(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122818179.X (22)申请日 2021.11.17 (73)专利权人 宜宾显微智能科技有限公司 地址 644000 四川省宜宾市叙州区高场镇 高新社区金润产业园72栋1楼7号 (72)发明人 王旭东　刘勇　王兴国　樊晓屏　 邓皓　张震华　 (74)专利代理 机构 成都华辰智合知识产权代理 有限公司 513 02 代理人 秦华云 (51)Int.Cl. G01N 21/84(2006.01) G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于微型芯片检测的显微成像装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于微型芯片检测 的显微成像装置， 包括水平台座和存储计算机， 水平台座竖向固定有竖杆， 竖杆顶部设有升降驱 动装置， 升降驱动装置上横向设有升降联动杆， 升降驱动装置用于驱动升降联动杆升降运动， 竖 杆中部升降安装有光源升降横杆。 升降联动杆端 部设有显微成像组件， 光源升降横杆端部设有与 显微成像组件相对应的环形光源； 水平台座上设 有夹具， 存储计算机与显微成像组件连接。 本实 用新型通过显微成像组件的相机、 远心镜头组合 对集成有多个微型芯片的样本集合条进行对焦 显微成像拍摄并将显微成像图像传输至存储计 算机中存储， 检测人员通过存储计算机对显微成 像图像进行查询和检测， 降低了检测难度， 提高 了检测效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 216284962 U 2022.04.12 CN 216284962 U 1.一种用于微型芯片检测的显微成像装置， 包括水平台座(1)， 水平台座(1)竖向固定 有竖杆(2)， 所述竖杆(2)顶部设有升降驱动装置(3)， 升降驱动装置(3)上横向设有升降联 动杆(31)， 升降驱动装置(3)用于驱动升降联动杆(31)升降运动， 所述竖杆(2)中部升降安 装有光源升降横杆(51)， 其特征在于： 还包括存储计算机(8)， 所述升降联动杆(31)端部设 有显微成像组件(4)， 所述光源升降横杆(51)端部 设有与显微 成像组件(4)相对应的环形光 源(5)； 所述水平台座(1)上设有夹具(10)， 所述存 储计算机(8)与显微成像组件(4)连接 。 2.按照权利要求1所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置， 其特征在于： 所述显 微成像组件(4)包括相机(41)和与相机(41)相对应的远心镜头(42)， 相机(41)安装于升降 联动杆(31)上， 所述显微成像组件(4)的相机(41)与存 储计算机(8)通过 数据线(9)连接 。 3.按照权利要求2所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置， 其特征在于： 所述环 形光源(5)整体呈圆环形状且中部具有圆孔， 所述远心镜头(42)与环形光源(5)中心的圆孔 相对应。 4.按照权利要求1所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置， 其特征在于： 所述水 平台座(1)上安装有微动平台(6)， 所述夹具(10)安装于微动平台(6)上。 5.按照权利要求4所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置， 其特征在于： 还包括 样本集合条(7)， 样 本集合条(7)上集合安装有若干个微型芯片， 所述样 本集合条(7)通过夹 具(10)定位装配。 6.按照权利要求2所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置， 其特征在于： 所述数 据线(9)为USB通信数据线， 所述相机(41)为 面阵COMS相机 。 7.按照权利要求1所述的一种用于微型芯片检测的显微成像装置， 其特征在于： 所述升 降驱动装置(3)为升降直线电机或升降步进电机 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216284962 U 2一种用于微型 芯片检测的 显微成像装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及微型芯片检测领域， 尤其涉及一种用于微型芯片检测的显微成像 装置。 背景技术 [0002]随着现代工业的发展， 集成电路不仅在规模上越来越大， 而且在精细程度方面的 要求不断提高。 其中， 芯片作为大规模集成电路不可或缺的一部分， 功能日益强大的同时， 它在系统中的任务也正在向多 元化和复杂化 发展， 微型芯片便是信息化时代十 分重要的一 类特种芯片。 与传统的CPU、 单片 机和FPGA 等大规模 大面积芯片不同， 微型芯片十 分细小， 其 横截面积往往只有数十平方毫米或者更小， 但在实际工业生产和科学研究中， 微型芯片又 有着至关重要的作用。 在一些体积狭小的空间或者不需要太强算力的嵌入式结构 中， 由于 受到工艺、 成本、 散热和能耗的 限制， 有且仅有微型芯片可以满足工程的需要。 然而， 正因为 微型芯片面积狭小， 一般来讲其表面的信息和字符肉眼是很不便于观测， 所以在其生产过 程和后续可能发生的检修流程中， 确认该类芯片上所刻写的序列号十分困难， 这就给微型 芯片的质量检测带来了技术困难， 给生产过程的批次控制、 良品筛选和之后的故障排除也 带来了很大的困扰。 实用新型内容 [0003]针对现有技术存在的不足之处， 本实用新型的目的在于提供一种用于微型芯片检 测的显微成像装置， 通过显微成像组件的相 机、 远心镜头组合对集成有多个微型芯片的样 本集合条进行对焦显微成像拍摄并将显微成像图像传输至存储计算机中存储， 检测人员通 过存储计算机对显微成像图像进 行查询和检测， 降低了检测难度， 提高了检测效率， 可以批 量化、 标准化地实现微型芯片检测作业。 [0004]本实用新型的目的通过 下述技术方案实现： [0005]一种用于微型芯片检测的显微成像装置， 包括水平台座和存储计算机， 水平台座 竖向固定有 竖杆， 所述竖杆顶部 设有升降驱动装置， 升降驱动装置上横向设有升降联动杆， 升降驱动装置用于驱动升降联动杆升降运动， 所述竖杆中部升降安装有光源升降横杆。 所 述升降联动杆端部 设有显微成像组件， 所述光源升降横杆端部 设有与显微成像组件相对应 的环形光源； 所述水平台座上设有夹具， 所述存 储计算机与显微成像组件连接 。 [0006]为了更好地实现本实用新型， 所述显微成像 组件包括相机和与相机相对应的远心 镜头， 相机安装于 升降联动杆 上， 所述显微成像组件的相机与存 储计算机通过 数据线连接 。 [0007]优选地， 所述环形光源整体呈圆环形状且中部具有圆孔， 所述远心镜头与环形光 源中心的圆孔相对应。 [0008]本实用新型优选 的第二种技术方案： 所述水平台座上安装有微动平台， 所述夹具 安装于微动平台上。 [0009]优选地， 本实用新型还包括样本集合条， 样本集合条上集合安装有若干个微型芯说　明　书 1/3 页 3 CN 216284962 U 3