(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222121547.X (22)申请日 2022.08.12 (73)专利权人 无锡京运 通科技有限公司 地址 214183 江苏省无锡市惠山工业 转型 集聚区 （北惠路） (72)发明人 冯震坤　代正华　 (74)专利代理 机构 无锡睿升知识产权代理事务 所(普通合伙) 32376 专利代理师 张悦 (51)Int.Cl. F26B 9/06(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种清洗 机用硅片的水分干燥装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种清洗机用 硅片的水 分干燥装置， 包括干燥箱， 所述干燥箱的两侧内 壁均固定连接有侧板， 两个侧板之间的底部固定 连接有底板， 侧板和底板与干燥箱的内壁之间设 有风腔， 所述侧板的一侧设有矩形出风孔， 侧板 的一侧设有多个第一出风口， 底板的顶部设有多 个第二出风口， 所述干燥箱的底部嵌接有多个风 机， 干燥箱的两侧内壁均固定连接有两个安装 板， 两个安装板之间固定连接有多个电加热丝， 干燥箱的底部内壁设有集水槽， 集水槽位于底板 的下方。 本实用新型通过侧板上设有矩形出风孔 和第一出风口与底板上设有第二出风口的设置 能够多面对硅片进行干燥， 从而提高硅片的干燥 效率。 权利要求书1页 说明书2页 附图3页 CN 217900343 U 2022.11.25 CN 217900343 U 1.一种清洗机用硅片的水分干燥装置， 包括干燥箱(1)， 其特征在于， 所述干燥箱(1)的 两侧内壁均固定连接有侧 板(2)， 两个侧板(2)之间的底部固定连接有底板(3)， 侧板(2)和 底板(3)与干燥箱(1)的内壁之间设有风腔(4)， 所述侧板(2)的一侧设有矩形出风孔(5)， 侧 板(2)的一侧设有多个第一出风口(6)， 底板(3)的顶部设有多个第二出风口(7)， 所述干燥 箱(1)的底部嵌接有多个风机(8)， 干燥箱(1)的两侧内壁均固定连接有两个安装板(10)， 两 个安装板(10)之间固定连接有多个电加热丝(11)， 干燥箱(1)的底部内壁设有集水槽(13)， 集水槽(13)位于底板(3)的下 方， 底板(3)底部的两侧均固定连接有分隔板(12)。 2.根据权利要求1所述的一种清洗机用硅片的水分干燥装置， 其特征在于， 所述干燥箱 (1)的底部 外壁均固定连接有 多个支撑座(9)。 3.根据权利要求2所述的一种清洗机用硅片的水分干燥装置， 其特征在于， 两个所述支 撑座(9)之间固定连接有防尘网(16)。 4.根据权利要求2所述的一种清洗机用硅片的水分干燥装置， 其特征在于， 所述支撑座 (9)的底部粘接有防滑垫(17)。 5.根据权利要求1所述的一种清洗机用硅片的水分干燥装置， 其特征在于， 所述集水槽 (13)的一端插接有排水 管(14)， 排水 管(14)的另一端穿过干燥箱(1)。 6.根据权利要求1所述的一种清洗机用硅片的水分干燥装置， 其特征在于， 所述干燥箱 (1)顶部的两侧均设有滑槽(15)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217900343 U 2一种清洗机用硅片的水分干 燥装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及硅片技 术领域， 尤其涉及一种清洗 机用硅片的水分干燥装置 。 背景技术 [0002]硅片清洗是指在氧化、 光刻、 外延、 扩散和引线蒸发等工序前， 采用物理或化学的 方法去除硅片表面的污染物和自身氧化物， 以得到符合清洁度要求的硅片表面的过程， 在 硅片清洗 完后， 硅片表面会残留水分， 因此， 需要对硅片进行 水分干燥。 [0003]目前， 现有的硅片的水分干燥装置， 在使用过程中， 烘干效果差， 容纳的硅片较少， 不能够多面同时进行烘干， 还需要 多次进行烘干， 工作效率低， 影响硅片的干燥效果。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点， 而提出的一种清洗机用硅 片的水分干燥装置 。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种清洗机用硅片的水分干燥装置， 包括干燥箱， 所述干燥箱的两侧内壁均 固定 连接有侧板， 两个侧板之间的底部固定连接有底板， 侧板和底板与干燥箱的内壁之间设有 风腔， 所述侧板的一侧设有矩形出风孔， 侧板的一侧设有多个第一出风口， 底板的顶部 设有 多个第二出风口， 所述干燥箱的底部嵌接有多个风机， 干燥箱的两侧内壁均固定连接有两 个安装板， 两个安装板之 间固定连接有多个电加热丝， 干燥箱的底部内壁设有集水槽， 集水 槽位于底板的下 方， 底板底部的两侧均固定连接有分隔板 。 [0007]进一步的， 所述干燥箱的底部 外壁均固定连接有 多个支撑座。 [0008]进一步的， 两个所述支撑座之间固定连接有防尘网。 [0009]进一步的， 所述支撑座的底部粘接有防滑垫 。 [0010]进一步的， 所述 集水槽的一端插接有排水 管， 排水管的另一端穿过干燥箱。 [0011]进一步的， 所述干燥箱 顶部的两侧均设有滑槽 。 [0012]本实用新型的有益效果 为： [0013]1、 通过侧板上设有矩形出风孔和第一出风口与底板上设有第二出风口的设置能 够多面对硅片进行干燥， 从而提高硅片的干燥效率， 节省时间。 [0014]2、 通过将硅片放置在花篮力进行干燥的设置能够同时对多个硅片进行干燥， 同时 便于的硅片的拿取， 方便快捷。 [0015]3、 通过风机的底部设有防尘网的设置能够防止灰尘进去干燥箱， 从而防止灰尘吹 在硅片上， 以免对硅片进行造成污染。 附图说明 [0016]图1为本实用新型提出的一种清洗 机用硅片的水分干燥装置的立体结构示 意图； [0017]图2为本实用新型提出的一种清洗 机用硅片的水分干燥装置的剖视结构示 意图；说　明　书 1/2 页 3 CN 217900343 U 3