(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211042514.4 (22)申请日 2022.08.29 (71)申请人 中山凯旋真空科技股份有限公司 地址 528478 广东省中山市横栏 镇环镇北 路27号 (72)发明人 吴标平　吴洽　聂鹏　 (74)专利代理 机构 北京律智知识产权代理有限 公司 11438 专利代理师 阚梓瑄 (51)Int.Cl. G01B 11/00(2006.01) G06T 7/73(2017.01) (54)发明名称 基片位置异常的检测方法与检测装置 (57)摘要 本公开实施例提供了一种基片位置异常的 检测方法与检测装置， 该检测方法包括： 获取基 片分别位于机械手和转架上时的标准图像； 获取 基片重新分别位于机械手或转架上时的检测图 像； 判断所述标准图像中预设特征的位置与所述 检测图像中所述预设特征的位置之间偏差是否 在预设范围内； 若不在所述预设范围内， 则判断 所述基片重新位于机械手或转架上的位置异常。 本公开提供的基片位置异常的检测方法， 能够通 过视觉检测方式识别基片位置是否异常。 权利要求书2页 说明书7页 附图8页 CN 115289969 A 2022.11.04 CN 115289969 A 1.一种基片位置异常的检测方法， 其特 征在于， 包括： 获取基片分别位于 机械手和转架上时的标准图像； 获取基片重新分别位于 机械手或转架上时的检测图像； 判断所述标准图像中预设特征的位置与所述检测图像中所述预设特征的位置之间偏 差是否在预设范围内； 若不在所述预设范围内， 则判断所述基片重新 位于机械手或转架上的位置异常。 2.根据权利要求1所述的检测方法， 其特 征在于， 所述检测方法还 包括： 若在所述预设范围内， 则判断所述基片重新 位于机械手或转架上的位置正常。 3.根据权利要求1所述的检测方法， 其特征在于， 所述预设特征为多个特征点， 包括位 于所述基片上的结构特 征、 位于机械手上的结构特 征和位于转架上的结构特 征。 4.根据权利要求1所述的检测方法， 其特 征在于， 所述预设特 征为线特 征。 5.根据权利要求1所述的检测方法， 其特征在于， 所述机械手上设有多个第一特征； 当 在所述检测图像未识别出所述第一特征， 则判断所述基片在所述机械手片上悬挂到位； 当 在所述检测图像识别出所述多个第一特征， 则判断所述机械手上未挂所述基片； 当在所述 检测图像识别出部分所述第一特 征， 则判断所述基片在所述机 械手上未挂到位； 所述转架上设有多个第二特征； 当在所述检测图像未识别出所述第二特征， 则判断所 述基片在所述转架上悬挂到位； 当在所述检测图像识别出所述多个第二特征， 则判断所述 转架上未挂所述基片； 当在所述检测图像识别出部分所述第二特征， 则判断所述基片在所 述转架上未悬挂到位。 6.根据权利要求1所述的检测方法， 其特征在于， 所述标准图像与所述检测图像的边界 位置一致。 7.一种基片位置异常的检测装置， 其特 征在于， 包括： 图像获取模块， 用于获取基片分别位于机械手和转架上时的标准图像， 以及基片重新 分别位于 机械手或转架上时的检测图像； 图像对比模块， 与所述图像获取模块连接， 所述图像对比模块被配置为判断所述标准 图像中预设特征的位置与所述检测图像中所述预设特征的位置之间偏差是否在预设范围 内； 输出模块， 与所述图像对比模块连接， 若所述标准图像中预设特征的位置与所述检测 图像中所述预设特征的位置之 间偏差不在所述预设范围内， 则输出所述基片重新位于机械 手或转架上位置异常的信息 。 8.根据权利要求7所述的检测装置， 其特征在于， 若所述标准图像中预设特征的位置与 所述检测图像中所述预设特征的位置之 间偏差在所述预设范围内， 则输出所述基片重新位 于机械手或转架上位置正常的信息 。 9.根据权利要求7所述的检测装置， 其特征在于， 所述机械手上设有多个第一特征； 当 所述图像对比模块在所述检测图像未识别出所述第一特征， 则所述输出模块输出所述基片 在所述机械手上悬挂到位的信息； 当所述图像对比模块在所述检测图像识别出所述多个第 一特征， 则所述输出模块输出所述机械手上未挂所述基片的信息； 当所述图像对比模块在 所述检测图像识别出部 分所述第一特征， 则所述输出模块输出所述基片在所述机械手上未 挂到位的信息；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115289969 A 2所述转架上设有多个第 二特征； 当所述图像对比模块在所述检测图像未识别出所述第 二特征， 则所述输出模块输出所述基片在所述机械手上悬挂到位的信息； 当所述图像对比 模块在所述检测图像识别出所述多个第二特征， 则所述输出模块输出所述转架上未挂所述 基片的信息； 当所述图像对比模块在所述检测图像识别出部分所述第二特征， 则所述输出 模块输出 所述基片在所述 转架上未悬挂到位的信息 。 10.根据权利要求8所述的检测装置， 其特 征在于， 所述检测装置还 包括： 显示模块， 与所述输出模块连接， 用于显示所述输出模块输出端的所述位置异常的信 息和所述 位置正常的信息； 控制模块， 与所述图像获取模块、 所述图像对比模块、 所述输出模块及所述显示模块连 接。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115289969 A 3