(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210998740.3 (22)申请日 2022.08.19 (71)申请人 大连大特气体有限公司 地址 116036 辽宁省大连市甘井 子区大黑 石村 (72)发明人 孙赟珑　 (74)专利代理 机构 北京格允知识产权代理有限 公司 11609 专利代理师 张沫 (51)Int.Cl. G01N 30/02(2006.01) (54)发明名称 一种含乙硼烷原料气中杂质的分析系统及 方法 (57)摘要 本发明实施例涉及一种含乙硼烷原料气中 杂质的分析系统及方法。 系统包括检测器， 用于 检测待分析原料气中各杂质的含量， 待分析原料 气包括乙硼烷和杂质， 杂质包括二氧化碳； 第一 通路， 包括定量环、 第一选择阀、 第二选择阀、 第 三选择阀、 第一色谱柱、 第二色谱柱和第三色谱 柱， 定量环用于盛装固定体积的待分析原料气， 第一选择阀、 第二选择阀和第三选择阀分别具有 可切换的第一状态和第二状态； 第二通路， 用于 提供载气； 通过切换第一选择阀、 第二选择阀和 第三选择阀的状态， 利用第一色谱柱、 第二色谱 柱和第三色谱柱依次分离出二氧化碳、 乙硼烷和 其它杂质， 并利用检测器检测出各气体的含量。 该分析系统能够准确分析含有乙硼烷的原料气 中各杂质的含量。 权利要求书3页 说明书10页 附图3页 CN 115166103 A 2022.10.11 CN 115166103 A 1.一种含乙硼烷原料气中杂质的分析系统， 其特 征在于， 包括： 检测器(1)， 用于检测待分析原料气中各杂质的含量， 所述待分析原料气包括乙硼烷和 杂质， 所述杂质包括 二氧化碳； 第一通路(2)， 包括定量环(21)、 第一选择阀(22)、 第二选择阀(23)、 第三选择阀(24)、 第一色谱柱(25)、 第二色谱柱(26)和第三色谱柱(27)， 所述定量环(21)用于盛装固定体积 的待分析原料气， 所述第一选择阀(22)、 所述第二选择阀(23)和所述第三选择阀(24)分别 具有可切换的第一状态和 第二状态； 所述第一色谱柱(25)用于将二氧化碳从所述待分析原 料气中分离出来， 得到不含二氧化碳的原料气， 所述第二色谱柱(26 )和所述第三色谱柱 (27)用于将所述 不含二氧化 碳的原料气中的乙硼烷和其它杂质分离出来； 第二通路(3)， 与所述第一选择阀(22)、 所述第二选择阀(23)、 所述第三选择阀(24)以 及所述检测器(1)连接， 所述第二 通路(3)用于提供 载气； 通过切换所述第一选择阀(22)、 所述第二选择阀(23)和所述第三选择阀(24)的状态， 利用所述第一色谱柱(25)、 所述第二色谱柱(26)和所述第三色谱柱(27)依次分离出所述二 氧化碳、 所述乙硼烷和其它杂质， 并利用所述检测器(1)检测出 各杂质的含量。 2.根据权利要求1所述的系统， 其特征在于， 所述第一选择阀(22)为十通阀， 所述第二 选择阀(23)和所述第三选择阀(24)均为四通阀； 所述十通阀包括十个接口， 每 个所述四通阀包括四个接口。 3.根据权利要求2所述的系统， 其特征在于， 在所述第一选择阀(22)为第一状态时， 所 述第一选择阀(22)的第一接口与第二接口连接、 第三接口与第四接口连接、 第五接口与第 六接口连接、 第七接口与第八接口连接、 第九接口与第十接口连接； 在所述第一选择阀(22) 为第二状态时， 所述第一选择阀(22)的第二接口与第三接口连接、 第四接口与第五接口连 接、 第六接口与第七接口连接、 第八接口与第九接口连接、 第十 接口与第一接口连接； 在所述第二选择阀(23)为第一状态时， 所述第二选择阀(23)的第一接口与第四接口连 接、 第二接口与第三接口连接； 所述第二选择阀(23)为第二状态时， 所述第二选择阀(23)的 第一接口与第二接口连接、 第三接口与第四接口连接； 在所述第三选择阀(24)为第一状态时， 所述第三选择阀(24)的第一接口与第四接口连 接、 第二接口与第三接口连接； 在所述第三选择阀(24)为第二状态时， 所述第三选择阀(2 4) 的第一接口与第二接口连接、 第三接口与第四接口连接 。 4.根据权利要求3所述的系统， 其特征在于， 在所述第一选择阀(22)为第一状态时， 所 述第一通路(2)的入口端与所述第一选择阀(22)的第二接口连接， 所述第一选择阀(22)的 第一接口与所述定量环(21)的一端 连接， 所述定量环(21)的另一端与所述第一选择阀(22) 的第四接口连接， 所述第一选择阀(2 2)的第三接口与外界相通。 5.根据权利要求3所述的系统， 其特征在于， 在所述第一选择阀(22)和所述第二选择阀 (23)为第二状态时， 所述第一选择阀(22)的第十接口与载气相通， 所述第一选择阀(22)的 第一接口与所述定量环(21)的一端 连接， 所述定量环(21)的另一端与所述第一选择阀(22) 的第四接口连接， 所述第一选择阀(22)的第五接口与所述第一色谱柱(25)的入口端连接， 所述第一色谱柱(25)的出口端与所述第一选择阀(22)的第九接口连接， 所述第一选择阀 (22)的第八接口与所述第二选择阀(23)的第一接口连接， 所述第二选择阀(23)的第二接口 与所述检测器(1)的入口连接 。权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115166103 A 26.根据权利要求3所述的系统， 其特征在于， 在所述第一选择阀(22)为第二状态， 且所 述第二选择阀(23)和所述第三选择阀(24)为第一状态时， 所述第一选择阀(22)的第十接口 与第二通路(3)连接， 所述第一选择阀(22)的第一接口与所述定量环(21)的一端 连接， 所述 定量环(21)的另一端与所述第一选择阀(22)的第四接口连接， 所述第一选择阀(22)的第五 接口与所述第一色谱柱(25)的入口端 连接， 所述第一色谱柱(25)的出口端与所述第一选择 阀(22)的第九接口连接， 所述第一选择阀(22)的第八接口与所述第二选择阀(23)的第一接 口连接， 所述第二选择阀(23)的第四接口与所述第三选择阀(24)的第一接口连接， 所述第 三选择阀(24)的第四接口与第一 排气管路连接 。 7.根据权利要求3所述的系统， 其特征在于， 在所述第一选择阀(22)和所述第三选择阀 (24)为第二状态， 且所述第二选择阀(23)为第一状态时， 所述第一选择阀(22)的第十接口 与第二通路(3)连接， 所述第一选择阀(22)的第一接口与所述定量环(21)的一端 连接， 所述 定量环(21)的另一端与所述第一选择阀(22)的第四接口连接， 所述第一选择阀(22)的第五 接口与所述第一色谱柱(25)的入口端 连接， 所述第一色谱柱(25)的出口端与所述第一选择 阀(22)的第九接口连接， 所述第一选择阀(22)的第八接口与所述第二选择阀(23)的第一接 口连接， 所述第二选择阀(23)的第四接口与所述第三选择阀(24)的第一接口连接， 所述第 三选择阀(24)的第二接口与所述检测器(1)连接 。 8.根据权利要求3所述的系统， 其特征在于， 所述第二通路(3)包括五个载气管路； 其 中， 第一载气管路(31)的出口端与所述第一选择阀(2 2)的第十 接口连接； 第二载气管路(32)的出口端与所述第一选择阀(2 2)的第七接口连接； 第三载气管路(3 3)的出口端与所述第二选择阀(23)的第三接口连接； 第四载气管路(34)的出口端与所述第三选择阀(24)的第三接口连接； 第五载气管路(3 5)的出口端与所述检测器(1)连接 。 9.一种含乙硼烷原料气中杂质的分析方法， 其特征在于， 应用于权利要求1 ‑8任一所述 的含乙硼烷原料气中杂质的分析系统， 所述方法包括： 在所述第一选择阀(22)置于第一状态时， 将所述待分析原料气通过所述第一选择阀 (22)送入所述定量环(21)中； 在所述第一选择阀(22)和所述第二选择阀(23)置于第二状态时， 执行： 利用所述载气 将所述定量环(21)中的待分析原料气引入 所述第一色谱柱(25)； 利用所述第一色谱柱(25) 依次分离出所述二氧化碳和不含二氧化碳的原料气； 将分离出的二氧化碳送入所述检测器 (1)进行检测； 在所述第一选择阀(22)和所述第二选择阀(23)置于第二状态第一设定时间之后， 将所 述第二选择阀(23)和所述第三选择阀(24)置于第一状态， 以将所述不含二氧化碳的原料气 由所述第一色谱柱(25)引入 所述第二色谱柱(26)； 利用所述第二色谱柱(26)依次分离出乙 硼烷和其它杂质； 将分离出的乙硼烷 排至外界； 在所述第二选择阀(23)和所述第三选择阀(24)置于第一状态第二设定时间之后， 将所 述第三选择阀(24)置于第二状态， 以将所述第二色谱柱(26)中的剩余气体引入所述第三色 谱柱(27)； 利用所述第三色谱柱(27)依次分离出所述剩 余气体中的各气体； 将分离出的各 气体引入所述检测器(1)进行检测。权　利　要　求　书 2/3 页 3 CN 115166103 A 3