(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221157123.2 (22)申请日 2022.05.12 (73)专利权人 深圳市诺泰芯装备有限公司 地址 518100 广东省深圳市宝安区沙 井街 道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房 1栋四层D座 南侧 专利权人 日月新半导体 （苏州） 有限公司 (72)发明人 惠辛阳　李辉　王体　 (74)专利代理 机构 南京新众合专利代理事务所 (普通合伙) 32534 专利代理师 彭雄 (51)Int.Cl. B65G 29/00(2006.01) B65G 47/74(2006.01) (54)实用新型名称 一种旋转传送载盘 机构 (57)摘要 本实用新型提供了一种旋转传送载盘机构， 该机构是由一套伺服马达带动旋转传送载盘， 包 括： 电机主体部、 真 空密封部和旋转传动部， 配合 一套真空及气路结构， 能够实现对小微封装产品 的高速精 准位置转移。 本方案的旋转传送载盘机 构， 其旋转传送载盘位置重复定位精度高， 负载 惯量较轻， 能够实现高速高精度位置转移； 通过 均匀分布的真空气路设计， 使传送载盘在任意角 度保持良好的真 空稳定性， 确保产品在高速转移 过程不会被偏移、 丢料； 机构维护方便， 拆装可以 按定位销快速装回无需电机设置 。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217755421 U 2022.11.08 CN 217755421 U 1.一种旋转传送载盘机构， 其特征在于， 包括： 电机主体部、 真空密封部和旋转传动部， 其中： 所述真空密封部弹性连接电机主体部， 所述旋转传动部安装在真空密封部上， 所述旋 转传动部固定连接电机主体部的电机转轴， 所述真空密封部包括浮动轴承座(201)、 负压密 封板(202)、 弹性直线件， 所述负压密封板(202)固定安装在浮动轴承座(201)上， 所述浮动 轴承座(201)通过弹性 直线件连接电机主体部 。 2.根据权利要求1所述的一种旋转传送载盘机构， 其特征在于： 所述电机主体部包括伺 服电机(101)和电机安装基座(102)， 所述伺服电机(101)固定安装在电机安装基座(102) 上。 3.根据权利要求1所述的一种旋转传送载盘机构， 其特征在于： 所述弹性直线件包括直 线轴承(2 03)、 轴承导杆(204)、 导杆限位块(205)和弹簧(206)， 其中， 所述轴承导杆(204)的 下端固定连接电机安装基座(102)， 上端穿过直线轴承(203)的中心孔， 并与直线轴承(203) 滑动连接， 所述直线轴承(203)与浮动轴承座(201)固定连接， 所述弹簧(206)套接在浮动轴 承座(201)上， 弹簧(20 6)的一端连接浮动轴承座(201)， 另一端连接电机安装基座(102)。 4.根据权利要求3所述的一种旋转传送载盘机构， 其特征在于： 所述轴承导杆(204)的 上端安装有导杆限位 块(205)。 5.根据权利要求1所述的一种旋转传送载盘机构， 其特征在于： 所述浮动轴承座(201) 的侧面固定安装有负压 接头(207)正压 接头(208)。 6.根据权利要求1所述的一种旋转传送载盘机构， 其特征在于： 所述旋转传动部包括旋 转传送载盘(301)、 载盘气路转接(302)、 电机联接轴(303)和载盘紧固螺丝(304)， 所述载盘 气路转接(302)置于负压密封板(202)上方， 通过弹簧(206)作用， 与负压密封板(202)柔性 接触， 所述载盘气路转接(302)通过载盘紧固螺丝(304)固定连接电机联接轴(303)的上端， 所述旋转传送载盘(301)设置在载盘气路转接(302)上， 且旋转传送载盘(301)固定连接电 机联接轴(3 03)的上端。 7.根据权利要求6所述的一种旋转传送载盘机构， 其特征在于： 所述电机联接轴(303) 的下端传动连接伺服电机(101)的电机转轴。 8.根据权利要求6所述的一种旋转传送载盘机构， 其特征在于： 所述载盘气路转接 (302)上还固定安装有密封 螺丝(305)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217755421 U 2一种旋转 传送载盘机构 技术领域 [0001]本实用新型属于半导体设备技 术领域， 具体涉及一种旋转传送载盘机构。 背景技术 [0002]半导体封装产品在生产制造中， 因设备的空间结构， 及生产工序要求， 需要将产品 转移出来， 以便对封装产品进行加工、 检查 等处理。 [0003]由于封装产品的体积较小， 质量小， 生产中追求高效高质量要求， 已有技术存在以 下缺点和不足， 主要体显在以下： 第一， 旋转传送载盘重复定位精度不高， 影响封装产品加 工处理质量不高； 第二， 封装产品在高速取放及旋转传送过程中， 容易产生丢料、 偏移等问 题； 第三， 维护不方便， 机构拆装后需要重新调试电机位置 。 实用新型内容 [0004]为解决上述问题， 本实用新型提供了一种旋转传送载盘机构， 该机构是由一套伺 服马达带动旋转传送载盘， 配合一套真空及气路结构， 能够实现对小微封装产品的高速精 准位置转移。 具体地， 其 技术方案如下： [0005]一种旋转传送载盘机构， 包括： 电机主体部、 真空密封 部和旋转传动部， 其中： [0006]所述真空密封部弹性连接电机主体部， 所述旋转传动部安装在真空密封部上， 所 述旋转传动部紧密联接连接固定电机主体部的电机转轴， 所述真空密封部包括浮动轴承 座、 负压密封板、 弹性直线件， 所述负压密封板固定安装在浮动轴承座上， 所述浮动轴承座 通过弹性 直线件连接电机主体部 。 [0007]进一步地， 所述电机主体部包括伺服电机和电机安装基座， 所述伺服电机固定安 装在电机安装基座上。 [0008]进一步地， 所述弹性直线件包括直线轴承、 轴承导杆、 导杆限位块和弹簧， 其中， 所 述轴承导杆的下端固定连接电机安装基座， 上端穿过直线轴承的中心孔， 并与直线轴承滑 动连接， 所述直线轴承与浮动轴承座固定连接， 所述 弹簧套接在浮动轴承座上， 弹簧的一端 连接浮动轴承座， 另一端连接电机安装基座。 [0009]进一步地， 所述轴承导杆的上端安装有导杆限位 块。 [0010]进一步地， 所述浮动轴承座的侧面固定安装有负压 接头和正压 接头。 [0011]在本实用新型的一个可选 的实施例中， 负压接头设置有四个， 而正压接头设置有 一个。 [0012]进一步地， 所述旋转传动部包括旋转传送载盘、 载盘气路转接、 电机联接轴和载盘 紧固螺丝， 所述载盘气路转接安装在负压密封板上， 其置于负压密封板上方， 通过弹簧作 用， 与负压密封板柔性接触。 所述载盘气路转接通过载盘紧固螺丝固定连接电机联接轴的 上端， 所述旋转传送载盘设置在载盘气路转接上， 且旋转传送载盘固定连接电机联接轴的 上端。 [0013]在本实用新型的一个可选的实施中， 旋转传送载盘上 具有四个工位。说　明　书 1/3 页 3 CN 217755421 U 3