(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210549414.4 (22)申请日 2022.05.20 (71)申请人 丹东富田精工 机械有限公司 地址 118303 辽宁省丹东市振兴区集环路 36号 (72)发明人 田川　王亚军　任孝权　刘智　 (74)专利代理 机构 沈阳天赢专利代理有限公司 21251 专利代理师 李鑫 (51)Int.Cl. G01R 35/00(2006.01) G01D 21/02(2006.01) (54)发明名称 一种在线检测探针状态异常和接触异常的 装置和方法 (57)摘要 本发明公开了一种在线检测探针状态异常 和接触异常的装置， 包括检测头， 所述检测头的 下方固接有台板， 所述台板的下方设置有探针， 还包括有控制器、 振动检测传感器、 倾斜传感器 A、 倾斜传感器B、 侧立板、 红外检测 组件、 电阻变 送器。 本发明涉及电子设备技术领域， 该在线检 测探针状态异常和接触异常的装置和方法， 可进 行探针的在线检测， 用于及时发现探针的异常， 如探针的竖直状态， 探针是否破损， 保证探针正 常情况下进行对半导体的检测工作， 能够保证产 品的质量。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 115015817 A 2022.09.06 CN 115015817 A 1.一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置， 包括检测头(1)， 所述检测头(1)的 下方固接有台板(2)， 所述台板(2)的下方设置有探针(4)， 其特征在于： 所述台板(2)的下方 侧面和后方分别固接有侧面板(6)和后面板(5)， 还 包括有； 控制器(14)， 用于控制所述检测头(1)的推送和回缩工作； 振动检测传感器(3)， 固接在所述台板(2)的下方、 且与探针(4)相抵触， 用于检测所述 探针(4)的振动频率， 与所述控制器(14)电性连接； 倾斜传感器A(7)， 固接在 所述侧面板(6)上， 用于检测所述探针(4)是否倾斜， 与所述控 制器(14)电性连接； 倾斜传感器B(12)， 固接在所述后面板(5)上， 用于检测所述探针(4)是否倾斜， 与所述 控制器(14)电性连接； 侧立板(9)， 设置在 所述检测头(1)的一侧， 且与检测头(1)平行设置、 与侧面板(6)相对 设置， 所述侧立板(9)上设置有成像装置(10)， 用于采集探针(4)的整体完整性， 所述 成像装 置(10)与控制器(14)电性连接； 红外检测组件， 包括相对设置的红外发送器( 8)和红外接收器(11)， 所述红外发送器 (8)固接在侧面板(6)的内侧下方， 所述红外接收器(11)固接在侧立板(9)的内侧下方， 所述 红外发送器(8)和红外 接收器(1 1)与控制器(14)电性连接 。 2.根据权利要求1所述的一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置， 其特征在于： 还包括有电阻变送器(19)， 所述探针(4)和电阻变送器(19)的两端通过连接线分别连接有 电流检测器A(17)和电流检测器B(18)， 所述电流检测器A(17)和电流检测器B(18)通过连接 线分别连接有对比器A(15)和对比器B(16)， 所述对比器A(15)和对比器B(16)均与控制器 (14)电连接， 所述控制器(14)电连接有显示器(13)。 3.根据权利要求1所述的一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置， 其特征在于： 所述红外发送器(8)和红外 接收器(1 1)与探针(4)的底端位于同一水平面。 4.一种在线检测探针 状态异常和接触异常的方法， 其特 征在于： 所述方法包括： 1)在探针(4)检验完毕圆晶后回缩到原点时， 振动检测传感器(3)检测探针(4)的振幅， 当振幅过 大导致异常时， 停机检测探针(4)是否破损； 2)倾斜传感器A(7)和倾斜传感器B(12)在两侧检测探针(4)是否倾斜， 如 出现倾斜情况 则停机检测探针(4)是否破损； 3)红外发送器(8)发送红外信号， 当红外接收器(11)接收到信号时， 停机检测探针(4) 是否短缺或倾 斜； 4)成像装置(10)拍摄探针(4)的影片， 经过控制器(14)对比后发现探针(4)表面有异物 或缺口阴影时， 停机检测探针(4)是否破损； 5)电流检测器A(17)和电流检测器B(18)通电采集探针(4)和电阻变送器(19)的电流， 将采集到的电流信号传输给对比器A(15)和对比器B(16)， 通过与预设值的对比确定探针 (4)和电阻变送器(19)是否为正常状态， 当电流异常或无电流时， 控制器(14)进 行停机操作 且通过显示器(13)进行报警提 示。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115015817 A 2一种在线检测探针状态 异常和接 触异常的装 置和方法 技术领域 [0001]本发明涉及电子设备技术领域， 具体为一种在线检测探针状态异常和接触异常的 装置和方法。 背景技术 [0002]在半导体领域， 圆晶测试阶段大多使用探针， 而在实际工作时， 并没有相应的检测 系统， 没有办法在线检测， 进而当出现探针异常或接触异常时， 例如探针倾斜、 探针断裂、 探 针表面携带异物等情况时， 无法及时的检测出来， 进而直接出现大量半导体检测失败或无 检测的圆晶。 [0003]基于此问题的出现， 我司研发出在线检测探针异常状态和接触异常状态的装置， 可进行探针的在线检测， 用于及时发现探针的异常， 保证产品的质量。 发明内容 [0004]针对现有技术的不足， 本发明提供了一种在线检测探针状态异常和接触异常的装 置和方法， 解决了 探针无法在线检测探针异常的问题。 [0005]为实现上述目的， 本发明通过以下技术方案予以实现： 一种在线检测探针状态异 常和接触异常的装置， 包括检测头， 所述检测头的下方固接有台板， 所述台板的下方设置有 探针， 所述台板的下 方侧面和后方分别固接有侧面板和后面板， 还 包括有； [0006]控制器， 用于控制所述检测头的推送和回缩工作； [0007]振动检测传感器， 固接在所述台板的下方、 且与探针相抵触， 用于检测所述探针的 振动频率， 与所述控制器电性连接； [0008]倾斜传感器A， 固接在所述侧面板上， 用于检测所述探针是否倾斜， 与所述控制器 电性连接； [0009]倾斜传感器B， 固接在所述后面板上， 用于检测所述探针是否倾斜， 与所述控制器 电性连接； [0010]侧立板， 设置在所述检测头 的一侧， 且与检测头平行设置、 与侧面板相对设置， 所 述侧立板上设置有成像装置， 用于采集探针的整体完整性， 所述成像装置与控制器电性连 接； [0011]红外检测组件， 包括相对设置 的红外发送器和红外接收器， 所述红外发送器固接 在侧面板的内侧下方， 所述红外接 收器固接在侧 立板的内侧下方， 所述红外发送器和红外 接收器与控制器电性连接 。 [0012]优选的， 还包括有电阻变送器， 所述探针和电阻变送器 的两端通过连接线分别连 接有电流检测器A和电流检测器B， 所述电流检测器A和电流检测器B通过连接线分别连接有 对比器A和对比器B， 所述对比器A和对比器B均与控制器电连接， 所述控制器电连接有显示 器。 [0013]优选的， 所述红外发送器和红外 接收器与探针的底端位于同一水平面。说　明　书 1/4 页 3 CN 115015817 A 3