(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222203719.8 (22)申请日 2022.08.22 (73)专利权人 四川洪芯微科技有限公司 地址 629200 四川省遂宁市射洪市经济开 发区河东大道 (72)发明人 郭凯　冯田田　唐毅　敬毅　谢雷　 (74)专利代理 机构 成都诚中致达专利代理有限 公司 51280 专利代理师 曹宇杰 (51)Int.Cl. H01L 21/677(2006.01) H01L 21/687(2006.01) B65G 47/90(2006.01) B65G 49/07(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆腐蚀用转移装置 (57)摘要 一种晶圆腐蚀用转移装置， 包括： 平台、 夹持 机构、 顶压机构。 平台长度方向两端均设有承载 部， 两个承载部之间依次设有腐蚀池和清水池； 夹持机构 包括连杆， 连杆连接于第一伸缩杆的移 动端， 第一伸缩杆另 一端安装于滑板上， 滑板连 接于直线机构的移动端上， 直线机构安装在平台 上， 连杆两侧均设有两个对称布置且在竖直和水 平方向上移动的夹持勾， 用于夹持晶圆架； 顶压 机构包括两个位于承载部上方的顶压单元， 顶压 单元均安装于第二伸缩 杆上， 用于顶压夹持勾在 水平和竖直方向上移动， 第二伸缩 杆安装于支撑 架上， 支撑架安装于平台长度方向两侧。 能够自 动将晶圆架转移至腐蚀池中， 减少工作人员与腐 蚀液体之间的接 触， 从而保证 工作人员健康。 权利要求书2页 说明书4页 附图4页 CN 218069807 U 2022.12.16 CN 218069807 U 1.一种晶圆腐蚀用转移装置， 其特 征在于， 包括： 平台 （100）， 长度方向两端均设有承载部 （101）， 用于放置晶圆架， 两个所述承载部 （101） 之间依次设有腐蚀池 （102） 和清水池 （10 3） ； 夹持机构 （200） ， 包括连杆 （201） ， 所述连杆 （201） 顶面两端均连接于第一伸 缩杆 （202） 的移动端， 所述第一伸缩 杆 （202） 另一端安装于滑板 （203） 上， 所述滑板 （203） 连接于直线机 构的移动端上， 直线机构沿所述平 台 （100） 长度方向设置并安装在所述平 台 （100） 上， 所述 连杆 （201） 两侧均设有两个对称布置且 可在竖直和水平方向上移动的夹持勾 （204） ， 用于夹 持晶圆架； 顶压机构 （300） ， 包括两个顶压单元， 所述顶压单元分别位于所述承载部 （101） 上方， 所 述顶压单元均安装于第二伸缩杆 （301） 上， 用于顶压所述夹持勾 （204） 在水平和竖直方向上 移动， 所述第二伸缩杆 （301） 安装于支撑架 （302） 上， 所述支撑架 （302） 安装于所述平台 （100） 长度方向两侧。 2.根据权利要求1所述的晶圆腐蚀用转移装置， 其特征在于， 所述连杆 （201） 两侧均设 有长板 （205） ， 所述长板 （205） 沿其长度方向设有两个对称布置的长条孔 （206） ， 所述长条孔 （206） 内穿设有滑杆 （207） ， 所述滑杆 （20 7） 下端设有挡板 （208） ， 所述挡板 （208） 用于抵接到 所述长板 （205） 的底面， 且所述挡 板 （208） 的底面连接所述夹持勾 （204） ， 所述滑杆 （207） 上 端设有承压板 （209） ， 所述滑杆 （207） 上还套设有限位环 （210） ， 所述限位环 （210） 抵接到所 述长板 （205） 的顶面， 所述滑杆 （207） 上套设有第一弹簧 （211） ， 所述第一弹簧 （211） 两端分 别抵接到所述限位环 （210） 和所述承压 板 （209） 。 3.根据权利要求2所述的晶圆腐蚀用转移装置， 其特征在于， 所述连杆 （201） 上沿其长 度方向设有凹部 （212） ， 所述凹部 （212） 中心设有凸块 （213） ， 位于同一端的两个所述限位环 （210） 之间通过连接板 （214） 连接起来， 所述长板 （205） 顶面与所述凹部 （212） 底面齐平， 且 所述连接板 （214） 位于所述凹部 （212） 内， 所述连接板 （214） 上设有横板 （215） ， 所述凸块 （213） 两侧设有水平杆 （216） ， 所述水平杆 （216） 上套设有第二弹簧 （217） ， 所述第二弹簧 （217） 两端分别抵接到所述凸块 （213） 和所述横 板 （215） ， 所述水平杆 （216） 两端还设有挡圈 （218） ， 所述挡圈 （218） 用于 抵接所述横板 （215） 。 4.根据权利要求3所述的晶圆腐蚀用转移装置， 其特征在于， 所述顶压单元包括支撑板 （303） ， 所述支撑板 （303） 两端安装于所述第二伸缩杆 （301） 上， 所述支撑板 （303） 长度方向 两侧均设有两个对称布置的支板 （304） ， 所述支板 （304） 一侧设有 竖板 （305） ， 位于同一端的 两个所述竖板 （305） 之间穿设有转动轴 （306） ， 所述转动轴 （306） 上套设有两个凸轮 （307） ， 所述转动轴 （3 06） 一端连接第一电机 （3 08） ， 所述第一电机 （3 08） 安装于所述竖板 （3 05） 上。 5.根据权利要求4所述的晶圆腐蚀用转移装置， 其特征在于， 所述支撑板 （303） 底面设 有两个对称布置的压杆 （309） ， 所述压杆 （309） 的下端呈弧形， 所述横 板 （215） 上设有移动板 （219） ， 所述移动板 （219） 朝向所述凸块 （213） 的一端向上倾斜预定角度， 应用时， 所述压杆 （309） 与所述移动板 （219） 接触， 并迫使所述移动板 （219） 朝向所述凸块 （213） 移动。 6.根据权利要求5所述的晶圆腐蚀用转移装置， 其特征在于， 所述凸轮 （307） 直径大的 一端朝下时， 所述凸轮 （307） 的底部高于所述压杆 （309） 的底部， 当所述凸轮 （307） 直径小的 一端朝下时， 所述凸轮 （3 07） 的底部低于所述压杆 （3 09） 的底部 。 7.根据权利要求1所述的晶圆腐蚀用转移装置， 其特征在于， 所述连杆 （201） 位于所述权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 218069807 U 2支撑架 （3 02） 的下方， 且所述第一伸缩杆 （202） 位于所述支撑架 （3 02） 的外侧。 8.根据权利要求2所述的晶圆腐蚀用转移装置， 其特征在于， 所述承压板 （209） 中心到 其一端的长度大于所述滑杆 （207） 在水平方向上移动的长度。 9.根据权利 要求2所述的晶圆腐蚀用转移装置， 其特征在于， 所述夹持勾 （204） 包括L形 部和竖直部， 竖直部连接于L形部的下端， L形部与所述挡板 （208） 连接， 且下端朝向远离所 述第一伸缩杆 （202） 的方向。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 218069807 U 3