(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122878939.6 (22)申请日 2021.11.23 (73)专利权人 费勉仪器科技 （上海） 有限公司 地址 201900 上海市宝山区顾村 工业园区 富联二路189号 4幢 (72)发明人 高筱　 (74)专利代理 机构 上海国瓴律师事务所 313 63 专利代理师 傅耀 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/25(2006.01) (54)实用新型名称 支撑调节装置及角分辨光电子能谱分析系 统 (57)摘要 本公开提供了一种支撑调节装置及角分辨 光电子能谱分析系统， 支撑调节装置包括： 支撑 架， 包括底板、 固定在底板 上的支架； 多个调节模 块， 安装在底板下方， 调节模块用于在至少一个 维度上对底板进行调节。 角分辨光电子能谱分析 系统包括： 角分辨光电子能谱分析器以及支撑调 节装置， 用于支撑所述角分辨光电子能谱分析 器。 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 CN 217404110 U 2022.09.09 CN 217404110 U 1.一种支撑调节装置， 其特 征在于， 包括： 支撑架， 包括底板、 固定在所述底板上的支 架； 多个调节模块， 安装在所述底板下方， 所述调节模块用于在至少一个维度上对所述底 板进行调节， 所述调节模块包括： 模块基座； 移动块， 设置在所述模块基座上； 支撑柱， 设置在所述移动块上， 与所述底板连接， 用于对所述底板进行支撑； 一个或多个调节杆， 安装在所述模块基座上， 与所述移动块连接， 用于在至少一个维度 上对所述移动块进行调节， 以通过 所述支撑柱调节所述底板 。 2.根据权利要求1所述的支撑调节装置， 其特 征在于， 所述 一个或多个调节杆包括： 多个水平调节杆， 用于在水平的横向和/或纵向上对所述移动块进行调节， 以通过所述 支撑柱调节所述底板 。 3.根据权利要求1所述的支撑调节装置， 其特 征在于， 所述支撑柱包括： 螺杆， 下螺母， 套设在所述螺杆 上且位于所述底板下 方， 用于支撑所述底板 。 4.根据权利要求3所述的支撑调节装置， 其特 征在于， 所述支撑柱还 包括： 上螺母， 套设在所述螺杆上且位于所述底板上方， 用于将所述螺杆与所述底板固定连 接。 5.根据权利要求1 ‑4中任一项所述的支撑调节装置， 其特征在于， 所述底板包括： 回字 型底板或中空半六边形底板 。 6.根据权利要求5所述的支撑调节装置， 其特征在于， 所述多个调节模块包括设置在所 述底板边、 角处的多个调节模块。 7.根据权利要求5所述的支撑调节装置， 其特 征在于， 所述多个调节模块包括： 第一调节模块， 设置在所述半六边形底板的长边的第一端； 第二调节模块， 设置在所述半六边形底板的长边的第二端； 以及 第三调节模块， 设置在与长边相对的短边的中间位置 。 8.根据权利要求1 ‑4中任一项所述的支撑调节装置， 其特 征在于， 还 包括： 多个鱼眼接 头， 安装在所述支 架上； 以及 多个L型连接块， 与所述鱼眼接 头连接。 9.根据权利要求1 ‑4中任一项所述的支撑调节装置， 其特 征在于， 还 包括： 底座， 所述多个调节模块固定设置在底座上； 多个滑块， 固定连接在所述底座下 方； 以及 至少一个滑轨， 所述多个滑块与所述至少一个滑轨滑动连接 。 10.根据权利要求9所述的支撑调节装置， 其特 征在于， 所述至少一个滑轨包括第一滑轨和第二滑轨； 所述多个滑块包括第一对滑块和第二对滑块； 所述第一对滑块与所述第一滑轨滑动连接， 所述第二对滑块与所述第二滑轨滑动连 接。 11.根据权利要求10所述的支撑调节装置， 其特征在于， 所述第 一对滑块偏心安装在所权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217404110 U 2述底座靠 近承重位置处， 所述第二对滑块与所述第一对滑块对称安装。 12.根据权利要求1 ‑4中任一项所述的支撑调节装置， 其特 征在于， 还 包括： 支撑螺杆， 穿设在所述底板上。 13.根据权利要求12所述的支撑调节装置， 其特 征在于， 还 包括： 下支撑螺母， 套设在所述支撑 螺杆上， 且位于所述底板下 方， 用于支撑所述底板； 以及 上支撑螺母， 套设在所述支撑螺杆上， 且位于所述底板上方， 用于将所述支撑螺杆与所 述底板固定连接 。 14.一种角分辨 光电子能谱分析系统， 包括： 角分辨光电子能谱分析器； 以及 根据权利要求1 ‑13中任意一项所述的支撑调节装置， 用于支撑所述角分辨光电子能谱 分析器。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217404110 U 3