(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122423339.0 (22)申请日 2021.10.09 (73)专利权人 宏芯气体 （上海） 有限公司 地址 201900 上海市宝山区长逸路18 8号1 幢A-1339室 (72)发明人 白久　赵颖毅　林晨　陈龙　 王虎林　蔡明哲　 (74)专利代理 机构 芜湖市昌强专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 3420 3 代理人 周渭铭 (51)Int.Cl. B01D 46/12(2022.01) B01D 53/04(2006.01) B01D 53/26(2006.01) C01B 13/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种大宗 气体供应的氧气纯化装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种大宗气体供应的氧 气纯化装置， 包括底座、 吸附罐和处理罐， 所述底 座顶部设有固定板， 所述固定板底部四角处均固 定连接有支撑柱， 多个所述支撑柱之间固定连接 有支撑板， 所述吸附罐内壁设有绝热层。 本实用 新型通过筛板和过滤板将原料气过滤后， 均匀接 触到导流板， 交替排列的导流板能够延长原料气 与吸附剂的接触时间， 同时电热管能够对吸附罐 内部进行加热， 绝热层有效隔绝热量， 加热均匀， 使反应更加充分， 提高气体纯度， 然后通过处理 罐内部的活性炭过滤网和第一过滤网进行二次 过滤， 第一过滤网具有均匀的微孔结构， 从而实 现对空气的纯化， 结构简单， 实用性强， 具有多重 过滤效果， 能够更好的纯化气体 。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216259688 U 2022.04.12 CN 216259688 U 1.一种大宗气体供应的氧气纯化装置， 包括底座 （1） 、 吸附罐 （5） 和处理罐 （6） ， 其特征 在于： 所述底座 （1） 顶部设有固定板 （2） ， 所述固定板 （2） 底部四角处均固定连接有支撑柱 （3） ， 多个所述支撑柱 （3） 之间固定连接有支撑 板 （4） ； 所述吸附罐 （5） 内壁设有绝热层 （9） ， 所述吸附罐 （5） 内壁两侧均固定连接有筛板 （10） ， 所述筛板 （10） 外壁一侧设有过滤板 （11） ， 两个所述筛板 （10） 之间设有保温层 （12） ， 所述保 温层 （12） 外壁固定连接有导流板 （15） ， 所述导流板 （15） 的数量设置为多个， 所述保温层 （12） 外壁设有吸附剂 （14） ， 所述导流板 （15） 顶部设有活性炭吸附板 （16） ， 所述保温层 （12） 内壁设有电热 管 （13） ； 所述处理罐 （6） 内壁设有真空层 （19）， 所述处理罐 （6） 内壁两侧均固定连接有隔板 （20） ， 两个所述隔板 （20） 之间设有引流管 （21） ， 所述引流管 （21） 外壁设有干燥剂 （22） ， 一个 所述隔板 （20） 底部设有活性炭过滤网 （23） ， 所述活性炭过滤网 （23） 底部设有第一过滤网 （24） 。 2.根据权利要求1所述的一种大宗气体供应的氧气纯化装置， 其特征在于： 所述支撑柱 （3） 与底座 （1） 固定连接， 所述吸附罐 （5） 与处 理罐 （6） 贯 穿固定板 （2） 和支撑 板 （4） 。 3.根据权利要求1所述的一种大宗气体供应的氧气纯化装置， 其特征在于： 所述吸附罐 （5） 内壁顶端设有进气管 （7） ， 所述处理罐 （6） 内壁顶端设有排气管 （27） ， 所述吸附罐 （5） 和 处理罐 （6） 顶端一侧均设有气压表 （8） 。 4.根据权利要求1所述的一种大宗气体供应的氧气纯化装置， 其特征在于： 所述吸附罐 （5） 与处 理罐 （6） 底部固定连接有导气管 （17） ， 所述 导气管 （17） 内壁设有气动阀 （28） 。 5.根据权利要求1所述的一种大宗气体供应的氧气纯化装置， 其特征在于： 所述吸附剂 （14） 位于导 流板 （15） 外壁， 所述保温层 （12） 底部设有温度传感器 （18） 。 6.根据权利要求1所述的一种大宗气体供应的氧气纯化装置， 其特征在于： 另一所述隔 板 （20） 顶部设有第二过 滤网 （25） ， 所述第二过 滤网 （25） 顶部设有筛网 （26） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216259688 U 2一种大宗气体供应的氧气纯化 装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及氧气纯化技术领域， 具体涉及一种大宗气体供应的氧气纯化装 置。 背景技术 [0002]随着社会发展， 经济越来越进步， 工业逐渐从粗加工转化为精密制造， 对高纯气体 的需求也越来越大， 高纯氧气在电子、 对晶硅等行业的应用越来越广泛， 高纯氧用于二氧化 硅的化学气相沉积， 作为氧化源与产生高纯水的反应剂， 干法氧化， 与四氟化碳混合， 用于 等离子刻蚀， 氧气纯化需要用到氧气纯化装置 。 [0003]现有的气体纯化装置不能一次去除大部分杂质， 因此需要多个纯化器同时工作， 并且需要在每个纯化器中装入不同的吸附剂， 所需时间较长， 且加热不均匀、 隔热性不好， 从而导致气体的纯化过程比较繁杂。 [0004]因此， 发明一种大宗 气体供应的氧气纯化装置来 解决上述问题很有必要。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的是提供一种大宗气体供应的氧气纯化装置， 通过筛板和过滤板 将原料气过滤后， 均匀接触到导流板， 同时电热管能够 对吸附罐内部进 行加热， 绝热层有效 隔绝热量， 然后通过处理罐内部的活性炭过滤网和第一过滤网进行二次过滤， 第一过滤网 具有均匀的微 孔结构， 从而实现对空气的纯化， 以解决技 术中的上述 不足之处。 [0006]为了实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种大宗气体供应的氧气纯 化装置， 包括底座、 吸附罐和处理罐， 所述底座顶部设有固定板， 所述固定板底部四角处均 固定连接有支撑柱， 多个所述支撑柱之间固定连接有支撑 板； [0007]所述吸附罐内壁设有绝热层， 所述吸附罐内壁两侧均固定连接有筛板， 所述筛板 外壁一侧设有过滤板， 两个所述筛板之 间设有保温层， 所述保温层外壁固定连接有导流板， 所述导流板的数量设置为多个， 所述保温层外壁设有吸 附剂， 所述导流板顶部设有活性炭 吸附板， 所述保温层内壁设有电热 管； [0008]所述处理罐内壁设有真空层， 所述处理罐内壁两侧均固定连接有隔板， 两个所述 隔板之间设有引流管， 所述引流管外壁设有干燥剂， 一个所述隔板底部 设有活性炭 过滤网， 所述活性炭过 滤网底部设有第一过 滤网。 [0009]优选的， 所述支撑柱与底座固定连接， 所述吸附罐与处 理罐贯穿固定板和支撑 板。 [0010]优选的， 所述吸附罐内壁顶端 设有进气管， 所述处理罐内壁顶端设有排气管， 所述 吸附罐和处 理罐顶端一侧均设有气压表。 [0011]优选的， 所述吸附罐与处理罐底部固定连接有导气管， 所述导气管内壁设有气动 阀。 [0012]优选的， 所述吸附剂位于导 流板外壁， 所述保温层底部设有温度传感器。 [0013]优选的， 另一所述隔板顶部设有第二过 滤网， 所述第二过 滤网顶部设有筛网。说　明　书 1/3 页 3 CN 216259688 U 3