(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211461162.6 (22)申请日 2022.11.18 (71)申请人 浙江晶盛机电股份有限公司 地址 312300 浙江省绍兴 市上虞区通江西 路218号 (72)发明人 曹建伟　傅林坚　朱亮　高宇　 葛旭　周铮超　 (74)专利代理 机构 杭州华进联浙知识产权代理 有限公司 3 3250 专利代理师 黄文勇 (51)Int.Cl. G06T 7/62(2017.01) G06T 7/70(2017.01) G06T 7/00(2017.01) G06T 1/00(2006.01)C30B 15/22(2006.01) C30B 29/06(2006.01) (54)发明名称 晶炉双目三维测量补偿方法、 装置、 计算机 设备和存 储介质 (57)摘要 本申请涉及一种晶炉双目三维测量补偿方 法、 装置、 计算机设备和存储介质。 方法包括： 获 取晶棒中心点的参考坐标， 并获取晶炉内的实时 晶棒图像， 基于实时晶棒图像得到晶棒光圈内侧 的边界点与凸起棱点的三维坐标； 基于参考坐标 以及边界点、 凸起棱点的三维坐标， 分别确定晶 棒的当前直径、 边界点与中心点的边界点径向距 离、 凸起棱点与中心点的棱点径向距离； 基于边 界点径向距离以及棱点径向距离确定边界点与 凸起棱点之间的径向距离差； 基于径向距离差的 变化率对当前直径的反馈信号进行补偿， 以调整 晶棒直径的控制参数。 采用本方法能够准确地测 量晶棒直径以及预测直径未来变化， 并对直径控 制补偿， 保证直径控制的及时性和准确性。 权利要求书2页 说明书10页 附图6页 CN 115546284 A 2022.12.30 CN 115546284 A 1.一种晶炉双目三维测量补偿方法， 其特 征在于， 所述方法包括： 获取晶棒中心点的参考坐标， 并获取晶炉内的实时晶棒图像， 基于所述实时晶棒图像 得到晶棒 光圈内侧的边界点与凸起 棱点的三维坐标； 基于所述参考坐标以及所述边界点、 所述凸起棱点的三维坐标， 分别确定晶棒的当前 直径、 所述边界点与所述中心点的边界点径向距离、 所述凸起棱点与所述中心点的棱点径 向距离； 基于所述边界点径向距离以及所述棱点径向距离确定所述边界点与所述凸起棱点之 间的径向距离 差； 基于所述径向距离差的变化率对所述当前直径的反馈信号进行补偿， 以调 整晶棒直径 的控制参数。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述获取晶棒中心点的参考坐标之前， 还 包括： 在晶体生长的引晶阶段， 通过双目相机捕捉晶棒光圈的最长轴两端测量点的三维坐 标， 并基于 两端测量 点的三维坐标 得到所述中心点的所述 参考坐标。 3.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述基于所述实时晶棒图像得到晶棒光圈 内侧的边界点与凸起 棱点的三维坐标包括： 基于双目相机之间的空间立体关系， 对双目相机拍摄的所述实时晶棒图像中同一测量 点的像素坐标进行转换， 得到所述 边界点、 所述凸起 棱点的三维坐标。 4.根据权利要求3所述的方法， 其特征在于， 所述双目相机之间的空间立体关系通过点 阵型棋盘 格标定板对双目相机预 先标定获取。 5.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述基于所述参考坐标以及所述边界点、 所述凸起棱点的三维坐标， 分别确定晶棒的当前直径、 所述边界点与所述中心点的边界点 径向距离、 所述凸起 棱点与所述中心点的棱 点径向距离包括： 将所述参考坐标和所述边界点的三维坐标投影至同一径向平面上， 计算得到晶棒的所 述当前直径以及所述 边界点与所述中心点的所述 边界点径向距离； 将所述参考坐标和所述凸起棱点的三维坐标投影至同一径向平面上， 计算得到所述凸 起棱点与所述中心点的所述 棱点径向距离 。 6.根据权利要求1至权利要求5任意一项所述的方法， 其特征在于， 所述基于所述径向 距离差的变化 率对所述当前直径的反馈信号进行补偿包括： 基于当前的所述径向距离 差以及对应的历史数据， 确定所述径向距离 差的变化 率； 基于所述径向距离 差的变化 率以及预设的比例常数， 得到晶棒的直径补偿系数； 通过所述直径补偿系数对所述当前直径的反馈信号进行补偿。 7.根据权利要求1至权利要求5任意一项所述的方法， 其特征在于， 所述基于所述径向 距离差的变化 率对所述当前直径的反馈信号进行补偿之后， 还 包括： 基于补偿之后所述当前直径的反馈信号以及测量得到的液口距的反馈信号， 调 整晶体 生长的控制参数， 其中， 基于双目相 机捕捉的所述实时晶棒图像中所述边界点以及晶炉导 流筒下沿测量 点的三维坐标， 得到所述液口距。 8.一种晶炉双目三维测量补偿装置， 其特 征在于， 所述装置包括： 获取模块， 用于获取晶棒中心点的参考坐标， 并获取晶炉内的实时晶棒图像， 基于所述权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115546284 A 2实时晶棒图像得到晶棒 光圈内侧的边界点与凸起 棱点的三维坐标； 测距模块， 用于基于所述参考坐标以及所述边界点、 所述凸起棱点的三维坐标， 分别确 定晶棒的当前直径、 所述边界点与所述中心点的边界点径向距离、 所述凸起棱点与所述中 心点的棱 点径向距离； 预测模块， 用于基于所述边界点径向距离以及所述棱点径向距离确定所述边界点与 所 述凸起棱点之间的径向距离 差； 补偿模块， 用于基于所述径向距离差的变化率对所述当前直径的反馈信号进行补偿， 以调整晶棒 直径的控制参数。 9.一种计算机设备， 包括存储器和处理器， 所述存储器存储有计算机程序， 其特征在 于， 所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求 1至权利要求7中任一项 所述的方法的 步骤。 10.一种计算机可读存储介质， 其上存储有计算机程序， 其特征在于， 所述计算机程序 被处理器执行时实现权利要求1至 权利要求7中任一项所述的方法的步骤。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115546284 A 3