(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221064141.6 (22)申请日 2022.05.06 (73)专利权人 源卓微电子装备 （常德） 有限公司 地址 415000 湖南省常德市国家高新 技术 产业开发区西洞庭生物科技园农垦大 道益阳路101号 (72)发明人 马运军　李志　蔡志兵　李波　 张雷　 (51)Int.Cl. B65G 47/74(2006.01) B65G 47/91(2006.01) (54)实用新型名称 一种吸盘装置 (57)摘要 本实用新型提出的吸盘装置， 包括： 吸盘主 体、 气路组件、 真空抽取装置， 吸盘主体包括上壳 体和下壳体， 上壳体上设有密集分布的吸附孔， 上壳体和下壳体对接安装形成真空腔， 真空腔包 括主真空腔和至少一个副真空腔， 下壳体上设置 有至少一个隔断筋和至少一个通断挡块， 主真空 腔和至少一个副真空腔通过隔断筋分隔， 通断挡 块设置于隔断筋的缺口处， 用于导通或隔断相邻 的真空腔， 下壳体上还设有至少一个主抽气孔， 通过通断挡块完成主真空腔与副真空腔的隔断 与导通， 实现多种尺寸工件的吸附功能。 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 CN 218087692 U 2022.12.20 CN 218087692 U 1.一种吸盘装置， 包括： 吸盘主体、 气路组件、 真空抽取装置， 其特征在于： 所述吸盘主 体包括上壳体和下壳体， 所述上壳体设有密集分布的吸 附孔， 所述上壳体和所述下壳体对 接安装形成真空腔， 所述真空腔包括主真空腔和至少一个副真空腔， 所述下壳体上设置有 至少一个隔断筋和至少一个通断挡块， 所述主真空腔和所述至少一个副真空腔通过所述隔 断筋分隔， 所述通断挡块设置于所述隔断筋的缺口处， 用于导通或隔断相 邻的真空腔， 所述 下壳体上还设有至少一个主抽气孔。 2.如权利要求1所述的吸盘装置， 其特征在于： 所述通断挡块可控的处于至少第 一位置 状态和/或第二位置状态， 当所述通断挡块处于第一位置状态时隔断相 邻的真空腔， 当所述 通断挡块处于第二 位置状态时导 通相邻的真空腔。 3.如权利要求2所述的吸盘装置， 其特征在于： 所述通断挡块从第 一位置状态经旋转后 转变到第二 位置状态。 4.如权利要求3所述的吸盘装置， 其特征在于： 所述副真空腔数量为多个， 依次沿所述 主真空腔的两个相邻侧 边延伸分布， 所述隔断筋数量为多个， 多个所述副真空腔通过多个 所述隔断筋分隔， 多个所述隔断筋包括多个横向隔断筋和多个竖向隔断筋。 5.如权利要求4所述的吸盘装置， 其特征在于： 所述多个横向隔断筋的数量与 所述多个 竖向隔断筋的数量相同， 所述多个横向隔断筋与所述多个竖向隔断筋一一对应设置， 每个 横向隔断筋的一端与对应竖向隔断筋的一端相连， 每个横向隔断筋的另一端连接至所述吸 盘主体的侧壁， 每 个竖向隔断筋连接 至所述吸盘主体的侧壁。 6.如权利要求4所述的吸盘装置， 其特征在于： 所述多个横向隔断筋的数量与 所述多个 竖向隔断筋的数量不同， 最外侧的副真空腔由数量多的隔断筋与所述吸盘主体的侧壁直接 围成。 7.如权利要求1所述的吸盘装置， 其特征在于： 所述真空腔还包括自适应真空腔， 所述 主真空腔和所述自适应真空腔分别沿吸盘主体的两个对角延伸分布。 8.如权利要求7所述的吸盘装置， 其特征在于： 所述至少一个副真空腔包括横向副真空 腔和竖向副真空腔， 所述横向副真空腔的横向长度与所述主真空腔的横向长度相同， 所述 竖向副真空腔的竖向长度与所述主真空腔的竖向长度相同。 9.如权利要求7所述的吸盘装置， 其特征在于： 所述自适应真空腔内设有内层壳体， 所 述内层壳体上设置有气道， 所述气道内设有自适应阻气组件， 所述自适应阻气组件能够导 通或隔断所述气道。 10.如权利要求1所述的吸盘装置， 其特征在于： 所述下壳体上还设有多个导气槽， 所述 导气槽与所述主抽气孔连通， 所述 导气槽的一端邻近所述 通断挡块中的至少一个。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218087692 U 2一种吸盘装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及直写式曝光 技术领域， 尤其是 涉及一种吸盘装置 。 背景技术 [0002]直写式曝光是利用数字光处理技术在工件 （如晶圆、 印刷电路板等） 表面曝光形成 电路图形的一种直接成像技术， 相较于掩模式曝光效率显著 提高， 且成本优势明显， 能够满 足芯片、 半导体 器件以及印刷电路板等多种产品的加工需求。 [0003]在对工件进行曝光时， 需要使用吸盘对其进行吸附以使工件的移动处理更为可 靠。 通常吸盘的尺 寸是基于最大尺寸工件而设计， 而实际的曝光应用中， 各类工件的尺寸大 小不一， 当工件尺寸小于吸盘尺寸时， 会存在漏气破真空现象， 导致吸附力不足。 为解决这 一问题， 现有技术主要采用人为堵孔的方式， 多 是采用胶带贴封裸露的吸附孔， 由于胶带粘 性大， 在取下时费时费力且容易在吸盘表面残存粘胶， 可能导致其他尺寸工件表面的光刻 胶损伤， 此种 方式也难以适应 自动化生产节奏； 为此， 出现了分区域吸盘， 将吸盘划分为多 个独立区域的方式， 但目前 的分区域吸盘是对每个区域均配置独立的气路结构， 使得整个 气路结构复杂占用空间大， 且成本较高。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种吸盘装置， 以弥补上述现有技术的不足。 为此， 本 实用新型采用如下的技 术方案： [0005]一种吸盘装置， 包括： 吸盘主体、 气路组件、 真空抽取装置， 所述吸盘主体包括上壳 体和下壳体， 所述上壳体上设有密集分布的吸 附孔， 所述上壳体和所述下壳体对接安装形 成真空腔， 所述真空腔包括主真空腔和至少一个副真空腔， 所述下壳体上设置有至少一个 隔断筋和至少一个通断挡块， 所述主真空腔和所述至少一个副真空腔通过所述隔断筋分 隔， 所述通断挡块设置于所述隔断筋的缺口处， 用于导通 或隔断相 邻的真空腔， 所述下壳体 上还设有至少一个主抽气孔。 [0006]在一个实施方式中， 所述通断挡块可控的处于至少第一位置状态和/或第二位置 状态， 当所述通断挡块处于第一位置状态时隔断相邻的真空腔， 当所述通断挡块处于第二 位置状态时导 通相邻的真空腔。 [0007]在一个实施方式中， 所述通断挡块从第一位置状态经旋转后转变到第二位置状 态。 [0008]在一个实施方式中， 所述副真空腔数量为多个， 依次沿所述主真空腔的两个相邻 侧边延伸分布， 所述隔断筋数量为多个， 多个所述副真空腔通过多个所述隔断筋分隔， 多个 所述隔断筋包括多个横向隔断筋和多个竖向隔断筋。 [0009]在一个实施方式中， 所述多个横向隔断筋的数量与所述多个竖向隔 断筋的数量相 同， 所述多个横向隔断筋与所述多个竖向隔断筋一一对应设置， 每个横向隔断筋的一端与 对应竖向隔断筋的一端相连， 每个横向隔断筋的另一端连接至所述吸盘主体的侧 壁， 每个说　明　书 1/5 页 3 CN 218087692 U 3