(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221829508.9 (22)申请日 2022.07.15 (73)专利权人 安徽晶瑞新材 料有限公司 地址 247000 安徽省池州市江南产业 集中 区新材料产业园9号厂房 (72)发明人 光善如　程世显　熊文金　 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)实用新型名称 一种单晶硅片生产检测装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种单晶硅片生产检测 装置， 包括检测装置外架、 检测控制台、 移动检测 螺杆和晶片放置架， 所述检测装置外架上表面固 定连接有检测控制台， 所述检测控制台外表面设 置有硅片数据显示器， 本实用新型通过设置的移 动检测螺杆， 在对晶片放置架上端不同位置的单 晶硅片检测时， 通过螺杆控制电机控制移动检测 螺杆转动， 使移动检测螺杆外侧螺纹连接的移动 检测环一和移动检测环二拉动移动检测滑块 以 水平方向移动， 在移动检测滑块移动时， 与移动 检测滑块下端通过连接固定架相连的外观检测 器能够随之移动， 以此方式能够通过螺杆控制电 机控制外观检测器在晶片放置架上端不同位置 的单晶硅片进行检测， 较为便捷。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217766053 U 2022.11.08 CN 217766053 U 1.一种单晶硅片生产检测装置， 包括检测装置外架(1)、 检测控制台(2)、 移动 检测螺杆 (9)和晶片放置架(15)， 其特征在于： 所述检测装置外架(1)上表面固定连接有检测控制台 (2)， 所述检测 控制台(2)外表面设置有硅片数据显示器(4)， 所述检测 装置外架(1)外表面 一侧固定连接有螺杆控制电机(19)， 所述螺杆控制电机(19)内侧传动连接有移动检测螺杆 (9)， 所述移动检测螺杆(9)另一端转动连接在检测装置外架(1)内壁表 面， 所述移动检测螺 杆(9)外表 面一侧螺纹连接有移动检测环一(10)， 所述移动检测螺杆(9)外表 面另一侧螺纹 连接有移动检测环 二(11)， 所述移动检测环 一(10)和移动检测环 二(11)分别设置在移动检 测滑块(12)两侧位置， 所述移动检测滑 块(12)中间贯穿设置有移动检测螺杆(9)， 所述移动 检测滑块(12)下端固定连接有连接固定架(13)。 2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产检测装置， 其特征在于： 所述连接固定架 (13)下端设置有外观检测器(14)， 所述外观检测器(14)下表面设置有红外扫描机构。 3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片生产检测装置， 其特征在于： 所述检测装置外架 (1)内部顶端固定连接有内置顶端滑轨(7)， 所述内置顶端滑轨(7)下端两侧均滑动连接有 限位机构(8)， 两个所述限位机构(8)下端分别固定连接在移动检测环 一(10)和移动检测环 二(11)上表面。 4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片生产检测装置， 其特征在于： 所述检测装置外架 (1)内部底端两侧均固定连接有升降电动推杆(18)， 两个所述升降电动推杆(18)上端分别 固定连接在升降固定架(17)下端两侧。 5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片生产检测装置， 其特征在于： 所述升降固定架 (17)上表 面固定连接有晶片放置架(15)， 所述晶片放置架(15)上表 面固定连接有三个晶片 检测台(16)。 6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片生产检测装置， 其特征在于： 所述晶片检测台 (16)上表面设置有 多个防滑条纹(20)。 7.根据权利要求6所述的一种单晶硅片生产检测装置， 其特征在于： 所述检测装置外架 (1)外表面一侧转动连接有外架保护门(5)， 所述检测装置外架(1)外表面另一侧设置有检 测观察窗(6)。 8.根据权利要求7所述的一种单晶硅片生产检测装置， 其特征在于： 所述检测装置外架 (1)上表面设置有 多个检测控制按键(3)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217766053 U 2一种单晶硅片生产检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于单晶硅片检测技 术领域， 具体涉及一种单晶硅片生产检测装置 。 背景技术 [0002]单晶硅片： 硅的单晶体， 是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。 不同的方向具有 不同的性质， 是一种良好的半导材料。 纯度要求达到99.9999 ％， 甚至达到99.9999999％以 上。 用于制 造半导体器件、 太阳能电池等。 用高纯度的多晶硅在单 晶炉内拉制而成。 单 晶硅 是一种比较活泼的非金属元素， 是晶体材料的重要组成部 分， 处于新材料发展的前沿。 其主 要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、 供热等。 由于太阳能具有清洁、 环保、 方 便等诸多优势， 近三十年来， 太阳能利用技术在研究开发、 商业化生产、 市场开拓方面都获 得了长足发展， 成为世界快速、 稳定发展的新兴产业之一。 [0003]现有技术的单晶硅片生产检测装置在对不同单晶硅片检测时， 需要通过人工手动 调整检测机构的位置， 这种方式较为麻烦， 因此需要设计一种便于对不同位置的单 晶硅片 的检测装置 。 实用新型内容 [0004]本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷， 提供一种单晶硅片生产检测装 置， 以解决上述背景技术中提出的现有技术的单晶硅片 检测装置不便于对不同位置单晶硅 片检测的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种单晶硅片生产检测装置， 包 括检测装置外架、 检测控制台、 移动检测螺杆和晶片放置架， 所述检测装置外架上表面固定 连接有检测控制台， 所述检测控制台外表面设置有硅片数据显示器， 所述检测装置外架外 表面一侧固定连接有螺杆控制电机， 所述螺杆控制电机内侧传动连接有移动检测螺杆， 所 述移动检测螺杆另一端转动连接在检测装置外架内壁表面， 所述移动检测螺杆外表面一侧 螺纹连接有移动检测环一， 所述移动检测螺杆外表面另一侧螺纹连接有移动检测环二， 所 述移动检测环一和移动检测环二分别设置在移动检测滑块两侧位置， 所述移动检测滑块中 间贯穿设置有移动检测螺杆， 所述移动检测滑块下端固定连接有连接固定架。 [0006]优选的， 所述连接固定架下端设置有外观检测器， 所述外观检测器下表面设置有 红外扫描机构。 [0007]优选的， 所述检测装置外架内部顶端固定连接有内置顶端滑轨， 所述内置顶端滑 轨下端两侧均滑动连接有限位机构， 两个所述限位机构下端分别固定连接在移动检测环一 和移动检测环二上表面。 [0008]优选的， 所述检测装置外架内部底端两侧均固定连接有升降电动推杆， 两个所述 升降电动推杆 上端分别固定连接在升降固定架下端两侧。 [0009]优选的， 所述升降固定架上表面固定连接有晶片放置架， 所述晶片放置架上表面 固定连接有三个晶片检测台。说　明　书 1/4 页 3 CN 217766053 U 3