(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222144073.0 (22)申请日 2022.08.15 (73)专利权人 上海盛剑微电子有限公司 地址 201400 上海市奉贤区上海化学工业 区目华路201号1幢20层20 06室 (72)发明人 张伟明　章学春　李玉兴　梁重时　 (74)专利代理 机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 11463 专利代理师 张洋 (51)Int.Cl. C02F 9/04(2006.01) C02F 101/20(2006.01) (54)实用新型名称 一种剥离液废液处 理系统 (57)摘要 本实用新型提供一种 剥离液废液处理系统， 涉及废液回收技术领域。 光刻胶剥离液处理系统 包括依次连接的第一缓冲装置、 回收装置以及第 二缓冲装置。 第一缓冲装置用于使由剥离液作用 于光刻胶生成的废液依次经过回收装置以及第 二缓冲装置， 其中， 回收装置用于过滤废液中的 光刻胶渣质、 颗粒物以及杂质离子以获得回收 液， 第二缓冲装置用于接收并处理回收液， 以生 成剥离液， 从而使得剥离废液能够重复循环利 用， 延长了剥离液的使用寿命， 也一定程度上增 强了剥离 液的剥离性能， 节约了资源并降低使用 成本， 同时有效地减少环境污染。 权利要求书1页 说明书7页 附图2页 CN 218025699 U 2022.12.13 CN 218025699 U 1.一种剥离液废液处理系 统， 其特征在于， 包括依次连接的第一缓冲装置(100)、 回收 装置(200)以及第二缓冲装置(3 00)； 所述第一缓冲装置(100)用于使剥离液废液依次经过所述回收装置(200)以及所述第 二缓冲装置(300)， 其中， 所述回收装置(200)用于过滤所述剥离液废液中的光刻胶渣质、 颗 粒物以及杂质离子以获得回收液， 所述第二 缓冲装置(300)用于接收并处理所述回收液， 以 生成剥离液。 2.根据权利要求1所述的剥离液废液处理系 统， 其特征在于， 所述回收装置(200)包括 依次连接的过滤器(210)、 吸附器(220)以及金属离子去除器(230)， 且所述过滤器(210)与 所述第一缓冲装置(10 0)连接， 所述金属离 子去除器(23 0)与所述第二缓冲装置(3 00)连接。 3.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系 统， 其特征在于， 所述过滤器(210)包括滤 芯(211)， 所述滤芯(211)为孔隙结构且底部呈锥状， 所述过滤器(210)用于使所述剥离液废 液由上至下 经过所述滤芯(21 1)， 以过滤所述剥离液废液中的光刻 胶渣质。 4.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系 统， 其特征在于， 所述吸附器(220)包括依 次设置的加热件(221)、 吸附件(222)以及过滤件(223)， 所述吸附器(220)用于使所述剥离 液废液依次经过所述加热件(221)、 所述吸附件(222)和所述过滤件(223)， 以通过所述吸附 件(222)吸附所述剥离液废液中的颗粒物。 5.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系统， 其特征在于， 所述金属离子去除器 (230)包括至少一个离子交换柱(231)， 所述离子交换柱(231)用于交换所述剥离液废液中 的杂质离 子。 6.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系 统， 其特征在于， 第一缓冲装置(100)包括 第一缓冲罐(110)， 所述第一 缓冲罐(110)用于接收所述剥离液废液并将所述剥离液废液向 所述过滤器(210)输送。 7.根据权利要求6所述的剥离液废液处理系 统， 其特征在于， 所述第一缓冲罐(110)包 括离心器， 所述离心器用于去除所述剥离液废液中的沉淀物。 8.根据权利要求2所述的剥离液废液处理系 统， 其特征在于， 所述第二缓冲装置(300) 包括第二 缓冲罐(310)和补充罐(320)， 所述第二 缓冲罐(310)与所述金属离子去除器(230) 以及所述补充罐(320)连接， 所述补充罐(320)用于向所述第二缓冲罐(310)补充原料。 9.根据权利要求8所述的剥离液废液处理系 统， 其特征在于， 所述第二缓冲装置(300) 和所述过滤器(210)、 所述吸附器(220)以及所述金属离子去除器(230)之间分别设置有第 一回流管路(400)、 第二回流管路(500)以及第三回流管路(600)， 所述第一回流管路(400)、 所述第二回流管路(5 00)以及所述第三回流管路(6 00)均设置有阀门(70 0)和泵(80 0)； 所述第二缓冲罐(310)设置有取样口(311)， 所述取样口(311)用于对所述第二缓冲罐 (310)内的所述回收液进行 取样。 10.根据权利要求8所述的剥离液废液处理系统， 其特征在于， 所述剥离液废液处理系 统还包括输送管路(900)， 所述输送管路(900)的一端与所述第二缓冲罐(310)连接， 另一端 用于与工作台(20)连接， 以向所述工作台(20)输送重新生成的所述剥离液， 所述输送管路 (900)设置有 泵(800)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218025699 U 2一种剥离液废液处理系统 技术领域 [0001]本实用新型 涉及废液回收技 术领域， 具体而言， 涉及一种剥离液废液处 理系统。 背景技术 [0002]光刻胶剥离液是显示面板及半导体制造工艺中常用的湿电子化学品， 用来去除光 刻胶， 其主要由有机胺、 极性有机溶剂和水组成。 光刻胶剥离液在 使用一定时间后性能会下 降或失效而成为剥离液废液， 通常直接将其报废或委托危废处理企业进行处理。 然而剥离 液废液还含有大量的有机溶剂和有机胺， 其仍然具有一定的光刻胶剥离能力， 将其报废会 造成极大的资源浪费， 也会造成环境污染。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种剥离液废液处理系统， 其能够回收利用剥离液， 节约了资源， 降低了使用成本， 并有效减少了环境污染。 [0004]本实用新型的实施例是这样实现的： [0005]第一方面， 本实用新型提供一种剥离液废液处理系统， 包括依次连接 的第一缓冲 装置、 回收装置以及第二缓冲装置； [0006]所述第一缓冲装置用于使剥离液废液依次经过所述回收装置以及所述第二缓冲 装置， 其中， 所述回收装置用于过滤所述剥离液废液中的光刻胶 渣质、 颗粒物以及杂质离子 以获得回收液， 所述第二缓冲装置用于 接收并处 理所述回收液， 以生成剥离液。 [0007]在上述实施例中， 通过回收装置去除剥离液废液中的光刻胶渣质、 颗粒物以及杂 质离子等杂质并获得回收液， 再通过第二缓冲装置对回收液进行处理， 以将回收液重新配 置成具有剥离性能的新的剥离液， 从而使得剥离液废液能够重复循环利用， 延长了剥离液 的使用寿命， 也一定程度上增强了剥离液的剥离性能， 节约了 资源并降低使用成本， 同时有 效地减少环境污染。 [0008]在可选的实施方式中， 所述回收装置包括依次连接 的过滤器、 吸附器以及金属离 子去除器， 且所述过滤器与所述第一缓冲装置连接， 所述金属离子去除器与所述第二缓冲 装置连接 。 [0009]在上述实施例中， 回收装置 由依次连接 的过滤器、 吸附器以及金属离子去除器构 成， 以依次去除剥离液废液中的光刻 胶渣质、 颗粒物以及杂质离 子。 [0010]在可选的实施方式中， 所述过滤器包括滤芯， 所述滤芯为孔隙结构且底部呈锥状， 所述过滤器用于使所述剥离液废液由上至下经过所述滤芯， 以过滤所述剥离液废液中的光 刻胶渣质。 [0011]在上述实施例中， 通过设置滤芯以过滤剥离液废液中的呈细小颗粒状的光刻胶渣 质， 将滤芯的底部设置呈锥状， 不仅可有效提高过滤效率， 也可加快过滤速度， 从而提高剥 离液废液生成剥离液的效率。 [0012]在可选的实施方式中， 所述吸附器包括依次设置的加热件、 吸附件以及过滤件， 所说　明　书 1/7 页 3 CN 218025699 U 3