(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221966044.6 (22)申请日 2022.07.28 (73)专利权人 阳光硅谷电子科技有限公司 地址 065200 河北省廊坊市三河市燕郊开 发区迎宾北路西侧、 规划路南侧 (72)发明人 曹绍文　安保贞　孟蕊　刘顺亮　 (74)专利代理 机构 上海华诚知识产权代理有限 公司 313 00 专利代理师 刘煜 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅片脱胶机 (57)摘要 本申请提供一种硅片脱胶机， 包括： 脱胶机 构， 包括依次排列的进料槽、 喷淋槽、 第一脱胶 槽、 第二脱胶槽和出料槽， 第一脱胶槽和第二脱 胶槽中存放有脱胶溶液； 移动机构 包括滑轨和移 动滑块， 滑轨设置在脱胶机构外侧， 移动滑块与 滑轨连接； 竖向伸缩机构 包括第一竖向杆和第二 竖向杆， 第一竖向杆与移动滑块固定连接， 第二 竖向杆可以进行伸缩； 横向伸缩机构包括第一横 向杆与第二横向杆， 第一横向杆与第二竖向杆连 接， 第二横向杆能够在水平方向上进行伸缩； 清 洗机构包括第一夹紧喷头和第二夹紧喷头； 循环 机构， 分别与脱胶机构和清洗机构连接， 用于向 清洗机构输送脱胶溶液。 有效避免硅片表面硅粉 富集， 提高了 硅片表面在脱胶结束后的洁净度。 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 CN 218133599 U 2022.12.27 CN 218133599 U 1.一种硅片脱胶机， 其特 征在于， 包括： 脱胶机构， 包括依次排列的进料槽(110)、 喷淋槽(120)、 第一脱胶槽(130)、 第二脱胶槽 (140)和出 料槽(150)， 所述第一脱胶槽(13 0)和所述第二脱胶槽(140)中存放有 脱胶溶液； 移动机构， 包括滑轨(210)和移动滑块(220)， 所述滑轨(210)设置在所述脱胶机构外侧 并沿所述脱胶机构的长度方向布置， 所述移动滑块(2 20)与所述滑轨(210)可滑动地连接； 竖向伸缩机构， 包括第一竖向杆(310)和第二竖向杆(330)， 所述第一竖向杆(310)与所 述移动滑块(220)固定连接， 所述第二竖向杆(330)与所述第一竖向杆(310)滑动连接， 且 可 以在竖直方向上进行伸缩； 横向伸缩机构， 包括第一横向杆(410)与第二横向杆(430)， 所述第一横向杆(410)与所 述第二竖向杆(330)固定连接， 所述第二横向杆(430)与所述第一横向杆(410)滑动连接， 且 能够在水平方向上进行伸缩； 清洗机构， 设置在所述横向伸缩机构上， 包括第一夹紧喷头(510)和第二夹紧喷头 (520)， 用于通过所述第一夹紧喷头(510)和所述第二夹紧喷头(520)由两侧向连接硅片脱 胶机(100)的中空板(10 3)内注入脱胶溶 液以冲洗所述硅片脱胶机(10 0)； 循环机构， 分别与所述脱胶机构和所述清洗机构连接， 用于向所述清洗机构输送脱胶 溶液。 2.根据权利要求1所述的硅片脱胶机， 其特征在于， 所述滑轨(210)设置在所述脱胶机 构的脱胶槽的相对一侧。 3.根据权利要求2所述的硅片脱胶机， 其特 征在于， 所述竖向伸缩机构还 包括： 竖向伸缩电机(320)， 设置在所述第一竖向杆(310)背离所述移动滑块(220)的一端， 所 述第二竖向杆(330)设置在所述竖向伸缩电机(320)内， 用于在所述竖向伸缩电机(320)的 驱动下沿竖直方向伸缩。 4.根据权利 要求3所述的硅片脱胶机， 其特征在于， 所述第二竖向杆(330)  的伸缩距离 为40‑100厘米。 5.根据权利要求 4所述的硅片脱胶机， 其特 征在于， 所述横向伸缩机构还 包括： 横向伸缩电机(420)， 设置在所述第一横向杆(410)上， 所述第二横向杆(430)设置在 所 述横向伸缩电机(420)内， 用于在所述横向伸缩电机(420)的驱动下沿水平方向伸缩。 6.根据权利要求5所述的硅片脱胶机， 其特征在于， 所述第二横向杆(430)的伸缩距离 为600‑1300厘米。 7.根据权利要求5所述的硅片脱胶机， 其特征在于， 所述第一夹紧喷头(510)与所述第 一横向杆(410)固定连接； 所述第二夹紧喷头(520)与所述第二横向杆(430)固定连接并与所述第一夹紧喷头 (510)对称设置， 用于在所述横向伸缩电机(420)的驱动下与所述第一夹紧喷头(510)配合， 分别在连接硅片脱胶机(100)的中空板(103)的两侧， 以向中空板(103)内注入脱胶溶液冲 洗所述硅片脱胶机(10 0)。 8.根据权利要求7 所述的硅片脱胶机， 其特 征在于， 所述循环机构包括： 循环槽(610)， 用于存放脱胶溶 液； 第一水泵(620)， 包括进水端和出水端， 所述进水端与所述循环槽(610)连通， 所述出水 端分别于所述第一夹紧喷头(510)和所述第二夹紧喷头(520)连通， 用于从所述循环槽权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 218133599 U 2(610)中抽取脱胶溶 液并分别输送至所述第一夹紧喷头(510)和所述第二夹紧喷头(520)。 9.根据权利要求8所述的硅片脱胶机， 其特 征在于， 所述循环机构还 包括： 循环管(640)， 所述循环管(640)为多通管道， 与脱胶槽连通； 第二水泵(630)， 分别于所述循环管(640)和所述循环槽(610)连通， 用于从所述脱胶槽 内抽取脱胶溶 液并输送至所述循环槽(610)内。 10.根据权利要求1所述的硅片脱胶机， 其特征在于， 所述脱胶机构上方设置有抓钩 (700)， 用于抓取 所述硅片脱胶机(10 0)。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 218133599 U 3