(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211092211.3 (22)申请日 2022.09.08 (71)申请人 泓浒 （苏州） 半导体科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市相城区元和万 里路88号4号楼1楼104室 (72)发明人 林坚　王彭　 (51)Int.Cl. G01D 21/02(2006.01) (54)发明名称 一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据 处理系统 (57)摘要 本发明提供一种用于晶圆传送设备的运行 稳定性数据处理系统， 涉及晶圆传送技术领域， 所述传送设备包括传送组件和动力组件， 所述传 送组件用于给晶圆传送提供载体， 所述动力组件 用于给传送组件提供传送动力， 所述动力组件包 括电机， 所述数据处理系统包括电机检测模块、 电参数检测模块、 传送组件检测模块、 运行环境 检测模块以及综合处理模块； 本发 明通过对传送 设备运行时的参数进行细致分析， 能够提高对传 送设备稳定性判断的精准度和及时性， 以解决现 有的晶圆传送设备的稳定性判断不够全面且及 时的问题。 权利要求书3页 说明书10页 附图2页 CN 115164998 A 2022.10.11 CN 115164998 A 1.一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统， 所述传送设备包括传送组件和 动力组件， 所述传送组件用于给 晶圆传送提供载体， 所述动力组件用于给传送组件提供传 送动力， 所述动力组件包括电机， 其特征在于， 所述数据处理系统包括电机检测模块、 电参 数检测模块、 传送组件检测模块、 运行环境检测模块以及综合处 理模块； 所述电机检测模块包括电机温度检测单元、 电机振动检测单元以及电机噪声检测单 元， 所述电机温度检测单元用于对电机运行状态下 的温度数据进行检测； 所述电机振动检 测单元用于对电机运行状态下的振动数据进 行检测； 所述电机噪声检测单元用于对电机运 行状态和停止状态下的噪声 进行检测； 所述电参数检测模块包括电能质量检测器， 所述电能质量检测器用于获取传送设备运 行时输入到电机的电压值和电流 值； 所述传送组件检测模块包括传送运输参数检测单元、 传送振动检测单元以及传送噪声 检测单元； 所述传送运输参数检测单元用于对传送的晶圆规格参数进行检测； 所述传送振 动检测单元用于对传送组件的振动数据进 行检测； 所述传送噪声检测单元用于对传送组件 的噪声数据进行检测； 所述运行环境检测模块用于对传送设备的运行环境中的环境温度和环境湿度进行检 测； 所述综合处理模块包括电机稳定性处理单元、 电参数稳定性处理单元、 传送组件稳定 性处理单元以及综合处理单元； 所述电机稳定性处理单元用于对电机检测模块检测到的数 据进行处理， 并输出电机稳定性结果； 所述电参数稳定性处理单元用于对电参数检测模块 检测到的数据进行处理， 并输出电参数稳定性结果； 所述传送组件稳定性处理单元用于对 传送组件检测模块检测到的数据进行处理， 并输出传送组件稳定性结果， 所述综合处理单 元用于对电机稳定性处理单元、 电参数稳定性处理单元以及传送组件稳定性处理单元的处 理结果进行综合处 理， 并输出综合稳定性结果。 2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统， 其特征 在于， 所述电机检测模块配置有电机检测策略， 所述电机检测策略包括： 在电机开启后的第 一时间段内， 每间隔第一电机温度检测时间获取一次电机绕组温度和电机壳温度； 每间隔第一单位秒数获取一次电机运行时的振动数据； 对电机运行状态下的电机噪声 进行检测， 并在关闭电机时持续对电机噪声 进行检测。 3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统， 其特征 在于， 所述电机稳定性处理单元配置有电机稳定性处理策略， 所述电机稳定性处理策略包 括： 当检测到电机绕组温度大于等于第一绕组温度阈值时， 将此时的时间点设置为电机温 度异常点， 并将电机温度异常点之前获取的第一电机温度数量的电机绕组温度和电机壳温 度代入到电机温度校正公式中求得电机温度波动值； 所述电机温度校正公式配置为： ； 其中， Bdw 为电机温度波动值， Tdr1至Tdra分别为第一电机温度数量的电机绕组温度， Tdk1至Tdka分别 为第一电机温度数量的电机壳温度； a为第一电机温度数量； 当电机温度波动值大于等于第一电机温度波动阈值时， 输出电机温度波动异常信号； 当电机温度波动值小于第一电机温度波动阈值时， 输出电机温度持续 监测信号；权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115164998 A 2将每次获取到的电机运行状态下的电机振幅、 电机振动速度以及电机振动加速度代入 到电机振动参考公式中求得电机振动参考值； 所述电机振动参考公式配置为： ； 其中， Cdz为电机振动参考值， Fdz为电机振幅， vd为电机振动速度， vjd 为电机振动加速度； 将关闭电机时获取到的第一电机噪声数量的电机噪声代入到电机噪声分析公式中求 得电机噪声关联值； 当电机噪声关联值大于等于第一关联阈值时， 输出电机噪声振动关联 信号， 当电机噪声关联值小于第二关联阈值时， 输出电机噪声电参数关联信号； 所述电机噪 声分析公式配置为： ； 其中 , Ldzg为电机噪声关联值， Ddb1至Ddbb分别为关闭电机时获取到的第 一电机噪声数量的电机 噪声； b为第一电机噪声数量。 4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统， 其特征 在于， 所述电参数稳定性处理单元配置有电参数稳定性处理策略， 所述电参数稳定性处理 策略包括： 在传送设备运行时， 将每次累计获取到的第一电参数数量的电压值代入到电压 波动公式中求得电压波动值； 将 每次累计获取到的第一电参数数量的电流值代入到电流波 动公式中求得电流波动值； 所述电压波动公式配置为： ； 所述电流波动公式配置为： ； 其中， Bdy为电压波动值， U1至Un 分别为第 一电参数数量的电压值， Bdl为电流波动值， I1至In分别为第 一电参数数量的电流 值； 当电压波动值大于等于第一电压波动阈值时， 输出电压波动异常信号； 当电压波动值 小于第一电压波动阈值时， 输出电压持续 监测信号； 当电流波动值大于等于第一电流波动阈值时， 输出电流波动异常信号； 当电流波动值 小于第一电压波动阈值时， 输出电压持续 监测信号。 5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统， 其特征 在于， 所述传送组件检测模块配置有传送组件检测策略， 所述传送组件检测策略包括： 通过 传送运输参数检测单 元获取传送组件在 传送过程中的 晶圆承载盘的直径和重量； 每间隔第一单位秒数通过传送振动检测单 元获取一次传送组件在运行时的振动数据； 通过传送噪声检测单 元获取传送组件运行时的传送噪声。 6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆传送设备的运行稳定性数据处理系统， 其特征 在于， 所述传送组件稳定性处理单元配置有传送稳定性处理策略， 所述传送稳定性处理策 略包括： 将每次获取到的传送组件运行时的传送振 幅、 传送振动速度以及传送振动加速度 代入到传送振动参考公式中求得传送振动参考值； 所述传送振动参考公式配置为： ； 其中， Ccz为传送振动参考值， Fcz为传送振幅， vc为传送振动速度， vjc 为传送振动加速度； 再将传送振动参考值、 传送噪声以及晶圆承载盘的直径和重量代入到传送稳定性影响 公 式 中 求 得 传 送 稳 定 性 影 响 值 ；所 述 传 送 稳 定 性 影 响 公 式 配 置 为 ： ； 其中， Ccsw为传送稳定性影响值， Wjy为晶圆承载盘的重量，权　利　要　求　书 2/3 页 3 CN 115164998 A 3