(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123005319.8 (22)申请日 2021.12.01 (73)专利权人 昆山晟成光电科技有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇 迎宾西路16 01号C2栋 (72)发明人 杨星　李长江　李伟　周文彬　 李世磊　 (74)专利代理 机构 广州市时代知识产权代理事 务所(普通 合伙) 44438 专利代理师 申丹宁　李春荣 (51)Int.Cl. F26B 5/04(2006.01) F26B 15/12(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01)B05D 3/04(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种线性真空干燥设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种线性真空干燥设备， 涉及干燥设备技术领域， 包括依次连通的上料区 域、 干燥区域和下料区域， 以及用于控制上料区 域、 干燥区域和下料区域真空状态的真空调控系 统， 干燥区域包括依次相连通的前缓冲腔、 干燥 腔和后缓冲腔， 干燥腔的腔内设置有气体喷淋系 统， 干燥腔腔内的底部设置有加热系统， 气体喷 淋系统包括呈间隔排列且相互交替重复设置的 喷气区和抽气区。 本实用新型具备了通过均匀间 隔补气抽气 的方式， 结合玻璃的动态传动， 使玻 璃表面各处都均匀分布新鲜气体而形成较好的 气体交换， 达到较好的干燥效果， 并且动态传动 的方式也有利于线性传输的大型量产设备产能 设计。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 218034024 U 2022.12.13 CN 218034024 U 1.一种线性真空干燥设备， 其特征在于， 包括依次连通的上料区域、 干燥 区域和下料区 域， 以及用于控制所述上 料区域、 所述干燥区域和所述下 料区域真空状态的真空调控系统； 所述干燥区域包括依次相连通的前缓冲腔(3)、 干燥腔(4)和后缓冲腔(6)， 所述干燥腔 (4)的腔内设置有气体喷淋系统(1 1)， 所述干燥腔(4)腔内的底部设置有加热系统(12)； 所述气体喷淋系 统(11)包括呈间隔排列且相互交替重复设置的喷气区(17)和抽气区 (18)。 2.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备， 其特征在于： 所述喷气区(17 )和抽气区 (18)均包括数个气口， 所述抽气区(18)相对于所述喷气区(17)呈凹槽设置， 所述气口的直 径为0.5m m～5mm， 所述凹槽的宽度为0.5m m～5mm， 所述凹槽的长度为1m m～1000mm。 3.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备， 其特征在于： 所述喷气区(17)的有效喷气 区域长度大于待干燥基板垂直于传输方向上的宽度， 具体为大于1cm～10 cm。 4.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备， 其特征在于： 所述气体喷淋系统(11)固定 于待干燥基板传动至所述干燥腔(4)后需干燥面的平行面， 所述气体喷淋系统(11)的底面 与待干燥基板上表面两平行面的距离为2m m～200mm。 5.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备， 其特征在于： 所述气体喷淋系统(11)所喷 出的气体包括氮气、 氢气、 干燥空气、 氧气、 甲氨、 氨气等 其中的一种或几种混合气体。 6.根据权利要求1 ‑5中任意一项所述的线性真空干燥设备， 其特征在于： 所述上料区域 包括上料平台(1)和上料腔(2)， 所述下料区域包括下料腔(7)和下料平台(8)， 所述上料平 台(1)、 所述上料腔(2)、 所述前缓冲腔(3)、 所述干燥腔(4)、 所述后缓冲腔(6)、 所述下料腔 (7)和所述下料平台(8)依次相连通， 所述上料平台(1)和所述上料腔(2)之间、 所述上料腔 (2)和所述前缓冲腔(3)之间、 所述后缓冲腔(6)和所述下料腔(7)之间， 以及所述下料腔(7) 和所述下 料平台(8)之间均设置有门阀(9)。 7.根据权利要求6所述的线性真空干燥设备， 其特征在于： 所述真空调控系统包括真空 泵(10)， 所述真空泵(10)通过电磁阀一(14)和电磁阀二(16)， 以及三通管(13)分别与所述 上料腔(2)和所述下 料腔(7)相连通。 8.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备， 其特征在于： 还包括充气泵(19)和抽 气泵 (20)， 所述充气泵(19)与所述喷气区(17)相连通， 以通过控制所述充气泵(19)对所述喷气 区(17)的喷气流量进行调整， 并且整台设备的进气流量为0.2slm～200slm， 所述抽气泵 (20)与所述抽气区(18)相连通。 9.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备， 其特征在于： 所述干燥腔(4)的数量至少 为一个。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218034024 U 2一种线性真空干 燥设备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及干燥设备技 术领域， 具体为 一种线性真空干燥设备。 背景技术 [0002]太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源.也是清洁能源， 不产生任何的环 境污染。 在太阳能的有效利用当中； 太阳能光电利用是近些年来 发展最快， 最具活力的研究 领域， 是其中最受瞩目的项目之一。 为此， 人们研制和开发了太阳能电池。 近年来PERC太阳 能电池进入发展的瓶颈期， HIT电池、 Topcon结构以及钙钛矿叠层太阳能电池等由于效率 高， 作为研究热点的新型技 术， 近年来效率提升非常快， 已大步走向量产化。 [0003]太阳能电池常是在镀有透明导电薄膜的玻璃上制备， 其中绝大部分有机层常采用 涂布的方式进行， 涂布的有机溶胶常为液体的配方溶液， 涂布完成后需经过干燥挥发掉多 余的有机溶液， 挥发过程要求非常均匀， 常规的设计通常有以下几种： 一， 上方喷淋板均匀 补气， 底部四周抽气； 二， 单边补气对侧抽气形成对流。 但以上两种方式存在以下一些问题， 方案一的方式四周使气体趋 向于向玻璃 四周边缘流动， 导致喷淋板中心区域气体更稀薄， 从而导致膜层挥发不均匀； 方案二的方式由于玻璃表面有机溶液挥发过程中会存在于进气 气体发生交换， 而一边进气对侧抽气的设计使得进气侧气 体较新鲜， 对侧气 体交换受影响。 如此常用的补气抽气的方案不是很理想 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种线性真空干燥设备， 具备了通过均匀间隔补气抽 气的方式， 结合玻璃的动态传动， 使玻璃表面各处都均匀分布新鲜气体而形成较好的气体 交换， 达到较好的干燥效果， 并且动态传动的方式也有利于线性传输的大型量产设备产能 设计， 解决了上述背景技 术中所提出的技 术问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种线性真空干燥设备， 包括依 次连通的上料区域、 干燥区域和下料区域， 以及用于控制所述上料区域、 所述干燥区域和所 述下料区域真空状态的真空调控系统； [0006]所述干燥区域包括依次相连通的前缓冲腔、 干燥腔和后缓冲腔， 所述干燥腔的腔 内设置有气体喷淋系统， 所述干燥腔 腔内的底部设置有加热系统； [0007]所述气体喷淋系统包括呈间隔排列且相互 交替重复设置的喷气区和抽气区。 [0008]可选的， 所述喷气区和抽气区均包括数个气口， 所述抽气区相对于所述喷气区呈 凹槽设置， 所述气口的直径 为0.5mm～5mm， 所述凹槽的宽度为0.5mm～5mm， 所述凹槽的长度 为1mm～1000mm。 [0009]可选的， 所述喷气区的有效喷气区域长度大于待干燥基板垂直于传输方向上的宽 度， 具体为大于1cm～10 cm。 [0010]可选的， 所述气体喷淋系统固定于待干燥基板传动至所述干燥腔后需干燥面的平 行面， 所述气体喷淋系统的底面与待干燥基板上表面两平行面的距离为2m m～200mm。说　明　书 1/4 页 3 CN 218034024 U 3