(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211430647.9 (22)申请日 2022.11.16 (71)申请人 广州粤芯 半导体技 术有限公司 地址 510700 广东省广州市黄埔区凤 凰五 路28号 (72)发明人 曾辉　 (74)专利代理 机构 深圳市嘉勤知识产权代理有 限公司 4 4651 专利代理师 刘婧 (51)Int.Cl. G01B 15/00(2006.01) G01B 15/04(2006.01) G01B 15/06(2006.01) G06T 7/00(2017.01) G06T 7/13(2017.01)G06T 7/62(2017.01) (54)发明名称 圆整度的测量方法、 装置、 设备终端和可读 存储介质 (57)摘要 本申请涉及圆整度 的测量方法、 装置、 设备 终端和可读存储介质， 应用于待测量晶圆， 测量 方法包括： 获取每个待测量晶圆中每个孔对应的 灰度图像， 提取每张灰度图像的边缘特征， 以得 到每个孔对应的边缘闭合曲线图像， 计算每张边 缘闭合曲线图像的质心， 以对应的质心作为每张 边缘闭合曲线图像的中心点， 根据每张边缘闭合 曲线图像的中心点， 计算每个孔对应的圆整度， 上述测量方法直接将每张边缘闭合曲线图像的 质心作为对应的中心点， 大大降低了计算任务 量， 从整体上能够降低测量过程对于整个工艺进 行的影响， 以及提高芯片和器件的可靠性。 权利要求书2页 说明书6页 附图10页 CN 115493536 A 2022.12.20 CN 115493536 A 1.一种圆整度的测量方法， 其特 征在于， 应用于待测量晶圆， 所述测量方法包括： 获取每个待测量晶圆中每 个孔对应的灰度图像； 提取每张所述灰度图像的边 缘特征， 以得到每 个孔对应的边 缘闭合曲线图像； 计算每张所述 边缘闭合曲线图像的质心； 以对应的质心作为每张所述 边缘闭合曲线图像的中心点； 根据每张所述 边缘闭合曲线图像的中心点， 计算每 个孔对应的圆整度。 2.根据权利要求1所述的测量方法， 其特征在于， 所述获取每个待测量晶圆中每个孔对 应的灰度图像的步骤 包括： 采用关键尺寸电子扫描显微镜对每个待测量晶圆中的孔进行测量， 以输出每个孔对应 的灰度图像。 3.根据权利要求1所述的测量方法， 其特征在于， 所述根据每张所述边缘闭合曲线图像 的中心点， 计算每 个孔对应的圆整度的步骤 包括： 绘制穿过 所述中心点的各 条直线并确定各 条直线的倾 斜角度； 根据各条直线与每张所述边缘闭合曲线图像的交点确定各个倾斜角度对应的直径大 小； 根据各个倾 斜角度各自对应的直径大小计算每 个孔的圆整度。 4.根据权利要求3所述的测量方法， 其特征在于， 所述根据 各个倾斜角度 各自对应的直 径大小计算每 个孔的圆整度的步骤 包括： 计算各个倾 斜角度各自对应的直径大小的标准差； 将所述标准差作为每 个孔的圆整度。 5.根据权利要求1所述的测量方法， 其特征在于， 所述待测量晶圆设置有多个金属层， 所述孔包括实现各个金属层互连的通 孔， 以及设置在所述金属层上的连接孔。 6.一种半导体工艺方法， 其特 征在于， 包括： 提供待测量晶圆； 采用权利要求1至5 中任一项所述的测量方法对每个所述待测量晶圆进行测量， 得到每 个所述待测量晶圆中各个孔的圆整度； 根据每个所述待测量晶圆中各个孔的圆整度， 对每个所述待测量晶圆的轮廓形变进行 综合评估， 得到对应的形变评估值； 根据对应的形变评估值以及预设形变阈值判断每 个所述待测量晶圆是否合格。 7.一种圆整度的测量装置， 其特 征在于， 应用于待测量晶圆， 所述测量装置包括： 图像获取 单元， 用于获取每 个待测量晶圆中每 个孔对应的灰度图像； 边缘图像生成单元， 用于提取每张所述灰度图像的边缘特征， 以得到每个孔对应的边 缘闭合曲线图像； 质心计算单 元， 用于计算每张所述 边缘闭合曲线图像的质心； 中心点确定单 元， 用于以对应的质心作为每张所述 边缘闭合曲线图像的中心点； 圆整度计算单元， 用于根据每张所述边缘闭合曲线图像的中心点， 计算每个孔对应的 圆整度。 8.根据权利要求7 所述的测量装置， 其特 征在于， 所述圆整度计算单 元包括： 倾斜角度确定单元， 用于绘制穿过所述中心点的各条直线并确定各条直线的倾斜角权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115493536 A 2度； 直径大小确定单元， 用于根据 各条直线与每张边缘闭合曲线图像的交点确定各个倾斜 角度对应的直径大小； 圆整度计算单 元， 用于根据各个倾 斜角度各自对应的直径大小计算每 个孔的圆整度。 9.一种设备终端， 其特征在于， 所述设备终端包括处理器和存储器， 所述存储器用于存 储计算机程序， 所述处理器运行所述计算机程序以使 所述设备终端 执行权利要求1至5中任 一项所述的测量方法。 10.一种可读存储介质， 其特征在于， 所述可读存储介质存储有计算机程序， 所述计算 机程序在被处 理器执行时实施权利要求1至 5中任一项所述的测量方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115493536 A 3