(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210639085.2 (22)申请日 2022.06.08 (71)申请人 伊欧激光科技 （苏州） 有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴江经济技 术 开发区叶新路18 8号 (72)发明人 成奎栋　 (74)专利代理 机构 苏州科仁专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 32301 专利代理师 郭杨 (51)Int.Cl. B23K 26/38(2014.01) B23K 26/70(2014.01) (54)发明名称 一种利用声响光学调制的激光加工装置及 激光加工方法 (57)摘要 一种利用声响光学调制的激光加工装置及 激光加工方法， 包括用于发射脉冲激光束的激光 光源模块、 激光分割模块、 光束筛选模块、 光路调 节模块， 激光分割模块包括能够将脉冲激光束分 割成复数加工束的声响光学变调模块、 对复数加 工束的声波进行调节的声波驱动部， 声响光学变 调模块包括第一变调部、 第二变调部。 通过激光 分割模块中将脉冲激光束分割成复数加工束的 声响光学变调模块， 可以增大光源 所需要的脉冲 幅度限制， 利用复数加工束形成加工模式， 能够 同时对加工件的多处进行加工， 缩短激光加工工 序的时间， 提高激光加工速率， 通过设置改变复 数加工束输出角度的第一变调部和第二变调部， 能够提高激光加工的精度。 权利要求书1页 说明书6页 附图5页 CN 114985969 A 2022.09.02 CN 114985969 A 1.一种利用声响光学调制的激光加工装置， 包括用于发射脉冲激光束的激光光源模块 （1） 、 激光分割模块 （2） 、 光束筛选模块 （3） 、 光路调节模块 （4） ， 其特征在于： 所述激光分割模 块 （2） 包括能够将所述脉冲激光束分割成复数加 工束的声响光学变调模块 （21） 、 对所述复 数加工束的声波进 行调节的声波驱动部 （22） ， 所述声响光学变调模块 （21） 包括能够改变第 一方向上的所述复数加工束的输出角度的第一变调部 （211） 、 能够改变第二方向上的所述 复数加工束的输出角度的第二变调部 （212） 。 2.根据权利要求1所述的利用声响光学调制的激光加工装置， 其特征在于： 所述复数加 工束包括0次衍射光束 （L0） 、 高次衍射光束， 所述高次衍射光束包括一次衍射光束 （L1） 、 二 次衍射光束 （L2） 和三次衍 射光束 （L3） 。 3.根据权利要求2所述的利用声响光学调制的激光加工装置， 其特征在于： 所述光束筛 选模块 （3） 包括将所述0次衍射光束 （L0） 除去的倒空器 （31） 、 将所述高次衍射光束的方向进 行改变的筛选反射镜 （32） 、 用于调整所述一次衍射光束 （L1） 出射方向的激光振镜系统 （33） 。 4.根据权利要求3所述的利用声响光学调制的激光加工装置， 其特征在于： 所述激光振 镜系统 （33） 包括多块振镜 （331） ， 多块所述振镜 （331） 能够将所述一次衍射光束 （L1） 入射至 所述光路调节模块 （4） 的设置 。 5.根据权利要求1所述的利用声响光学调制的激光加工装置， 其特征在于： 所述第 一变 调部 （211） 和所述第二变调部 （212） 分别包括多种介质， 所述介质为玻璃、 石英中的一种或 多种。 6.根据权利要求1所述的利用声响光学调制的激光加工装置， 其特征在于： 所述光路调 节模块 （4） 包括多块透 镜和多块反射镜 。 7.根据权利要求6所述的利用声响光学调制的激光加工装置， 其特征在于： 多块所述透 镜和多块所述反射镜能够旋转的调节设置 。 8.一种采用以上任意一项权利要求所述的激光加工装置的激光加工方法， 其特征在 于： 具体包括以下步骤： S1， 激光光源模块发出脉冲激光束并入射到激光分割模块； S2， 入射 到激光分割模块的光会被衍射改变行进路线， 激光分割模块使高次衍射光束沿x方向和y方 向衍射， 声波驱动部可以在脉冲激光束发射期间通过随时间 改变将脉冲激光束时分割为复 数加工束； S3， 光路调节模块通过调节复数加工束的光学粒子的排列方向改变复数加工束 的进行路径， 从而使复数加工束照射到不同位置， 形成多种激光加工模式， 通过多种激光加 工模式完成激光加工 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114985969 A 2一种利用声响光学调制的激光加工装 置及激光加工方 法 技术领域 [0001]本发明涉及一种利用声响光学调制的激光加工装置及激光加工方法。 背景技术 [0002]一般所说的激光加工工程， 是指在加工品的表面上注射激光， 对加工品表面的形 状， 物理性质等进行加工的工程， 这些加工品有 多种多样的形状。 [0003]现有技术中， 一台激光加工装置只有一束加工束， 加工时， 需要不断改变加工束的 方向， 加工时间长， 加工效率低。 发明内容 [0004]本发明要解决的技 术问题是提供一种利用声响光学调制的激光加工装置 。 [0005]为了解决上述技术问题， 本发明采用的技术方案是： 一种利用声响光学调制的激 光加工装置， 包括用于发射脉冲激光束的激光光源模块、 激光分割模块、 光束筛选模块、 光 路调节模块， 所述激光分割模块包括能够将所述脉冲激光束分割成复数加工束的声响光学 变调模块、 对所述复数加工束的声波进行调节的声波驱动部， 所述声响光学变调模块包括 能够改变第一方向上的所述复数加工束的输出角度的第一变调部、 能够改变第二方向上的 所述复数加工束的输出角度的第二变调部。 通过激光分割模块中将脉冲激光束分割成复数 加工束的声响光学变调模块， 可以增大光源所需要的脉冲幅度限制， 利用复数加工束形成 加工模式， 能够同时对加工件的多处进 行加工， 缩短激光加工工序的时间， 提高激光加工速 率， 通过设置改变复数加工束输出角度的第一变调部和第二变调部， 能够提高激光加工的 精度。 [0006]优选的， 所述复数加工束包括0次衍射光束、 高次衍射光束， 所述高次衍射光束包 括一次衍射光束、 二次衍 射光束和三次衍 射光束。 [0007]优选的， 所述光束筛选模块包括将所述0次衍射光束除去的倒空器、 将所述高次衍 射光束的方向进 行改变的筛选反射镜、 用于调整 所述一次衍射光束出射方向的激光振镜系 统。 利用倒空器去除不能作为加工光束的0次衍射光束， 一次衍射光束易于控制光束强度， 比其他高次衍射光束稳定性高， 高次衍射光束的衍射次数越高， 衍射角度越大， 通过这种性 质， 结合筛选反射镜， 可以将二次衍射光束和三次衍射光束去除， 留下一次衍射光束， 并将 其射入激光振镜系统， 完成筛 选。 [0008]优选的， 所述激光振镜系统包括多块振镜， 多块所述振镜能够将所述一次衍射光 束入射至所述 光路调节模块的设置 。 [0009]优选的， 所述第一变调部和所述第二变调部分别包括多种介质， 所述介质为玻璃、 石英中的一种或多种。 [0010]优选的， 所述 光路调节模块包括多块透 镜和多块反射镜 。 [0011]优选的， 多块所述透镜和多块所述反射镜能够旋转的调节设置。 可以调节复数加 工束的进行路径， 使复数加工束照射到不同位置， 形成不同的加工模式。说　明　书 1/6 页 3 CN 114985969 A 3