ICS29.045 CCSH 82 团 体 标 准 T/ZZB 3947—2025 硅舟 Silicon Boat 2025 -12- 20发布 2025- 12-31实施 浙江省质量协会   发 布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/ZZB 3947 —2025 I目 次 前 言 ........................................................................................................................................................... II 1 范围 ..................................................................................................................................................................... 1 2 规范性引用文件 ................................................................................................................................................. 1 3 术语和定义 ......................................................................................................................................................... 1 4 产品分类 ............................................................................................................................................................. 1 5 基本要求 ............................................................................................................................................................. 1 6 技术要求 ............................................................................................................................................................. 2 7 试验方法 ............................................................................................................................................................. 3 8 检验规则 ............................................................................................................................................................. 4 9 标志、包装、运输、贮存 ................................................................................................................................. 5 10 质量承诺 ........................................................................................................................................................... 5 附 录 A （规范性） 硅舟平面度、平行度、垂直度和表面粗糙度试验方法 ...................................... 6 全国团体标准信息平台 T/ZZB 3947—2025 II前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由浙江省质量协会归口。 本文件主要起草单位：杭州盾源聚芯半导体科技有限公司。 本文件参与起草单位：浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司。 本文件主要起草人：刘志彪、祝建敏、密思、郑小松、范明明、祝军、周波、李熊、龚益文、 王双玉、刘永南、王少凡、田怡晨、王猛、林霜、陈东、丁纺纺、安振波、谢世伟、谢龙成、叶杭 峰、李丽明、毛丽宏、曾晓峻、石江全、陆金宝、姜财贵、葛自荣、王世泽、俞凯鑫、童政远、赵 丹青。 本文件评审专家组长：邹新强。 全国团体标准信息平台 T/ZZB 3947 —2025 1硅舟 1 范围 本文件规定了硅舟的产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 贮存以及质量承诺。 本文件适用于硅单晶、硅多晶加工成的应用于氧化、扩散、退火及化学气相沉积（CVD）工艺直径 150 mm～350 mm的拼接式、熔接式硅舟。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 14264 半导体材料术语 GB/T 23805 精细陶瓷室温拉伸强度试验方法 GB/T 26572 电子电气产品中限用物质的限量要求 GB/T 29505 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 GB/T 39145 硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 GB/T 40279 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 ISO 1997 产品几何技术规范 表面结构 轮廓法 表面结构的术语、定义及参数（Granulated cork and cork powder-Classification, properties and packing） 3 术语和定义 GB/T 14264界定的术语和定义适用于本文件。 4 产品分类 硅舟按组装方式分为拼接式、熔接式，拼接式硅舟通过卡扣或螺纹的连接方式组装。 5 基本要求 5.1 研发设计 5.1.1应具备产品全生命周期的设计能力和制程能力，包括产品结构设计、工艺流程设计以及工装治 具设计等。 5.1.2应具备使用计算机辅助软件对产品的三维结构、尺寸特征等开展设计的能力。 5.1.3应具备对产品模型进行设计及应用场景模拟仿真验证的能力。 5.2 原材料 全国团体标准信息平台 T/ZZB 3947—2025 25.2.1应满足 GB/T 26572对限用物质限量的要求。 5.2.2硅材料应符合表 1 的规定或由供需双方协商确定。 表 1 硅材料要求 项目 硅单晶 硅多晶 生长方式 硅单晶直拉法（CZ）铸锭多晶硅（DS），硅多晶气相沉积法（CVD）， 硅多晶直拉法（CZ） 氧含量（以原子数计） ＜1.18×1018atoms/cm3＜0.8×1018atoms/cm3 碳含量（以原子数计） ＜5.0×1016atoms/cm3＜5.0×1016atoms/cm3 基体金属杂质含量（Fe、Cr、 Ni、Cu、Zn、Na总量）≤20ng/g ≤10ng/g 晶体缺陷 无位错、滑移、孪晶、旋涡等 无夹杂物、晶花均匀 5.3 工艺装备 5.3.1应采用自动化机械加工、检测、清洗等工艺设备。 5.3.2生产环境应满足温度（21 ±3）℃，相对湿度≤80%。 5.3.3成品检验包装车间应为洁净车间，达到百级以上洁净度标准。 5.4 检验检测 5.4.1应具备产品几何尺寸、平面度、平行度、垂直度、表面粗糙度、表面金属杂质等项目的检测能 力。 5.4.2应配备三坐标、表面粗糙度仪、测高仪、电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）等检测设备。 6 技术要求 6.1 外观 硅舟的表面及端面（包括倒角面）应无划伤、裂纹、缺口、刮伤和胶印。 注：胶印适用于熔接部位。 6.2 几何尺寸 硅舟的几何尺寸应符合表2的规定，如有特殊要求由供需双方协商确定。 表 2 几何尺寸 单位：mm项目 几何尺寸 直径允许偏差内径 ±0.25 外径 ±0.25 全国团体标准信息平台 T/ZZB 3947 —2025 3表 2（续） 单位：mm 项目 几何尺寸 高度允许偏差 ±1.0 平面度 ≤0.1 平行度 ≤0.1 垂直度 ≤1.0 6.3 表面粗糙度 硅舟沟齿上表面表面粗糙