(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211385429.8 (22)申请日 2022.11.07 (71)申请人 武汉钢铁集团气体有限责任公司 地址 430080 湖北省武汉市青山区武钢二 十号门 申请人 上海华爱 色谱分析技 术有限公司 (72)发明人 刘汉兵　万芳　查玲　韩曦　杨艳　 程效明　孙超　郁光　方华　 (74)专利代理 机构 上海浦东良风专利代理有限 责任公司 31 113 专利代理师 陆盛菊 (51)Int.Cl. G01N 30/02(2006.01) G01N 30/88(2006.01) (54)发明名称 用于氙气中微 量杂质分析的气相色谱仪 (57)摘要 本发明为一种用于氙气中微量杂质分析的 气相色谱仪， 包括切换阀组、 色谱柱组和放空针 阀组， 所述切换阀组包括第一十通阀、 第二十通 阀、 第一六通阀、 第二六通阀和第三六通阀， 所述 色谱柱组包括第一色谱柱、 第二色谱柱、 第三色 谱柱、 第四色谱柱、 第五色谱柱和第六色谱柱， 所 述放空针阀组包括第一针阀、 第二针阀和第三针 阀。 本发明通过切换阀组、 色谱柱组和放空针阀 组实现各个不同分离通路之间的切换， 实现氙气 中H2、 O2、 Ar、 N2、 CO2、 CO、 CH4、 Kr、 N2O、 CF4、 C2F6、 SF6 等微量杂质的色谱分析， 使氙气与其他杂质的完 全分。 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 CN 115524426 A 2022.12.27 CN 115524426 A 1.一种用于氙气中微量杂质分析的气相色谱仪， 包括切换阀组、 色谱柱组和放空针阀 组， 其特征在于： 所述切换阀组包括第一十通阀 （1） 、 第二十通阀 （4） 、 第一六通阀 （2） 、 第二 六通阀 （3） 和第三六通阀 （5） ， 所述色谱柱组包括第一色谱柱 （9） 、 第二色谱柱 （10） 、 第三色 谱柱 （11） 、 第四色谱柱 （12） 、 第五色谱柱 （13） 和第六色谱柱 （14） ， 所述放空针阀组包括第一 针阀 （23） 、 第二针阀 （24） 和第三针阀 （25） ； 所述第一十通阀 （1） 的 ①号接口与样品进口 （15） 相连， 所述第一十通阀 （1） 的 ②号接口 与所述第二十通阀 （4） 的 ①号接口相连； 所述第一十通阀 （1） 的 ③号接口与所述第一十通阀 （1） 的⑩号接口之间连有第一定量管 （7） ； 所述第一十通阀 （1） 的 ④号接口与第一载气 （17） 的气路相连， 所述第一十通阀 （1） 的 ⑤号接口与所述第一十通阀 （1） 的 ⑨号接口之间连有 所 述第一色谱柱 （9） ； 所述第一十通阀 （1） 的 ⑥号接口与所述第一六通阀 （2） 的 ⑥号接口相连， 所述第一十通阀 （1） 的 ⑦号接口与第二载气 （18） 的气路相连， 所述第一十通阀 （1） 的 ⑧号接 口与所述第一针阀 （23） 相连； 所述第一六通 阀 （2） 的①号接口与所述第二色谱柱 （10） 的一端相连， 所述第一六通 阀 （2） 的⑤号接口与所述第三色谱柱 （11） 的一端相连， 所述第二色谱柱 （10） 的另一端、 第三色 谱柱 （11） 的另一端通过第一三通 （26） 与所述第二六通阀 （3） 的 ④号接口相连； 所述第一六 通阀 （2） 的 ②号接口与所述 ④号接口相连， 所述第一六通阀 （2） 的 ③号接口与第三载气 （19） 的气路相连； 所述第二六通阀 （3） 的 ⑤号接口与PDD检测器 （6） 相连， 所述第二六通阀 （3） 的 ①号接口 与第二六通阀 （3） 的 ③号接口相连， 所述第二六通阀 （3） 的 ②号接口与所述第二针阀 （2 4） 相 连， 所述第二六通阀 （3） 的 ⑥号接口通过第二三通 （27） 与所述第五色谱柱 （13） 的一端、 第六 色谱柱 （14） 的一端相连； 所述第五色谱柱 （13） 的另一端与所述第三六通 阀 （5） 的①号接口相连， 所述第六色谱 柱 （14） 的另一端与所述第三六通阀 （5） 的 ⑤号接口相连， 所述第三六通阀 （5） 的 ④号接口与 所述第三六通阀 （5） 的 ②号接口相连， 所述第三六通阀 （5） 的 ③号接口与第六载气 （22） 的气 路相连， 所述第三六通阀 （5） 的 ⑥号接口与所述第二十通阀 （4） 的 ⑥号接口相连； 所述第二十通阀 （4） 的 ⑩号接口通过第二定量管 （8） 与所述第二十通阀 （4） 的 ③号接口 相连， 所述第二十通阀 （4） 的 ②号接口与样品出口 （16） 相连， 所述第二十通阀 （4） 的 ④号接 口与第四载气 （20） 的气路相连， 所述第二十通阀 （4） 的 ⑤号接口与第二十通阀 （4） 的 ⑨号接 口之间连有所述第四色谱柱 （12） ， 所述第二十通阀 （4） 的 ⑦号接口与第五载气 （21） 的气路 相连， 所述第二十通阀 （4） 的 ⑧号接口与所述第三针阀 （25） 相连。 2.根据权利要求  1 所述的用于氙气中微量杂质分析的气相色谱仪， 其特征在于： 在初 始状态时， 所述第一十通阀 （1） 的 ①号接口与第一十通阀 （1） 的 ⑩号接口连通， 第一十通阀 （1） 的③号接口与第一十通阀 （1） 的 ②号接口连通； 所述第二十通阀 （4） 的 ①号接口与第二 十通阀 （4） 的 ⑩号接口连通， 所述第二十通阀 （4） 的 ③号接口与第二十通阀 （4） 的 ②号接口 连通， 形成进样通路。 3.根据权利要求  1所述的用于氙气中微量杂质分析的气相色谱仪， 其特征在于： 包括 第一分离通路： 所述第一十通阀 （1） 的 ④号接口与所述第一十通阀 （1） 的 ③号接口连通， 所 述第一十通阀 （1） 的 ⑩号接口与第一十通阀 （1） 的 ⑨号接口连通， 所述第一十通阀 （1） 的 ⑤ 号接口与所述第一十通阀 （1） 的 ⑥号接口连通；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115524426 A 2所述第一六通阀 （2） 的 ⑥号接口与所述第一六通阀 （2） 的 ①号接口连通， 所述第二六通 阀 （3） 的④号接口与第二六通阀 （3） 的 ⑤号接口连通， 形成第一分离通路。 4.根据权利要求  1所述的用于氙气中微量杂质分析的气相色谱仪， 其特征在于： 包括 第二分离通路： 所述第一十通阀 （1） 的 ④号接口与所述第一十通阀 （1） 的 ③号接口连通， 所 述第一十通阀 （1） 的 ⑩号接口与第一十通阀 （1） 的 ⑨号接口连通， 所述第一十通阀 （1） 的 ⑤ 号接口与所述第一十通阀 （1） 的 ⑥号接口连通； 所述第一六通阀 （2） 的 ⑥号接口与所述第一六通阀 （2） 的 ⑤号接口连通， 所述第二六通 阀 （3） 的④号接口与第二六通阀 （3） 的 ⑤号接口连通， 形成第二分离通路。 5.根据权利要求  1所述的用于氙气中微量杂质分析的气相色谱仪， 其特征在于： 包括 第一反吹通路： 所述第一十通阀 （1） 的 ④号接口与第一十通阀 （1） 的 ⑤号接口连通， 第一十 通阀 （1） 的 ⑨号接口与第一十通阀 （1） 的 ⑧号接口连通； 与第二载气 （18） 气路相连的第一十 通阀 （1） 的 ⑦号接口与第一十通阀 （1） 的 ⑥号接口连通； 所述第一六通阀 （2） 的 ⑥号接口与 所述第一六通阀 （2） 的 ⑤号接口连通， 形成第一反吹通路。 6.根据权利要求  1所述的用于氙气中微量杂质分析的气相色谱仪， 其特征在于：  包括 第三分离通路： 所述第二十通阀 （4） 的 ④号接口与第二十通阀 （4） 的 ③号接口连通， 第二十 通阀 （4） 的 ⑩号接口与第二十通阀 （4） 的 ⑨号口连通， 第二十通阀 （4） 的 ⑤号接口与第二十 通阀 （4） 的 ⑥号接口连通； 所述第三六通阀 （5） 的 ⑥号接口与第三六通阀 （5） 的 ①号接口连 通； 所述第二六通阀 （3） 的 ⑥号接口与第二六通阀 （3） 的 ⑤号接口连通， 形成第三分离通路。 7.根据权利要求  1所述的用于氙气中微量杂质分析的气相色谱仪， 其特征在于： 包括 第二反吹通路： 所述第三六通阀 （5） 的 ⑥号接口与第三六通阀 （5） 的 ①号接口连通； 所述第 二十通阀 （4） 的 ④号接口与第二十通阀 （4） 的 ⑤号接口连通， 所述第二十通阀 （4） 的 ⑨号接 口与第二十通阀 （4） 的 ⑧号接口连通， 形成第二反吹通路。 8.根据权利要求  1所述的用于氙气中微量杂质分析的气相色谱仪， 其特征在于： 包括 第四分离通路： 所述第二十通阀 （4） 的 ④号接口与第二十通阀 （4） 的 ③号接口连通， 第二十 通阀 （4） 的 ⑩号接口与第二十通阀 （4） 的 ⑨号口连通， 第二十通阀 （4） 的 ⑤号接口与第二十 通阀 （4） 的 ⑥号接口连通； 所述第三六通阀 （5） 的 ⑥号接口与第三六通阀 （5） 的 ⑤号接口连 通； 所述第二六通阀 （3） 的 ⑥号接口与第二六通阀 （3） 的 ⑤号接口连通， 形成第四分离通路。 9.根据权利要求  1所述的用于氙气中微量杂质分析的气相色谱仪， 其特征在于： 包括 第三反吹通路： 所述第三六通阀 （5） 的 ⑥号接口与第三六通阀 （5） 的 ⑤号接口连通； 所述第 二十通阀 （4） 的 ④号接口与第二十通阀 （4） 的 ⑤号接口连通， 所述第二十通阀 （4） 的 ⑨号接 口与第二十通阀 （4） 的 ⑧号接口连通， 形成