(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123061896.9 (22)申请日 2021.12.07 (73)专利权人 张家港市超 声电气有限公司 地址 215600 江苏省苏州市张家港市金港 大道1001号张家港 市超声电气有限公 司 (72)发明人 陈烔杰　何志明　陆进时　丁晓　 陈伟　 (74)专利代理 机构 苏州市港澄专利代理事务所 (普通合伙) 32304 专利代理师 许莉莉 (51)Int.Cl. F26B 11/06(2006.01) F26B 25/16(2006.01) F26B 21/00(2006.01)F26B 25/04(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 硅料清洗 干燥工装 (57)摘要 本申请公开了一种硅料清洗干燥工装， 包括 清洗箱以及设置在清洗箱内的工装篮， 工装篮内 设有横轴， 横轴的两端贯穿工装篮延伸至清洗箱 内， 工装篮两侧的清洗箱内设有一对支撑块， 一 对支撑块上设有分别与横轴两端配合连接的轴 承， 横轴内设有第一腔体， 第一腔体贯穿横轴的 一端， 工装篮内的横轴上凹设有与第一腔体连通 的若干通孔， 清洗箱左侧的外壁上凸设有环形 齿， 环形齿上啮合有齿轮， 清洗箱外设有驱动电 机， 驱动电机的输出端延伸至清洗箱内与齿轮连 接且驱动齿轮转动。 该工装通过第一腔体和第二 腔体的配合实现中轴进风 或进水， 并且工装篮在 结构配合下保持旋转， 旋转过程中使得风或水对 硅料充分的进行清洗或干燥， 清洗更加高效， 干 燥更快快速。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217636531 U 2022.10.21 CN 217636531 U 1.一种硅料清洗干燥工装， 其特征在于： 包括清洗箱以及设置在清洗箱内的工装篮， 所 述工装篮内设有横轴， 所述横轴的两端贯穿工装篮延伸至清洗箱内， 所述工装篮两侧的清 洗箱内设有一对支撑块， 一对所述支撑块上设有分别与横轴两端配合连接的轴承， 所述横 轴内设有第一腔体， 所述第一腔体贯穿横轴的一端， 所述工装篮内的横轴 上凹设有与第一 腔体连通的若干通孔， 所述清洗箱左侧的外壁上凸设有环形齿， 所述环形齿上啮合有齿轮， 所述清洗箱外 设有驱动电机， 所述驱动电机的输出端延伸至清洗箱内与齿轮连接且驱动齿 轮转动。 2.根据权利要求1所述的一种硅料清洗干燥工装， 其特征在于： 所述清洗箱上可开合连 接有第一密封 盖， 所述工装篮上 可开合连接有第二密封 盖。 3.根据权利要求1所述的一种硅料清洗干燥工装， 其特征在于： 所述清洗箱外设有与横 轴同轴设置的连接轴， 所述连接轴朝向横轴的一端贯穿清洗箱延伸至清洗箱内， 所述连接 轴朝向横轴的一端凸设有插入第一腔体的插块， 所述插块与第一腔体过盈配合连接， 所述 连接轴内设有与第一腔体连通的第二腔体， 所述第二腔体贯穿连接轴的两端， 所述清洗箱 外壁上设有伸缩气缸， 所述伸缩气缸驱动连接轴水平移动， 所述轴承为半圆轴承， 一对所述 轴承相背的端面上设有限位块， 靠近所述连接轴一侧的 限位块上设有配合连接轴穿过的缺 口。 4.根据权利要求1所述的一种硅料清洗干燥工装， 其特征在于： 所述清洗箱底部设有排 污口， 所述工装篮下 方的清洗箱内设有与排污口衔接的引导板 。 5.根据权利要求1所述的一种硅料清洗干燥工装， 其特征在于： 所述驱动电机为旋转电 机。 6.根据权利要求1所述的一种硅料清洗干燥工装， 其特征在于： 所述工装篮内设有水平 设有多个搅拌轴， 多个所述搅拌轴包围横轴设置， 所述搅拌轴通过 连接杆与横轴固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217636531 U 2硅料清洗干 燥工装 技术领域 [0001]本申请涉及晶圆领域， 特别是一种硅料清洗 干燥工装。 背景技术 [0002]现有技术中， 硅料清洗效果较差， 且效率较低。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种硅料清洗 干燥工装， 以克服现有技 术中的不足。 [0004]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技 术方案： [0005]本申请实施例公开了一种硅料清洗干燥工装， 其特征在于： 包括清洗箱以及设置 在清洗箱内的工装篮， 所述工装篮内设有横轴， 所述横轴的两端贯穿工装篮延伸至清洗箱 内， 所述工装篮两侧的清洗箱内设有一对支撑块， 一对所述支撑块上设有分别与横轴两端 配合连接的轴承， 所述横轴内设有第一腔 体， 所述第一腔 体贯穿横轴的一端， 所述工装篮内 的横轴上凹设有与第一腔体连通的若干通孔， 所述清洗箱左侧的外壁上凸设有环形齿， 所 述环形齿上啮合有齿轮， 所述清洗箱外设有驱动电机， 所述驱动电机的输出端延伸至清洗 箱内与齿轮连接且驱动齿轮转动。 [0006]优选的， 在上述的一种硅料清洗干燥工装中， 所述清洗箱上可开合连接有第一密 封盖， 所述工装篮上 可开合连接有第二密封 盖。 [0007]优选的， 在上述的一种硅料清洗干燥工装中， 所述清洗箱外设有与横轴同轴设置 的连接轴， 所述连接轴朝向横轴的一端贯穿清洗箱延伸至清洗箱内， 所述连接轴朝向横轴 的一端凸设有插入第一腔体的插块， 所述插块与第一腔体过盈配合连接， 所述连接轴内设 有与第一腔体连通的第二腔体， 所述第二腔体贯穿连接轴的两端， 所述清洗箱外壁上设有 伸缩气缸， 所述伸缩气缸驱动连接轴水平移动， 所述轴承为半圆轴承， 一对所述轴承相背的 端面上设有限位 块， 靠近所述连接轴一侧的限位 块上设有配合连接轴穿过的缺口。 [0008]优选的， 在上述的一种硅料清洗干燥工装中， 所述清洗箱底部设有排污口， 所述工 装篮下方的清洗箱内设有与排污口衔接的引导板 。 [0009]优选的， 在上述的一种硅料清洗 干燥工装中， 所述驱动电机为旋转电机 。 [0010]优选的， 在上述的一种硅料清洗干燥工装中， 所述工装篮内设有水平设有多个搅 拌轴， 多个所述搅拌轴包围横轴设置， 所述搅拌轴通过 连接杆与横轴固定连接 。 [0011]与现有技 术相比， 本实用新型的优点在于： [0012]该工装通过第一腔体和通孔的配合实现中轴进风或进水， 并且工装篮在结构配合 下保持旋转， 旋转过程中使得风或水对硅料充分的进 行清洗或干燥， 清洗更加高效， 干燥更 快快速。 附图说明 [0013]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案， 下面将对实施例或现说　明　书 1/3 页 3 CN 217636531 U 3