(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221506572.3 (22)申请日 2022.06.15 (73)专利权人 深圳中科飞测科技股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区大浪街 道同胜社区上横朗第四工业区2号 101、 201、 3 01 (72)发明人 辛自强　刘伟龙　陈鲁　张嵩　 (74)专利代理 机构 深圳鼎合诚知识产权代理有 限公司 4 4281 专利代理师 刘志海　彭家恩 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G01M 11/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种光阑及检测装置 (57)摘要 一种光阑及检测装置， 其中， 光阑包括具有 通光通道的本体件以及可转动地装设于本体件 的遮光件， 遮光件被配置成可控地在第一状态与 第二状态之间切换； 在第一状态下， 光束的至少 部分能够因遮光件的遮挡而无法通过通光通道； 在第二状态下， 遮光件能够解除对光束的遮挡。 在对晶圆等进行检测时， 可利用遮光件能够相对 本体件转动的特点， 精确地对一部分检测光束进 行遮挡， 使检测光束不会直接且集中地照射到大 颗粒缺陷上， 从而能够有效避免出现 因大颗粒缺 陷炸裂而污染晶圆等问题； 同时， 通过光阑的另 一部分检测光束则可照射到位于大颗粒缺陷周 围的小颗粒缺陷上， 以实现小颗粒缺陷的检测， 避免发生小颗粒缺陷漏检等问题。 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 CN 218098925 U 2022.12.20 CN 218098925 U 1.一种光阑， 其特 征在于， 包括： 本体件， 具有通 光通道， 所述 通光通道用于光束通过； 以及 遮光件， 以可相对所述本体件转动的方式装设于本体件， 所述遮光件被配置为可控地 在第一状态和第二状态之间转动切换； 当所述遮光件处于第 一状态时， 能够使光束的至少部分因所述遮光件的遮挡 而无法通 过通光通道； 当所述遮光件处于第二状态时， 能够解除对光束的遮挡。 2.如权利要求1所述的光阑， 其特征在于， 所述遮光件的数量设置为多个， 多个所述遮 光件按预设 间距并排排布于通光通道内， 或多个所述遮光件按预设 间距并排排布并与通光 通道相对布置 。 3.如权利要求2所述的光阑， 其特征在于， 当相邻两个所述遮光件同时处于第一状态 时， 相邻两个所述遮光件中一 者的边缘抵贴或重 叠于另一者的边缘。 4.如权利要求1所述的光阑， 其特征在于， 所述遮光件包括遮光片， 用于遮挡光束； 当所 述遮光片垂直于光束的光路时， 所述遮光件处于第一状态； 当所述遮光片平行于光束的光 路时， 所述遮光件处于第二状态。 5.如权利要求4所述的光阑， 其特征在于， 所述遮光片为金属材料或无机硬质材料制成 的薄片状结构。 6.如权利要求1所述的光阑， 其特征在于， 还包括机械式驱动件， 所述机械式驱动件的 动力端耦合至遮光片， 用以驱使所述遮光片在第一状态和第二状态之间转动切换。 7.如权利要求1所述的光阑， 其特征在于， 还包括电场式驱动件， 所述电场式驱动件包 括第一电极和第二电极， 所述第一电极固定设置于遮光件， 所述第二电极沿遮光件的转动 轨迹固定设置于预设位置； 所述第一电极和 第二电极被配置成可选择地接收方向相同或方 向相反的电压信号。 8.如权利要求1所述的光阑， 其特征在于， 还包括磁场式驱动件， 所述磁场式驱动件包 括用于产生磁场的通电线圈和用于感应磁场的磁性件， 所述通电线圈和磁性件中的一者固 定设置于遮光件、 另一 者沿所述遮光件的转动轨 迹固定设置 于预设位置 。 9.一种检测装置， 其特 征在于， 包括： 光源模块， 被配置为向待测物出射检测光束， 以经待测物形成信号 光； 光阑模块， 布置在所述检测光束的光路上， 所述光阑模块包括权利要求1 ‑8中任一项所 述的光阑； 以及 检测模块， 被 配置为探测所述信号 光， 并根据所述信号 光获取待测物的检测信息 。 10.如权利要求9所述的检测装置， 其特征在于， 还包括探测模块， 所述探测模块被配置 为探测并获取待测物的预定特征的位置信息， 所述遮光件被配置为根据探测模块 获取的位 置信息， 在第一状态和第二状态之间转动切换。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218098925 U 2一种光阑及检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及光学 元件领域， 具体涉及一种光阑及检测装置 。 背景技术 [0002]光阑是一种在光学系统中对光束起到约束限制作用的实体， 在现有的半导体 （例 如晶圆） 检测设备 的光学系统中， 通常会借助光阑对检测 光源所发出 的检测光束的空间位 置、 光斑的形状及大小等进行限制。 为提升 半导体检测设备的灵敏度以及检测的准确性， 检 测光源大多采用激光光源， 由于激光束的波长 短、 功率大， 在激光束 经过光阑照射到晶圆上 的大颗粒缺陷时， 常常会导致大颗粒缺陷被炸裂， 不但容易对晶圆造成污染， 而且很容易 发 生小颗粒缺陷漏检等问题。 实用新型内容 [0003]本实用新型主要解决的技术问题是提供一种光阑以及应用了该光阑的检测装置， 旨在避免发生污染、 漏检等问题。 [0004]根据第一方面， 一种实施例中提供一种光阑， 包括： [0005]本体件， 具有通 光通道， 所述 通光通道用于光束通过； 以及 [0006]遮光件， 以可相对所述本体件转动的方式装设于本体件， 所述遮光件被配置为可 控地在第一状态和第二状态之间转动切换； [0007]当所述遮光件处于第一状态时， 能够使光束的至少部分因所述遮光件的遮挡而无 法通过通 光通道； [0008]当所述遮光件处于第二状态时， 能够解除对光束的遮挡。 [0009]一个实施例中， 所述遮光件的数量设置为多个， 多个所述遮光件按预设间距并排 排布于通 光通道内， 或多个所述遮光件按预设间距并排 排布并与通 光通道相对布置 。 [0010]一个实施例中， 当相邻两个所述遮光件同时处于第一状态时， 相邻两个所述遮光 件中一者的边缘抵贴或重 叠于另一者的边缘。 [0011]一个实施例中， 所述遮光件包括遮光片， 用于遮挡光束； 当所述遮光片垂直于光束 的光路时， 所述遮光件处于第一状态； 当所述遮光片平行于光束的光路时， 所述遮光件处于 第二状态。 [0012]一个实施例中， 所述遮光片为金属材 料或无机硬质材 料制成的薄片状结构。 [0013]一个实施例中， 还包括机械式驱动件， 所述机械式驱动件的动力端耦合至遮光片， 用以驱使所述遮光片在第一状态和第二状态之间转动切换。 [0014]一个实施例中， 还包括电场式驱动件， 所述电场式驱动件包括第一电极和第二电 极， 所述第一电极固定设置于遮光件， 所述第二电极沿遮光件的转动轨迹固定设置于预设 位置； 所述第一电极和第二电极被 配置成可选择地接收方向相同或方向相反的电压信号。 [0015]一个实施例中， 还包括磁场式驱动件， 所述磁场式驱动件包括用于产生磁场的通 电线圈和用于感应磁场的磁性件， 所述通电线圈和磁性件中的一者固定设置于遮光件、 另说　明　书 1/6 页 3 CN 218098925 U 3