(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222214153.9 (22)申请日 2022.08.23 (73)专利权人 大连地拓电子 工程技术有限公司 地址 116000 辽宁省大连市高新 技术产业 园区广贤路133号赛伯乐大厦4层A 434 室 (72)发明人 赵小江　孙乐　张厚根　 (51)Int.Cl. F16F 15/08(2006.01) F16F 15/03(2006.01) (54)实用新型名称 一种基于超磁致伸缩驱动的隔振 装置 (57)摘要 本实用新型提供一种基于超磁致伸缩驱动 的隔振装置， 包括顶板A、 立柱和底座A， 所述立柱 为三根呈等边三角形布置在底座A顶部边缘， 所 述立柱顶部安装有橡胶垫块， 所述橡胶垫块顶部 安装有金属弹簧， 所述金属弹簧顶部与顶板A底 部连接， 所述底座A顶部中间与顶板A底部中间之 间安装有超磁致伸缩驱动器。 本实用新型隔振装 置通过金属弹簧与橡胶垫块的串联实现被动高 频隔振， 通过超磁致伸缩驱动器实现低频隔振， 系统固有频率能现实小于0.5Hz， 对0.5Hz~150Hz 的振动干扰具有较好的隔振效果， 适用范围较 广。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217842518 U 2022.11.18 CN 217842518 U 1.一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置， 包括顶板A、 立柱和底座A， 其特征在于， 所述 立柱为三根呈等边三角形布置在底座A顶部边缘， 所述立柱顶部安装有橡胶垫块， 所述橡胶 垫块顶部安装有金属弹簧， 所述金属弹簧顶部与顶板A底部连接， 所述底座A顶部中间与顶 板A底部中间之 间安装有超磁致伸缩驱动器， 所述超磁致伸缩驱动器包括底座B， 所述底 座B 顶部连接有套筒， 所述套筒内部上端焊接有隔板， 所述隔板下方套筒内部两侧安装有骨架， 所述骨架上安装有线圈， 所述骨架之间安装有超磁致伸缩棒， 所述超磁致伸缩棒顶部连接 输出杆， 所述输出杆穿过隔板， 所述输出杆上安装有挡板， 所述挡板顶部输出杆外侧套装有 预压弹簧， 所述套筒顶部开设有内螺纹孔， 所述内螺纹孔连接有螺旋顶盖， 所述输出杆穿过 螺旋顶盖， 所述顶板A 底部安装有位置传感器和速度传感器， 所述底座A 顶部安装有控制器。 2.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置， 其特征在于， 所述顶板 A、 底座A均呈圆形 结构。 3.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置， 其特征在于， 所述预压 弹簧顶部与螺 旋顶盖连接 。 4.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置， 其特征在于， 所述挡板 位于隔板的上 方。 5.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置， 其特征在于， 所述位置 传感器、 速度传感器、 超磁致伸缩驱动器与控制器通过电缆连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217842518 U 2一种基于超磁致伸缩 驱动的隔 振装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及隔振装置技术领域， 具体是一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装 置。 背景技术 [0002]目前半导体行业飞速发展， 半导体生产设备的精度要求越来越高， 设备对微振动 等环境的要求也越来越敏感， 少许的微振动就会降低设备 的产出良率， 甚至使设备不能正 常工作， 因此对微振动的隔离变得越来越重要。 [0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度 与超精密加工装备制 造精度的关键因素之一， 高性能精密 隔微振技术成为精密工程、 超精 密制造等领域的一项核心关键技术， 对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。 振 动控制部分是隔振平台的核心， 针对中高频振动， 多采用被动隔振， 被动隔振结构简单、 工 作可靠、 不依赖电源， 可以有效地隔绝中高频振动干扰。 针对低频甚至或超低频振动， 多采 用主动隔振， 气动主动隔振自适应性好， 通过作动器输出反向力抵消 低频振动， 具有优越的 低频或超低频隔振性能。 但精密仪器所处的环境是复杂的， 不仅仅是单一的低频振动 或高 频振动， 往往是低频振动和高频振动同时存在， 而传统的气动隔振装置很难满足这种复杂 环境振动的隔振要求， 适用范围较窄。 实用新型内容 [0004]实用新型的目的在于提供一种基于超磁致伸缩 驱动的隔振装置， 以解决上述背景 技术中存在的问题。 [0005]本实用新型的技 术方案是这样实现的： [0006]一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置， 包括顶板A、 立柱和底座A， 所述立柱为三根 呈等边三角形布置在底座A顶部边缘， 所述立柱顶部安装有橡胶垫块， 所述橡胶垫块顶部安 装有金属弹簧， 所述金属弹簧顶部与顶板A底部连接， 所述底座A顶部中间与 顶板A底部中间 之间安装有超磁致伸缩驱动器， 所述超磁致伸缩驱动器包括底座B， 所述底座B顶部连接有 套筒， 所述套筒内部上端焊接有隔板， 所述隔板下方套筒内部两侧安装有骨架， 所述骨架上 安装有线圈， 所述骨架之 间安装有超磁致伸缩棒， 所述超磁致伸缩棒顶部连接输出杆， 所述 输出杆穿过隔板， 所述输出杆上安装有挡板， 所述挡板顶部输出杆外侧套装有 预压弹簧， 所 述套筒顶部开设有内螺纹孔， 所述内螺纹孔连接有螺旋顶盖， 所述输出杆穿过螺旋顶盖， 所 述顶板A底部安装有位置传感器和速度传感器， 所述底座A 顶部安装有控制器。 [0007]进一步地， 所述顶板A、 底座A均呈圆形 结构。 [0008]进一步地， 所述预压弹簧顶部与螺 旋顶盖连接 。 [0009]进一步地， 所述挡板位于隔板的上 方。 [0010]进一步地， 所述位置传感器、 速度传感器、 超磁致伸缩 驱动器与 控制器通过电缆连 接。说　明　书 1/3 页 3 CN 217842518 U 3