(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210964583.4 (22)申请日 2022.08.11 (71)申请人 昂坤视觉 （北京） 科技有限公司 地址 102206 北京市昌平区昌平路97号 新 元科技园B座5 03室 (72)发明人 李瑞青　王林梓　路膨　马铁中　 (74)专利代理 机构 北京华沛德权律师事务所 11302 专利代理师 房德权 (51)Int.Cl. B07C 5/02(2006.01) B07C 5/34(2006.01) B07C 5/36(2006.01) B08B 1/00(2006.01) G01N 21/88(2006.01)G01N 21/95(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种用于芯片检测的预处 理系统 (57)摘要 本发明公开了一种用于芯片检测的预处理 系统， 装有芯片的料盘通过第一检测机构进行拍 摄预检， 得到料盘上检测区内芯片 的分布情况， 并控制第二检测机构避开该空缺位， 提高检测效 率， 第二检测组件快速的移动到每个芯片上方， 逐个对芯片进行拍摄， 并进行芯片顶 面状态的初 步检测， 以筛选芯片顶面的缺陷， 通过芯片抓取 组件将芯片抓取到第一背检组件 上， 对芯片背部 进行拍摄， 在不需要进行芯片翻转的前提下， 进 行芯片背面状态的初步检测， 最后芯片被装回料 盘中输送到后续检测位进行进一步检测， 通过预 处理提高检测效率， 预先筛选掉缺陷明显的芯 片， 减小后续检测位的检测负荷， 提高整体的检 测效率。 权利要求书2页 说明书19页 附图13页 CN 115213113 A 2022.10.21 CN 115213113 A 1.一种用于芯片检测的预处 理系统， 其特 征在于， 其包括： 料盘， 上设有 多个用于放置芯片的检测区； 第三轨道， 用于承载并驱动所述料盘移动； 第一横向架体， 架设在所述第 三轨道上， 且所述第 一横向架体上设有第 二转运轨道， 所 述第二转运轨道上设有可沿所述第二转运轨道延伸方向移动的第二转运机构， 所述第二转 运机构上的设有用于对所述检测区进 行拍摄的第一检测组件， 以及用于对 所述芯片进 行逐 个拍摄的第二检测组件； 第二横向架体， 架设在所述第 三轨道上， 且所述第 二横向架体上设有第 三转运轨道， 所 述第三转运轨道上设有可沿所述第三转运轨道延伸方向移动的第三转运机构， 所述第三转 运机构包括芯片抓取 组件， 所述第三转运机构上的设有用于在所述芯片底部进行拍摄的第 一背检组件。 2.如权利要求1所述用于芯片检测的预处理系统， 其特征在于： 所述芯片抓取组件包括 吸盘， 所述吸盘的两端之 间相连通设置， 所述吸盘的一端连接有用于抽真空的活塞， 另一端 用于吸取芯片。 3.如权利要求2所述用于芯片检测的预处理系统， 其特征在于： 所述吸盘设有多个， 所 述芯片抓取组件上设有用于调节两个相邻的所述吸盘之间距离的第一调距装置 。 4.如权利要求3所述用于芯片检测的预处理系统， 其特征在于： 所述第 一调距装置包括 第一电机和第一螺杆， 所述第一螺杆与所述第一电机的输出轴 连接， 所述第一螺杆上具有 反向设置的螺纹段， 所述第一螺杆上通过螺纹连接的滑块固定两个所述吸盘， 且当第一螺 杆旋转时， 两个所述吸盘在第一螺杆上相互靠近或者远离， 且所述第一螺杆中部固定连接 有一个所述吸盘。 5.如权利要求4所述用于芯片检测的预处理系统， 其特征在于： 所述芯片抓取组件上还 设有第二调距装置， 所述第二调距装置包括与所述第一螺杆平行 的第二螺杆， 以及驱动所 述第二螺杆旋转的第二电机， 所述第二螺杆上具有反向设置的螺纹段， 所述第二螺杆上通 过螺纹连接的滑块固定两个所述吸盘， 且当第二螺杆旋转时， 两个所述吸盘在第二螺杆上 相互靠近或者远离， 且所述第一螺杆上的活塞中心线与所述第二螺杆上活塞的中心线共 线。 6.如权利要求2所述用于芯片检测的预处理系统， 其特征在于： 所述吸盘远离所述活塞 的一端设有缓冲件。 7.如权利要求1所述用于芯片检测的预处理系统， 其特征在于： 在第 三轨道下方设置清 洁装置， 所述清洁装置包括： 清洁液仓和清洁布， 所述清洁液仓侧壁上设有用于装填清洁液 主入口， 所述清洁液仓底部 设有用于通入压缩空气的底孔， 所述清洁液仓顶部设有喷淋孔， 所述清洁布铺设在所述喷淋孔上。 8.如权利要求7所述用于芯片检测的预处理系统， 其特征在于： 所述清洁装置还包括流 量控制装置、 液位控制装置和回流件， 所述流量控制装置 设在所述底孔中部， 以用于调节所 述底孔内压缩空气的流量， 所述液位控制装置设在所述清洁液仓内， 并用于与清洁液分离 后进行提醒， 所述回流槽 设在所述清洁液仓的外顶面， 并位于所述清洁布的底部， 以用于引 导清洁液流出。 9.如权利要求1所述用于芯片检测的预处理系统， 其特征在于： 所述第一检测 组件、 所权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115213113 A 2述第二检测组件与所述第二转运机构之 间， 以及所述芯片抓取组件与所述第三转运机构之 间， 均设有纵向升降装置， 以使 所述第一检测组件、 所述第二检测组件和所述芯片抓取组件 可靠近或远离所述第三轨道。 10.如权利要求1所述用于芯片检测的预处理系统， 其特征在于： 所述第二转运机构与 所述第二转运轨道之间、 所述第三转运轨道与所述第三转运机构之间分别设有位移组件， 所述位移组件包括驱动电机， 所述驱动电机的输出轴 上设置有齿轮， 所述第二转运轨道和 所述第三 转运轨道上设有用于与所述齿轮啮合的凸齿。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115213113 A 3