(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221846800.1 (22)申请日 2022.07.18 (73)专利权人 深圳中科飞测科技股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区观澜街 道新澜社区观光路13 01-14号101、 102 (72)发明人 王赢　张龙　朱燕明　云奋蛟　 陈鲁　张嵩　 (74)专利代理 机构 深圳鼎合诚知识产权代理有 限公司 4 4281 专利代理师 廖金晖　彭家恩 (51)Int.Cl. G01N 21/956(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种光学检测设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种光学检测设备， 包括 机架、 检测光源以及探测件， 探测组件包括第一 探测件、 第二探测件以及第三探测件， 检测光源 射出检测光垂直射向待测面， 第一探测件、 第二 探测件以及第三探测件分别从第一方向、 第二方 向、 以及第三方向接收从缺陷处反射出的散射 光， 由于第三方向的角度更加接近与待测面相垂 直的位置， 而且其第三镜头的数值孔径更大， 因 此能够更好地检出晶圆滑移线缺陷， 第一、 第二 探测件能够保证对其他类型缺陷的检出， 且第 一、 第二探测件具有更小的数值孔径， 从而具有 更高的镜头像质以弥补与保证对晶圆缺陷的整 体检出率， 得以实现在保证 现有探伤设备对晶圆 缺陷的检出能力的前提下， 增加对滑移线的检测 能力的有益效果。 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 CN 218157619 U 2022.12.27 CN 218157619 U 1.一种光学检测设备， 其特征在于， 包括： 机架(1)、 检测光源组件(2)以及探测组件； 所 述检测光源组件(2)设于机架(1)上， 所述检测光源组件(2)具有出射端， 所述出射端用于发 射检测光至物料 的待测面上， 且所述出射端位于所述物料 的上方； 所述探测组件设于机架 (1)上， 包括第一探测件(31)、 第二探测件(32)以及第三探测件(3 3)； 所述第一探测件(31)用于从第一方向接收从所述待测面上反射回的检测光， 所述第二 探测件(32)用于从第二方向接收从所述待测面上反射回的检测光， 所述第三探测件(33)用 于从第三方向接收从所述待测面上反射回的检测光， 所述第一探测件(31)、 所述第二探测 件(32)以及所述第三探测件(33)均位于所述物料的上方， 且所述第三方向比所述第一方向 与第二方向更接 近垂直方向。 2.如权利要求1所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述检测光源组件(2)的检测光垂 直射向所述待测面， 所述检测光在所述待测面上 的缺陷处反射出散射光， 所述第一探测件 (31)、 所述第二探测件(32)以及所述第三探测件(33)分别用于从第一方向、 第二方向、 以及 第三方向接收所述散射 光。 3.如权利要求2所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述第一探测件(31)包括第一镜头 (311)与第一相机(312)， 所述第二探测件(32)包括第二镜头(321)与第二相机(322)， 所述 第三探测件(33)包括第三镜头(331)与第三相机(332 )， 所述第一镜头(311)、 第二镜头 (321)以及第三镜头(331)用于接收所述散射光， 所述第三镜头(331)的数值孔径大于所述 第一镜头(311)与第二镜 头(321)。 4.如权利要求3所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述第 一方向与 所述待测面的法线 夹角为55 °， 所述第二方向与所述待测面的法线夹角为20 °， 所述第一镜头(311)与所述第二 镜头(321)的数值 孔径为0.1。 5.如权利要求4所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述第 三方向与 所述待测面的法线 夹角为15 °， 所述第三镜 头(331)的数值 孔径为0.2。 6.如权利要求1 ‑5任一项所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述检测光源组件(2)包 括： 激光器(21)以及整形组件(22)， 所述整形组件(22)用于将激光器(21)射出的检测光在 待测面上 形成的光 点整形为线状光斑。 7.如权利要求6所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述检测光源组件(2)还包括： 分光 镜(23)， 且所述整形组件(22)包括第一整形件与第二整形件， 所述分光镜(23)将所述激光 器(21)射出的检测光分为第一光束与第二光束， 所述第一光束与第二光束分别对应地通过 所述第一整形件与所述第二整形件。 8.如权利要求7所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述检测光源组件(2)还包括： 第一 起偏模块(24 1)以及第二起偏模块(2 42)， 所述第一光束与第二光束分别对应地通过所述第 一起偏模块(241)以及所述第二起偏模块(242)而后再通过所述第一整形件与所述第二整 形件， 所述第一起偏模块(24 1)以及所述第二起偏模块(2 42)用于调整所述第一光束与第二 光束的偏正状态。 9.如权利要求3所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述第一探测件(31)还包括第一滤 光组件(313)， 所述第一滤光组件(313)设于所述第一镜头(311)的入光侧或出光侧， 所述第 二探测件(32)还包括第二滤光组件(323)， 所述第二滤光组件设于所述第二镜头(321)的入 光侧或出光侧， 所述第三探测 件(33)还包括第三滤光组件(333)， 所述第三滤光组件(333)权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 218157619 U 2设于所述第三镜 头(331)的入光侧或出光侧。 10.如权利要求9所述的光学检测设备， 其特征在于， 所述第一滤光组件包括第一转动 件， 第一支架以及至少一个滤光片， 所述第二滤光组件包括第二转动件， 第二支架以及至少 一个滤光片， 所述第三滤光组件 包括第三 转动件， 第三支 架以及至少一个滤光片。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 218157619 U 3