4.1 洁净室生产、实验、测量用精密设备及仪器的容许振动值应根据其技术要求确定。典型精密设备 及仪器的容许振动值见附录A。 4.2 洁净室结构、精密设备及仪器隔振装置的微振动控制要求应根据洁净室生产、实验、测量用精密设 备及仪器的容许振动值或工艺要求确定。 4.3 应根据洁净室的微振动控制要求,识别出可能影响洁净室微振动环境的因素,并进行风险评估。 5 控制方法和措施 5.1 控制方法 洁净室微振动控制方法如下: ———洁净室内部和外部振源可通过隔振或传递路径阻隔等方法进行; ———洁净室结构可通过增加质量、提高刚度、增加阻尼、设置吸振器等方法进行; ———精密设备及仪器可通过被动控制、主动控制、被动和主动混合控制隔振方法进行。 5.2 控制措施 5.2.1 振源控制 洁净室内部和外部的振源控制采取以下措施: ———洁净室宜远离高铁、地铁、高速公路、重型机械制造厂房等强振源区域; ———可设置隔振沟、隔振屏障隔离洁净室外部的交通振动、施工振动; ———可设置隔振缝降低洁净室外部动力设备和管道的振动影响; ———可设置隔振垫、钢弹簧或空气弹簧等隔振装置隔离洁净室内部和外部的动力设备振动、管道 振动; 注:电子洁净厂房的动力设备和管道振动控制及隔振措施示例见附录B。 ———当空调机房、动力站房的动力设备和管道运行产生的噪声较大时,宜铺设浮筑板、采用吸声墙 板和吸声吊顶等减小噪声和振动; ———动力设备宜集中分区布置,远离洁净室内有微振动控制要求的精密设备及仪器; ———宜采用运行平稳、低噪声的动力设备; ———动力管道宜在穿过洁净室墙板位置处设置隔振支吊架,在进入洁净室前宜设置柔性接头; ———动力管道应控制管道内介质的流速。 5.2.2 洁净室结构微振动控制 洁净室结构微振动控制符合下列规定: ———洁净室地基基础宜建立在土质较坚硬或基岩埋藏较浅的地区; ———在洁净室内有微振动控制要求的精密设备及仪器区域,宜采用减小柱距、增加梁柱的截面尺寸 和楼板厚度、设置剪力墙或支撑等增加刚度和质量的措施; ———应根据洁净度要求确定洁净室楼盖结构的气流开孔数量和尺寸; ———洁净壁板、高架地板应保证足够刚度。 2GB/T47506—2026