(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222036752.6 (22)申请日 2022.08.02 (73)专利权人 安徽承禹半导体材 料科技有限公 司 地址 233000 安徽省蚌埠市天河路织造园3 号区域 (72)发明人 邓波浪　李玉萍　 (74)专利代理 机构 北京天盾知识产权代理有限 公司 11421 专利代理师 张立娟 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/14(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01)H01L 21/683(2006.01) (54)实用新型名称 一种化学机械抛光后 的碲锌镉单晶晶片的 清洗装置 (57)摘要 本实用新型提供一种化学机械抛光后 的碲 锌镉单晶晶片的清洗装置， 包括箱 体， 底座， 水箱 架， 水箱， 过滤管， 进水管， 吸水器和过滤棉， 抛光 箱和放置块， 本实用新型中， 将晶片夹板设置在 抽拉模块内， 伸缩杆的设置， 能更好的对晶片进 行夹持， 能更好的对晶片 的表面进行清洗， 提高 清洗效率， 同时使该装置更具有实用性； 吸水器 将水箱内的清洗液进行加压， 通过喷洗头将加压 后的清洗 液喷出对晶片的表面进行清洗， 同时电 机带动螺杆配合滑块移动， 使得喷洗头在箱体内 移动， 使得对晶片 的表面清洗更加均匀， 提高清 洗质量； 过滤管的设置， 过滤管内设置的过滤棉 能将清洗过后的清洗液进行过滤， 使得清洗液可 重复利用， 避免造成浪费， 使清洗装置得到广泛 应用。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217911831 U 2022.11.29 CN 217911831 U 1.一种化学机械抛光后的碲锌镉单晶晶片的清洗装置， 其特征在于： 包括箱体(1)， 底 座(2)， 水箱架(3)， 水箱(4)， 过滤管(5)， 进水管(6)， 吸水器(7)和过滤棉(23)， 所述的箱体 (1)下端固定安装有四个底座(2)， 且 四个底座(2)之间固定安装有水箱架(3)； 所述的水箱 (4)固定安装在水箱架(3)内； 所述的箱体(1)下端通过过滤管(5)与水箱(4)连接， 且 过滤管 (5)内设置有多个过滤棉(23)； 所述的箱体(1)一侧固定安装有吸水器(7)； 所述的吸水器 (7)通过进水 管(6)与水箱(4)连接 。 2.如权利要求1所述的一种化学机械抛光后的碲锌镉单晶晶片的清洗装置， 其特征在 于： 所述的箱体(1)上端固定安装有螺杆支架(13)， 且箱体(1)上端远离螺杆支架(13)的一 侧固定安装有电机支架(15)； 所述的螺杆支架(13)与机支架(15)设置有螺杆(14)， 且螺杆 (14)与螺杆支架(13)通过轴承活动连接； 所述的螺杆(14)另一端穿过电机支架(15)与电机 (16)连接， 且电机(16)固定安装在电机支 架(15)一侧。 3.如权利要求2所述的一种化学机械抛光后的碲锌镉单晶晶片的清洗装置， 其特征在 于： 所述的螺杆(14)外侧配合安装有滑 块(11)， 且滑 块(11)下端固定安装有喷洗头(12)； 所 述的喷洗头(12)穿过箱体(1)设置在箱体(1)内侧； 所述的喷洗头(12)通过连接管(10)与万 向接头(9)连接， 且万向接 头(9)通过 出水管(8)与吸水器(7)连接 。 4.如权利要求3所述的一种化学机械抛光后的碲锌镉单晶晶片的清洗装置， 其特征在 于： 所述的箱体(1)一侧开设有滑槽(17)， 且滑槽(17)内滑动安装有抽拉模块(18)； 所述的 抽拉模块(18)的一侧固定安装有拉把(2 2)。 5.如权利要求4所述的一种化学机械抛光后的碲锌镉单晶晶片的清洗装置， 其特征在 于： 所述的抽拉模块(18)内侧设置有两个伸缩杆(19)， 且两个伸缩杆(19)的另一端固定安 装有两个夹 板(20)； 所述的两个夹 板(20)之间固定安装有晶片(21)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217911831 U 2一种化学 机械抛光后的碲锌镉单晶 晶片的清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及碲锌镉晶片的清洗领域， 尤其涉及一种化学机械抛光后的碲锌镉 单晶晶片的清洗装置 。 背景技术 [0002]碲锌镉是宽禁带II ‑VI族化合物半导体， 可以看作是CdTe和ZnTe固溶而成的一种 三元化合物半导体， 具有原子序数大、 禁带宽度大、 电阻率高等优异的性能。 通过调整碲锌 镉中的Zn含量调制不同晶格的碲锌镉， 使其与任意组分的碲镉汞(HgCdTe)材料的完全匹 配， 实现准同质外延， 降低由于晶格失配造成的缺陷。 [0003]作为衬底材料， 要求碲锌镉表面状态达到 “开盒即用 ”。 但是经过切片、 研磨、 抛光 等加工过程， 碲锌镉晶片表面会存在药水、 金属离子、 损伤层、 玷污和氧化物 等污染和缺陷， 因此需要对碲锌镉晶片表面进行清洗 。 实用新型内容 [0004]为了解决上述技术问题， 本实用新型提供一种化学机械抛光后的碲锌镉单晶晶片 的清洗装置， 以解决上述提出的问题。 一种化学机械抛光后的碲锌镉单晶晶片的清洗装置， 包括箱体， 底 座， 水箱架， 水箱， 过滤管， 进水管， 吸水器和过滤棉， 所述的箱体下端固定安装 有四个底座， 且四个底座之 间固定安装有 水箱架； 所述的水箱固定安装在水箱架内； 所述的 箱体下端通过过滤管与水箱连接， 且过滤管内设置有多个过滤棉； 所述的箱体一侧固定安 装有吸水器； 所述的吸水器通过进水 管与水箱连接 。 [0005]优选的， 所述的箱体上端固定安装有螺杆支架， 且箱体上端远离螺杆支架的一侧 固定安装有电机支架； 所述的螺杆支架与机支架设置有螺杆， 且螺杆与螺杆支架通过轴承 活动连接； 所述的螺杆另一端穿过电机支 架与电机连接， 且电机固定安装在电机支 架一侧。 [0006]优选的， 所述的螺杆外侧配合安装有滑块， 且滑块下端固定安装有喷洗头； 所述的 喷洗头穿过箱体设置在箱体内侧； 所述的喷洗头通过连接管与万向接头连接， 且万向接头 通过出水管与吸水器连接 。 [0007]优选的， 所述的箱体一侧开设有滑槽， 且滑槽内滑动安装有抽拉模块； 所述的抽拉 模块的一侧固定安装有拉把。 [0008]优选的， 所述的抽拉模块内侧 设置有两个伸缩杆， 且两个伸缩杆的另一端固定安 装有两个夹 板； 所述的两个夹 板之间固定安装有晶片。 [0009]与现有技 术相比， 本实用新型 具有如下有益效果： [0010]1.本实用新型中， 通过将晶片 通过夹板设置在抽拉模块内， 通过伸缩杆的设置， 能 更好的对晶片进行夹持， 能更好的对晶片的表面进 行清洗， 提高清洗效率， 同时使 该装置更 具有实用性。 [0011]2.本实用新型中， 通过吸水器的设置， 将水箱内的清洗液进行加压， 通过出水管， 万向接头以及连接管进入喷洗头， 喷洗头将加压后的清洗液喷出对晶片的表面进行清洗，说　明　书 1/3 页 3 CN 217911831 U 3