(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210873536.9 (22)申请日 2022.07.22 (71)申请人 弥费实业 （上海） 有限公司 地址 200131 上海市浦东 新区中国 （上海） 自由贸易试验区临港新片区秋山路 1775弄3-4号1楼 (72)发明人 杨复来　缪峰　 (74)专利代理 机构 北京清大紫荆知识产权代理 有限公司 1 1718 专利代理师 黄贞君　郑纯 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06T 7/73(2017.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 晶圆盒存 储库坐标数据处 理方法及系统 (57)摘要 本发明提供了一种晶圆盒存储库坐标数据 处理方法及系统， 其中晶圆盒存储库坐标数据处 理方法， 包括以下步骤： 采集晶圆盒存储库中目 标阁位对应的目标图像； 获取目标图像与目标阁 位对应的原始图像 之间的对比结果； 根据对比结 果确定目标阁位对应的坐标修正数据； 根据坐标 修正数据对目标阁位的坐标数据进行修正。 通过 晶圆存储库中阁位的新旧图像比对， 可以快速获 得修正数据， 进而以及修正数据进行数据修正， 数据处理过程简单， 数据准确， 以及可 以实时地 修正坐标数据， 保证晶圆盒取放作业的作业精 度， 保障作业效率和安全， 并且能够自动执行， 降 低人工作业强度。 权利要求书2页 说明书12页 附图4页 CN 115131338 A 2022.09.30 CN 115131338 A 1.一种晶圆盒存 储库坐标 数据处理方法， 其特 征在于， 包括： 采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像， 所述目标图像中包含有用于表征晶圆 盒取放于所述目标阁位上的位置信息； 获取所述目标图像与所述目标阁位对应的原 始图像之间的对比结果； 根据所述对比结果确定所述目标阁位对应的坐标修 正数据； 根据所述 坐标修正数据对所述目标阁位的坐标 数据进行修 正。 2.根据权利要求1所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法， 其特征在于， 采集晶圆盒存 储库中目标阁位对应的目标图像包括： 针对目标阁位上预设的特征区域采集 目标图像， 所 述特征区域包括用于表征 所述目标阁位的预设特 征的区域； 获取所述目标图像与所述目标阁位对应的原 始图像之间的对比结果， 包括： 获取所述目标图像中的特 征区域和所述原 始图像中的特 征区域之间的对比结果。 3.根据权利要求2所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法， 其特征在于， 所述特征区域 包括以下至少一种存在于所述 目标阁位中的特征形状所在区域： 外侧轮廓、 用于取放机构 通过的中部避让部、 用于对放置晶圆盒定位的定位部、 用于标记位置信息的预设标识部 。 4.根据权利要求1所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法， 其特征在于， 采集晶圆盒存 储库中目标阁位对应的目标图像包括： 通过设置于存储库中预设位置的摄像装置采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标 图像； 其中， 所述预设位置包括以下至少一种位置： 存储库中预设固定位置、 存储库中用于移 动巡检的预设位置、 取放机构上的预设位置 。 5.根据权利要求1所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法， 其特征在于， 所述晶圆盒存 储库坐标 数据处理方法还 包括： 根据第一目标阁位的所述坐标修正数据对第 二目标阁位的坐标数据进行修正， 其中所 述第一目标阁位和所述第二目标阁位 为相邻的目标阁位。 6.根据权利要求1所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法， 其特征在于， 所述晶圆盒存 储库坐标数据 处理方法还包括： 确定所述坐标修正数据偏离预设阈值是否超过预设条件， 并在所述 坐标修正数据偏离预设阈值超过 预设条件时， 生成告警信息 。 7.根据权利要求6所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法， 其特征在于， 所述晶圆盒存 储库坐标数据处理方法还包括： 根据所述告警信息将所述目标阁位的坐标数据标记为异常 状态。 8.根据权利要求1所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法， 其特征在于， 在确定出所述 目标阁位对应的坐标修正数据后， 所述晶圆盒存储库坐标数据 处理方法还包括： 将所述 目 标图像替代所述原 始图像。 9.根据权利要求1 ‑8中任意一项所述的晶圆盒存储库坐标数据处理方法， 其特征在于， 所述晶圆盒存储库坐标数据 处理方法还包括： 获取取放机构的运动位置， 并根据所述运动 位置生成采集信号； 采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像包括： 根据所述采集信号， 采集晶圆盒 存储库中目标阁位对应的目标图像。 10.一种晶圆盒存 储库坐标 数据处理系统， 其特 征在于， 包括：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115131338 A 2图像采集单元， 用于采集晶圆盒存储库中目标阁位对应的目标图像， 所述目标图像中 包含有用于表征晶圆盒取放于所述目标阁位上的位置信息； 图像比对单元， 用于获取所述目标图像与 所述目标阁位对应的原始图像之间的对比结 果； 确定单元， 用于根据所述对比结果确定所述目标阁位对应的坐标修 正数据； 修正单元， 用于根据所述 坐标修正数据对所述目标阁位的坐标 数据进行修 正。 11.根据权利要求10所述的晶圆盒存储库坐标数据处理系统， 其特征在于， 所述图像采 集单元包括设置于以下至少一种位置上 的摄像装置： 存储库中预设固定位置、 存储库中用 于移动巡检的预设位置、 取放机构上的预设位置 。 12.根据权利要求10所述的晶圆盒存储库坐标数据处理系统， 其特征在于， 所述晶圆盒 存储库坐标数据处理系统还包括告警单元， 所述告警单元用于确定所述坐标修正数据偏离 预设阈值是否超过预设条件， 并在所述坐标修正数据偏离预设阈值超过预设条件时， 生成 告警信息 。 13.根据权利要求10 ‑12中任意一项所述的晶圆盒存储库坐标数据处理系统， 其特征在 于， 所述晶圆盒存储库坐标数据 处理系统还包括运动位置获取单元， 所述运动位置获取单 元用于获取取放机构的运动位置， 并根据所述运动位置生成采集信号， 所述采集信号用于 触发所述图像采集单 元采集晶圆盒存 储库中目标阁位对应的目标图像。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115131338 A 3