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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222450493.1 (22)申请日 2022.09.16 (73)专利权人 江苏龙东新材料有限公司 地址 213102 江苏省常州市武进区经济开 发区遥观镇常和路9 9号 (72)发明人 茅震宇 李峰 陈飞翔  (74)专利代理 机构 南京中律知识产权代理事务 所(普通合伙) 32341 专利代理师 沈振涛 (51)Int.Cl. B01F 27/90(2022.01) B01F 35/00(2022.01) (54)实用新型名称 一种用于光刻胶生产的自动投料 结构 (57)摘要 本实用新型涉及光刻胶生产技术领域, 尤其 涉及一种用于光刻胶生产的自动投料结构。 其技 术方案包括: 支 撑架、 机箱和安装板, 支撑架顶部 固定连接有储 料罐, 储料罐底部固定连接有出料 管, 出料管底部固定连接有搅拌箱, 搅拌箱底部 固定连接有下料管, 搅拌箱顶部固定连接有机 箱, 机箱内部固定连接有电机, 电机底部活动连 接有传动杆, 支撑架两侧固定连接有安装板, 安 装板内部固定连接有螺纹板。 本实用新型通过在 支撑架顶部固定连接有储料罐, 当装置进行使用 时, 原料进入搅拌箱内部时, 工作人员可通过启 动电机带动传动杆进行旋转, 此时可通过套环带 动搅拌杆进行旋转, 对内部原料进行均匀搅拌, 提升了装置使用的便捷效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 218077480 U 2022.12.20 CN 218077480 U 1.一种用于光刻胶生产的自动投料结构, 包括支撑架(1)、 机箱(4)和安装板(5), 其特 征在于: 所述支撑架(1)顶部固定连接有储 料罐(101), 所述储料罐(101)底部固定连接有出 料管(102), 所述出料管(102)底部固定连接有搅拌箱(103), 所述搅拌箱(103)底部固定连 接有下料管(104), 所述搅拌箱(103)顶部固定连接有机箱(4), 所述机箱(4)内部固定连接 有电机(401), 所述电机(401)底部活动 连接有传动杆(402), 所述支撑架(1)两侧固定连接 有安装板(5), 所述安装板(5)内部固定连接有螺纹板(501), 所述螺纹板(501)内部螺纹连 接有安装杆(5 04), 所述 安装杆(5 04)底部固定连接有安装锥(5 05)。 2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的自动投料结构, 其特征在于: 所述储料 罐(101)一端固定连接有观测板(2), 观测板(2)内部固定连接有刻度线(201)。 3.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的自动投料结构, 其特征在于: 所述搅拌 箱(103)一端固定连接有观察窗(3), 观察窗(3)内部固定连接有玻璃板(3 01)。 4.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的自动投料结构, 其特征在于: 所述安装 杆(504)顶部固定连接有转盘(502), 且转盘(502)外围设置有防滑纹, 安装杆(504)外围的 螺纹板(5 01)顶部套设有垫片(5 03)。 5.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的自动投料结构, 其特征在于: 所述机箱 (4)顶部固定连接有散热窗(6), 散热窗(6)内部活动连接有转杆(603), 转杆(603)外围固定 连接有散热扇叶(6 01), 散热窗(6)顶部固定连接有透气网(6 02)。 6.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的自动投料结构, 其特征在于: 所述传动 杆(402)外围套设有 套环(403), 套环(40 3)两侧固定连接有搅拌杆(404)。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 218077480 U 2一种用于光刻胶生产的 自动投料 结构 技术领域 [0001]本实用新型 涉及光刻 胶生产领域, 具体为 一种用于光刻 胶生产的自动投料 结构。 背景技术 [0002]光刻胶又称光致抗蚀剂, 是指通过紫外光、 电子束、 离子束、 X射线等的照射或辐 射, 其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。 由感光树脂、 增感剂和溶剂3种主要成分组成 的对光敏感的混合液体。 在光刻工艺过程中, 用作抗腐蚀涂层材料。 半导体材料在表面加工 时, 若采用适当的有选择性的光刻胶, 可在表面上得到所需的图像。 光刻胶按其形成的图像 分类有正性、 负性两大类。 在光刻胶工艺过程中, 涂层曝光、 显影后, 曝光部分被溶解, 未曝 光部分留下来, 该涂层材料为正性光刻胶。 如果曝光部分被保留下来, 而未曝光被溶解, 该 涂层材料为负性光刻胶, 现有的用于光刻胶生产的自动投料结构, 在 装置移动过程中, 装置 受到颠簸摇晃不方便进行复位, 因此我们提供一种用于光刻 胶生产的自动投料 结构。 [0003]经检索, 专利公告号为CN211159172U公开了一种光刻胶生产用废气尾气排放装 置, 包括废气处理罐, 所述废气处理罐的右侧穿插设置有废气收集管道, 所述废气收集管道 的内部设置有抽风机, 所述废气收集管道的右侧固定连接有网格栅, 所述抽风机的输出端 连通有导风管。 该光刻胶生产用废气尾气排放装置, 通过设置废气收集管道, 可将废气收集 管道通入光刻胶生产的排气口处, 可通过启动抽风机将废气尾气收集到废气处理罐内, 经 活性炭吸附层以及酸性中和层 对尾气废气进 行过滤, 活性炭吸附层将有毒气 体中的有害物 质进行吸附处理, 现有的技术中CN211159172U在 使用的过程中, 装置不方便进行搅拌, 易使 出料不均匀, 同时, 装置下料不方便进 行安装与拆卸, 鉴于此我们提出一种用于光刻胶生产 的自动投料 结构来解决现有的问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种用于光刻胶生产的自动投料结构, 以解决上述背 景技术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的, 本实用新型提供如下技术方案: 一种用于光刻胶生产的自动投 料结构, 包括支撑架、 机箱和安装板, 所述支撑架顶部固定连接有储料罐, 所述储料罐底部 固定连接有出料管, 所述出料管底部固定连接有搅拌箱, 所述搅拌箱底部固定连接有下料 管, 所述搅拌箱顶部固定连接有机箱, 所述机箱内部固定连接有电机, 所述电机底部活动连 接有传动杆, 所述支撑架两侧固定连接有安装板, 所述安装板内部固定连接有螺纹板, 所述 螺纹板内部 螺纹连接有安装杆, 所述 安装杆底部固定连接有安装锥。 [0006]本实用新型提供一种用于光刻胶生产的自动投料结构, 当装置进行使用时, 原料 进入搅拌箱内部时, 工作人员可通过启动电机带动传动杆进行旋转, 此时可通过套环带动 搅拌杆进 行旋转, 对内部原料进 行均匀搅拌, 提升了装置使用的便捷效果, 当装置进 行使用 时, 工作人员可通过旋转转盘带动安装杆在螺纹板内部进行螺纹旋转, 此时可通过安装杆 在螺纹板内部进行升降, 带动安装锥进 行安装与拆卸, 方便工作人员进 行安装与拆卸。 提升说 明 书 1/3 页 3 CN 218077480 U 3

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