(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221980483.2 (22)申请日 2022.07.29 (73)专利权人 苏州五方光电材 料有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴江区松陵镇 友谊工业区 (72)发明人 奂微微　薛军明　彭啸宇　杨锋　 (74)专利代理 机构 南京纵横知识产权代理有限 公司 32224 专利代理师 薛伯奇 (51)Int.Cl. B08B 11/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/12(2006.01) B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种等离 子超声波二流体清洗一体 机 (57)摘要 本实用新型公开了一种滤光片清洗技术领 域的等离子超声波二流体清洗一体机， 旨在解决 现有技术中人力成本大， 清洗过程不够自动化等 问题， 其包括： 等离子清洗机、 超声波清洗机和二 流体清洗机， 其均设于隧道上方， 所述隧道内穿 设有第一电动导轨， 所述第一电动导轨滑动连接 有用于运输滤光片的运输机构。 所述超声波清洗 机和二流体清洗机位于支架内， 所述支架顶部两 侧设有第二电动导轨， 所述第二电动导轨上均滑 动连接有第二电动滑块， 所述第二电动滑块之间 通过连接板连接， 所述连接板下方设有第一气 缸， 所述第一气缸的输出轴端部与气动夹爪连 接。 本实用新型可 以实现连续化清洗， 提升生产 效率， 降低人力成本 。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217912044 U 2022.11.29 CN 217912044 U 1.一种等离子超声波二流体清洗一体机， 其特征在于： 包括等离子清洗机 （2） 、 超声波 清洗机 （3） 和二流体清洗机 （4） ， 所述等离子清洗机 （2） 、 超声波清洗机 （3） 和二流体清洗机 （4） 均设于隧道 （9） 上方， 所述隧道 （9） 内穿设有第一电动导轨 （1） ， 所述第一电动导轨 （1） 滑 动连接有用于运输滤光片的运输 机构 （10） ； 所述超声波清洗机 （3） 和二流体清洗机 （4） 位于支架 （5） 内， 所述支架 （5） 顶部两侧设有 第二电动导轨 （6） ， 所述第二电动导轨 （6） 上均滑动连接有第二电动滑块 （11） ， 所述第二电 动滑块 （11） 之间通过连接板连接， 所述连接板下方设有第一气缸 （7） ， 所述第一气缸 （7） 的 输出轴端部与气动夹爪 （8） 连接 。 2.根据权利要求1所述的一种等离子超声波二流体清洗一体机， 其特征在于： 所述运输 机构 （10） 包括第一电动滑块 （101） ， 所述第一电动滑块 （101） 上方设有第二气缸 （102） ， 所述 第二气缸 （102） 的输出轴与底座 （103） 连接， 所述底座 （103） 上放置有用于盛放滤光片的网 盒 （106） 。 3.根据权利要求2所述的一种等离子超声波二流体清洗一体机， 其特征在于： 所述第 二 气缸 （102） 的数量 为2， 且位于同一 直线上。 4.根据权利要求2所述的一种等离子超声波二流体清洗一体机， 其特征在于： 所述底座 （103） 内部设有空腔， 且顶部两侧设有通孔， 所述空腔一端设有第三气缸 （104） ， 所述第三气 缸 （104） 的输出轴与U型推板 （10 5） 连接， 所述U型推板 （10 5） 的端部穿过通 孔延伸至 外部。 5.根据权利要求4所述的一种等离子超声波二流体清洗一体机， 其特征在于： 所述U型 推板 （105） 延伸到通 孔外的长度大于网盒 （10 6） 的高度。 6.根据权利要求5所述的一种等离子超声波二流体清洗一体机， 其特征在于： 所述网盒 （106） 顶部两侧均对称设有拉环。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217912044 U 2一种等离 子超声波二流体清洗一体机 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种等离子超声波二流体清洗一体机， 属于滤光片清洗技术领 域。 背景技术 [0002]目前的等离子清洗机、 单槽超声波清洗机以及二流体清洗机均为单体设备， 每类 设备均需要人员进行单独操作， 生产过程中物料还需从一个清洗机运输到另一个， 不利于 连续化生产， 造成生产效率低下。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足， 提供一种等离子超声波二流体清 洗一体机， 可以对滤光片实现连续 化清洗， 提升生产效率， 降低人力成本 。 [0004]为达到上述目的， 本实用新型是采用下述技术方案实现的： 一种等离子超声波二 流体清洗一体机， 包括等离子清洗机、 超声波清洗机和二流体清洗机， 所述等离子清洗机、 超声波清洗机和二流体清洗机均设于隧道上方， 所述隧道内穿设有第一电动导轨， 所述第 一电动导轨滑动连接有用于运输滤光片的运输 机构。 [0005]所述超声波清洗机和二流体清洗机位于支架内， 所述支架顶部两侧设有第二电动 导轨， 所述第二电动导轨上均滑动连接有第二电动滑块， 所述第二电动滑块之间通过连接 板连接， 所述连接 板下方设有第一气缸， 所述第一气缸的输出轴端部与气动夹爪连接 。 [0006]可选的， 所述运输机构包括第一电动 滑块， 所述第一电动 滑块上方设有第二气缸， 所述第二气缸的输出轴与底座连接， 所述底座上放置有用于盛放滤光片的网盒。 [0007]可选的， 所述第二气缸的数量 为， 且位于同一 直线上。 [0008]可选的， 所述底座内部设有空腔， 且顶部两侧设有通孔， 所述空腔一端设有第三气 缸， 所述第三气缸的输出轴与U型推板连接， 所述U型推板的端部穿过通 孔延伸至 外部。 [0009]可选的， 所述U型推板延伸到通 孔外的长度大于网盒的高度。 [0010]可选的， 所述网盒顶部 两侧均对称设有拉环。 [0011]与现有技 术相比， 本实用新型 所达到的有益效果： [0012]本实用新型将等离子清洗机、 超声波清洗机和二流体清洗机均设有隧道上， 隧道 内穿设有电动导轨， 运输机构承载着滤光片能够在三个清洗设备之间来回移动， 避免工作 人员需要来回搬运滤光片， 节省了时间和人力成本； [0013]本实用新型通过运输机构将滤光片送入等离子清洗机中， 经清洗后， 滤光片重新 放回运输机构上， 然后通过第一气缸带动 气动夹爪， 将网盒整体抓起， 再移动至超声波清洗 机内进行超声清洗， 待清洗完毕后重复上述操作放入二流体清洗机内清洗， 操作简单， 避免 了各个操作人员单独操作清洗再进行 搬运， 大大提升了工作效率， 省时省力。说　明　书 1/3 页 3 CN 217912044 U 3