(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221888293.8 (22)申请日 2022.07.21 (73)专利权人 深圳市大族半导体装备 科技有限 公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区福海街 道桥头社区万廷工业区第六栋101 (72)发明人 黄伟耿　李东宇　曾威　尹建刚　 高云峰　 (51)Int.Cl. F16F 15/02(2006.01) F16F 15/08(2006.01) F16M 11/04(2006.01) F16M 11/22(2006.01) B23K 26/70(2014.01) (54)实用新型名称 大理石固定装置及激光加工设备 (57)摘要 本申请适用于加工设备技术领域， 提供一种 大理石固定装置及激光加工设备， 所述大理石固 定装置包括： 底座； 减振垫， 承载于所述底座； 大 理石， 承载于所述减振垫； 减振固定机构， 承 载于 所述底座； 所述减振固定机构位于所述大理石的 外侧且抵持于所述大理石， 以固定所述大理石在 二维平面的位置。 本申请的实施例提供的大理石 固定装置能保障底座的稳定性。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 218000263 U 2022.12.09 CN 218000263 U 1.一种大理石固定装置， 其特 征在于， 包括： 底座； 减振垫， 承载于所述底座； 大理石， 承载于所述减 振垫； 减振固定机构， 承载于所述底座； 所述减振固定机构位于所述大理石的外侧且抵持于所述大理石， 以固定所述大理石在 二维平面的位置 。 2.如权利要求1所述的大理石固定装置， 其特 征在于， 所述减 振固定机构包括： 可调减振部件， 承载于所述底座； 所述可调减振部件位于所述大理石的外侧且能通过相对所述大理石伸出或缩回来抵 持于所述大理石。 3.如权利要求2所述的大理石固定装置， 其特 征在于， 所述减 振固定机构还包括： 固定减振部件， 承载于所述底座； 所述固定减 振部件位于所述大理石的外侧且抵持于所述大理石。 4.如权利要求2所述的大理石固定装置， 其特 征在于， 所述可调减 振部件包括： 第一安装主体， 承载于所述底座且位于所述大理石的外侧； 减振脚杯， 设置于所述第一安装主体且能相对所述第一安装主体伸出或缩回， 以抵持 于所述大理石。 5.如权利要求3所述的大理石固定装置， 其特 征在于， 所述固定减 振部件包括： 第二安装主体， 承载于所述底座且位于所述大理石的外侧； 弹性体， 设置 于所述第二 安装主体且抵持于所述大理石。 6.如权利要求3所述的大理石固定装置， 其特征在于， 所述固定减振部件位于所述大理 石的对角线的一侧以对所述大理石定位； 所述可调减振部件位于所述对角线的另一侧以通 过相对所述大理石伸长或缩回来顶紧所述大理石。 7.如权利要求6所述的大理石固定装置， 其特征在于， 所述固定减振部件和所述可调减 振部件的数量 为多个， 所述大理石为长方体； 所述大理石的第一角的外侧设有两个所述固定减 振部件； 所述大理石的第二角的外侧设有一个所述可调减 振部件和一个所述固定减 振部件； 所述大理石的第三角的外侧设有两个所述可调减 振部件； 所述大理石的第四角的外侧设有一个所述可调减 振部件和一个所述固定减 振部件。 8.如权利要求1所述的大理石固定装置， 其特 征在于， 所述大理石设有定位 孔； 所述大理石固定装置还 包括： 紧固件， 穿设于所述定位孔和所述减振垫， 在大理石固定装置的高度方向将所述大理 石与所述底座固定 。 9.如权利要求8所述的大理石固定装置， 其特征在于， 所述定位孔的数量为多个， 各所 述定位孔在所述大理石的表面分散 设置且呈三角形分布， 各所述定位孔穿设有所述紧固件 以在不同位置将所述大理石与所述底座固定 。 10.如权利要求1至9任一项所述的大理石固定装置， 其特征在于， 所述减振垫的数量为 多个且分散设置 于所述底座， 所述大理石承载于各 所述减振垫。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 218000263 U 211.一种激光加工设备， 其特征在于， 包括运动平台和如权利要求1至10任一项所述大 理石固定装置； 所述 运动平台设置 于所述大理石。 12.如权利要求1 1所述的激光加工设备， 其特 征在于： 所述底座 为设备机柜底座。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 218000263 U 3