(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221844522.6 (22)申请日 2022.07.18 (73)专利权人 无锡京运 通科技有限公司 地址 214183 江苏省无锡市惠山工业 转型 集聚区 （北惠路） (72)发明人 冯震坤　代正华　 (74)专利代理 机构 无锡睿升知识产权代理事务 所(普通合伙) 32376 专利代理师 肖晨 (51)Int.Cl. F26B 9/10(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于 硅片干燥的烘干 槽机构 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于硅片干燥的烘 干槽机构， 包括箱体和盖体， 所述箱体的底部外 壁固定连接有两个电机， 电机输出轴的一端固定 连接有叶轮， 所述箱体的多侧内壁卡接有第一镂 空板， 第一镂空板的上表面设置有多个加热器， 且箱体的多侧内壁卡接有防护网， 所述箱体的多 侧内壁卡接有第二镂空板， 第二镂空板的上表面 固定连接有多个放置槽， 所述箱 体的两侧内壁分 别转动连接有螺纹杆， 螺纹杆的圆周一侧螺纹连 接有调节板， 调节板的底部固定连接有三角导向 条， 且螺纹杆的一端固定连接有限位块。 本实用 新型可以对不同时间对硅片烘干的不同区域温 度作调整， 提升硅片的烘干效果， 保障了硅片的 生产使用。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 217654207 U 2022.10.25 CN 217654207 U 1.一种用于硅片干燥的烘干槽机构， 包括箱体(1)和盖体(101)， 其特征在于， 所述箱体 (1)的底部外壁固定连接有两个电机， 电机输出轴的一端固定连接有叶轮(2)， 所述箱体(1) 的多侧内壁卡接有第一镂空板(3)， 第一镂空板(3)的上表 面设置有多个加热器(4)， 且箱体 (1)的多侧内壁卡接有防护网(5)， 所述箱体(1)的多侧内壁卡接有第二镂空板(6)， 第二镂 空板(6)的上表面固定连接有多个放置槽(7)， 所述箱体(1)的两侧内壁分别转动连接有螺 纹杆(8)， 螺纹杆(8)的圆周一侧螺纹连接有调节板(9)， 调节板(9)的底部固定连接有三角 导向条(10)， 且螺纹杆(8)的一端 固定连接有限位块(12)， 所述箱体(1)的内壁两侧之间插 接有多个导向杆(1 1)， 导向杆(1 1)穿过调节板(9)。 2.根据权利要求1所述的一种用于硅片干燥的烘干槽机构， 其特征在于， 所述第 二镂空 板(6)的上表面固定连接有隔板(13)。 3.根据权利要求1所述的一种用于硅片干燥的烘干槽机构， 其特征在于， 所述箱体(1) 的底部内壁固定连接有两个底板(14)， 底板(14)之间固定连接有挡板(15)。 4.根据权利要求1所述的一种用于硅片干燥的烘干槽机构， 其特征在于， 所述箱体(1) 的底部卡接有 进风筒(16)， 进风筒(16)的多侧内壁 卡接有防尘网(17)。 5.根据权利要求1所述的一种用于硅片干燥的烘干槽机构， 其特征在于， 所述箱体(1) 的底部外壁固定连接有底 架(18)。 6.根据权利要求1所述的一种用于硅片干燥的烘干槽机构， 其特征在于， 所述箱体(1) 的外壁两侧固定连接有侧块(19)， 且盖体(101)的一侧固定连接有侧板(20)， 侧板(20)的一 侧插接有 多个滑动杆(21)， 滑动杆(21)穿过侧块(19)。 7.根据权利要求6所述的一种用于硅片干燥的烘干槽机构， 其特征在于， 每两个所述滑 动杆(21)的一端 固定连接有限位条(22)， 盖体(101)的上表面分别固定连接有顶板(23)和 两个磁铁块(25)。 8.根据权利要求7所述的一种用于硅片干燥的烘干槽机构， 其特征在于， 所述箱体(1) 的外壁一侧固定连接有铁制板(24)， 铁制板(24)与磁铁块(25)磁力相吸。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217654207 U 2一种用于硅片干 燥的烘干槽机构 技术领域 [0001]本实用新型 涉及硅片干燥 技术领域， 尤其涉及一种用于 硅片干燥的烘干 槽机构。 背景技术 [0002]随着经济 的不断发展， 现代化建设对高效能源需求不断增长， 光伏发电作为绿色 能源以及人类可持续 发展的主要能源的一种， 硅片生产是太阳能光伏产业链条中的一个重 要环节， 在硅片加工工艺中， 硅片必须进 行严格清洗烘干， 在硅片清洗后硅片上会有 大部分 液体， 因此， 需要经 过烘干工序后， 将成品件输送到后工段检测。 [0003]目前， 现有的用于硅片干燥的烘干槽机构， 大多存在以下的不足： 在对清洗后的硅 片进行烘干时， 由于在不同时间不能对硅片烘干的不同区域温度作调整， 使得硅片的烘干 效果不佳， 影响硅片的生产使用， 综上， 现有的用于硅片 干燥的烘干槽机构大多还不能很好 地契合实际需要。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种用于硅片干 燥的烘干 槽机构。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种用于硅片干燥的烘干槽机构， 包括箱体和盖体， 所述箱体 的底部外壁固定连 接有两个电机， 电机输出轴的一端固定连接有叶轮， 所述箱体的多侧内壁卡接有第一镂空 板， 第一镂空板的上表面设置有多个加热器， 且箱体的多侧内壁卡接有防护网， 所述箱体的 多侧内壁卡接有第二镂空板， 第二镂空板的上表面固定连接有多个放置槽， 所述箱体的两 侧内壁分别转动连接有螺纹杆， 螺纹杆 的圆周一侧螺纹连接有调节板， 调节板的底部固定 连接有三角导向条， 且螺纹杆的一端固定连接有限位块， 所述箱体的内壁两侧之间插接有 多个导向杆， 导向杆穿过调节板 。 [0007]进一步的， 所述第二镂空板的上表面固定连接有隔板 。 [0008]进一步的， 所述箱体的底部内壁固定连接有两个底板， 底板之间固定连接有挡板 。 [0009]进一步的， 所述箱体的底部卡接有 进风筒， 进风筒的多侧内壁 卡接有防尘网。 [0010]进一步的， 所述箱体的底部 外壁固定连接有底 架。 [0011]进一步的， 所述箱体的外壁两侧固定连接有侧块， 且盖体的一侧固定连接有侧板， 侧板的一侧插接有 多个滑动杆， 滑动杆穿过侧块。 [0012]进一步的， 每两个所述滑动杆的一端固定连接有限位条， 盖体 的上表面分别固定 连接有顶板和两个 磁铁块。 [0013]进一步的， 所述箱体的外壁 一侧固定连接有铁制板， 铁制板与磁铁块磁力相吸。 [0014]本实用新型的有益效果 为： [0015]1.本实用新型， 通过螺纹杆和调节板的设置， 在螺纹杆的螺纹作用下， 使得调节板 沿着导向杆向中间靠拢或者相互远离， 因此， 可以对不同时间对硅片烘干的不同区域温度说　明　书 1/3 页 3 CN 217654207 U 3