ICS01.040.25;25.080.99 J59 中华人民共和国国家标准 GB/T14896.6—2015 代替GB/T14896.6—1994 特种加工机床 术语 第6部分:其他特种加工机床 Non-traditionalmachines—Terminology— Part6:Othernon-traditionalmachines 2015-12-10发布 2016-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前 言 GB/T14896《特种加工机床 术语》分为14个部分: ———第1部分:基本术语; ———第2部分:电火花加工机床; ———第3部分:电解加工机床; ———第4部分:超声加工机床; ———第5部分:复合加工机床; ———第6部分:其他特种加工机床; ———第7部分:增材制造机床; ———第8部分:电熔爆加工机床; ———第9部分:激光加工机床; ———第10部分:电子束加工机床; ———第11部分:离子束加工机床; ———第12部分:等离子弧加工机床; ———第13部分:射流加工机床; ———第14部分:磨粒流加工机床。 本部分为GB/T14896的第6部分。 本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本部分代替GB/T14896.6—1994《特种加工机床 术语 其他特种加工机床》,与GB/T14896.6—1994 相比,主要变化如下: ———标准名称的补充要素“其他特种加工机床”改为“第6部分:其他特种加工机床”; ———“主题内容与适用范围”改为“范围”,内容表述做了修改(见第1章,1994年版的第1章); ———“引用标准”改为“规范性引用文件”,增加了引导语,引用标准只保留1个(见第2章,1994年 版的第2章); ———删除了“磨料流加工机”等7项机床名称的术语,增加了“光化学加工机床”等3项机床名称的 术语,修改了“光刻机”、“砂线切割机”、“电铸成形机”等3项机床名称的术语、定义及英文对应 词(见第3章,1994年版的第3章); ———删除了“磨料流工作压力”和“电刷镀工作电流”2项机床参数的术语,增加了“分辨率”等机床 参数的术语(见第4章,1994年版的第4章); ———删除“介质缸”和“电液压加工工作室”2项术语,修改了部分机床零部件术语的定义和英文对 应词,增加了“化学刻蚀槽”等7项机床零部件的术语(见第5章,1994年版的第5章); ———删除了“磨料流加工”和“电液压加工”2项加工方法的术语,修改了部分加工方法术语的定义 和英文对应词,增加了“光刻”等7项加工方法的术语(见第6章,1994年版的第6章); ———删除了法、俄、德、日等语种。 本部分由中国机械工业联合会提出。 本部分由全国特种加工机床标准化技术委员会(SAC/TC161)归口。 本部分起草单位:南京航空航天大学、苏州电加工机床研究所有限公司、中国机械工程学会特种加 工分会。 本部分主要起草人:田宗军、汪炜、云乃彰、于志三、叶军、徐均良、王应。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为: ———GB/T14896.6—1994。 ⅠGB/T14896.6—2015 特种加工机床 术语 第6部分:其他特种加工机床 1 范围 GB/T14896的本部分规定了GB/T14896其他部分未涉及的特种加工机床的机床名称、机床参 数、机床零部件和加工方法的术语及其定义。 本部分适用于各类其他特种加工机床和设备(以下简称“机床”)。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T14896.1—2009 特种加工机床 术语 第1部分:基本术语 3 机床名称 3.1 光化学加工机床 photochemicalmachines 利用光刻和化学腐蚀相结合的技术加工工件的机床。 3.1.1 光刻机床 lithographicmachines 应用于光刻工艺的光化学加工机床。 3.1.2 刻蚀机 etchingmachines 应用于刻蚀工艺的光化学加工机床。 3.2 砂线切割机床 fixedabrasivewirecuttingmachines 通过砂线高速运动切割工件的特种加工机床。 3.3 磨料线切割机床 freeabrasivewiresawingmachines 通过高速运动的细金属线带动含有磨料的悬浮液产生作用,进行磨削加工的特种加工机床。 3.4 电铸成形机床 electroformingmachines 利用电铸方法制造工件的特种加工机床。 4 机床参数 机床通用的参数术语见GB/T14896.1—2009。 1GB/T14896.6—2015 4.1 分辨率 resolution 光刻加工图形可以达到的最细线条宽度。 4.2 对准精度 alignmentprecision 套刻精度 overlayprecision 多层曝光时,层间图案的定位精度。 4.3 光强均匀性 lightintensityuniformity 光刻时,投影在工件表面光强的均匀程度。 4.4 光源波长 lightsourcewavelength 光刻曝光光源光波的波长。 5 机床零部件 机床通用的零部件术语见GB/T14896.1—2009。 5.1 化学刻蚀槽 chemicaletchingtank 盛放化学溶液、溶解工件材料的容器。 5.2 高精度定位工作台 highaccuracypositioningworktable 光刻中,在大行程范围内,具有快速移动、精确定位性能的工作台。 5.3 光刻光源系统 lightsourcesystem 为光刻提供使光致抗蚀剂(光刻胶)产生反应的光源系统。 5.4 光刻曝光系统 exposuresystem 将光刻光源传来的光,通过照明系统、投影物镜,实现光束变换及曝光量控制的系统。 5.5 砂线 fixedabrasivewire 表面固着高硬度磨粒的线状工具。 5.6 张紧装置 tensionunit 控制线状工具在运动中维持一定张力的装置。 5.7 导轮 guidewheel 对线状工具运动进行导向的轮状部件。 5.8 张紧轮 tensionwheel 张紧装置中,提供线状工具合适稳定张紧力的轮状零件。 2GB/T14896.6—2015