(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210999466.1 (22)申请日 2022.08.19 (71)申请人 宁波江丰电子材 料股份有限公司 地址 315400 浙江省宁波市余 姚市经济开 发区名邦科技工业园区安 山路 (72)发明人 姚力军　潘杰　刘胜秀　王学泽　 (74)专利代理 机构 北京远智汇知识产权代理有 限公司 1 1659 专利代理师 牛海燕 (51)Int.Cl. B23B 1/00(2006.01) B23B 5/00(2006.01) G01N 1/28(2006.01) G01N 1/44(2006.01) (54)发明名称 一种用于铜材晶粒观测的表面处 理方法 (57)摘要 本发明涉及一种用于铜材晶粒观测的表面 处理方法， 所述表面处理方法包括对铜材依次进 行的第一保温、 第一车削、 第二保温和第二车削； 所述第一保温的温度＞所述第二保温的温度； 所 述第一车削所用刀具为硬质合金刀， 所述第二车 削的刀具为金刚石车刀。 本发明提供的表面处理 方法， 通过引入 特定的保温过程和特定的车削过 程， 实现了靶 材中制备过程中所用铜材晶粒的高 效观察， 经本发明的表面处理方法处理后， 可 以 直接目视确认铜材的晶粒分布是否存在异常， 实 现靶材制备 前所用铜材的高效率筛 选。 权利要求书1页 说明书8页 附图4页 CN 115351304 A 2022.11.18 CN 115351304 A 1.一种用于铜材晶粒观测的表面处理方法， 其特征在于， 所述表面处理方法包括对铜 材依次进行的第一保温、 第一车削、 第二保温和第二车削； 所述第一保温的温度＞所述第二保温的温度； 所述第一车削所用刀具为硬质合金刀， 所述第二车削的刀具为金刚石车刀。 2.如权利要求1所述表面处 理方法， 其特 征在于， 所述第一保温的温度为 450‑570℃。 3.如权利要求1或2所述表面处 理方法， 其特 征在于， 所述第一保温的时间为20 ‑30min。 4.如权利要去1 ‑3任一项所述表面处理方法， 其特征在于， 所述第一车削中的主轴转速 为180‑200r/min。 5.如权利要去1 ‑4任一项所述表面处理方法， 其特征在于， 所述第一车削中的进给量为 0.3‑0.33mm/r。 6.如权利 要去1‑5任一项所述表面处理方法， 其特征在于， 所述第二保温的温度为300 ‑ 400℃； 优选地， 所述第二保温的时间为6 0‑90min。 7.如权利要去1 ‑6任一项所述表面处理方法， 其特征在于， 所述第二车削中的主轴转速 为290‑310r/min。 8.如权利要去1 ‑7任一项所述表面处理方法， 其特征在于， 所述第二车削中的车削量为 0.3‑0.32mm。 9.如权利要去1 ‑8任一项所述表面处理方法， 其特征在于， 所述第二车削中的进给量为 0.07‑0.08mm/r。 10.如权利要去1 ‑9任一项所述表面处理方法， 其特征在于， 所述表面处理方法包括对 铜材依次进行的第一保温、 第一车削、 第二保温和第二车削； 所述第一保温的温度＞所述第二保温的温度； 所述第一保温的温度为450 ‑570℃； 所述 第一保温的时间为20 ‑30min； 所述第二保温的温度为300 ‑400℃； 所述第二保温的时间为 60‑90min； 所述第一车削所用刀具为硬质合金刀， 所述第二车削的刀具为金刚石车刀； 所述第一 车削中的主轴转速为180 ‑200r/min； 所述第一车削中的进给量为0.3 ‑0.33mm/r； 所述第二 车削中的主轴转速为290 ‑310r/min； 所述第二车削中的车削量为0.3 ‑0.32mm； 所述第二车 削中的进给量 为0.07‑0.08mm/r。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115351304 A 2一种用于铜材晶粒观测的表面处理 方法 技术领域 [0001]本发明涉及靶材 领域， 具体涉及一种用于铜材晶粒观测的表面处 理方法。 背景技术 [0002]目前， 靶材作为溅射镀膜的常用材料， 其使用性能尤其受人关注， 而对使用性能影 响尤为显著的是靶材材料中晶粒的情况， 如过大， 过小或异常分布 等。 当前对靶 材晶粒的调 控主要通过制备 过程进行控制。 [0003]如CN113458307A公开了一种 铝铜靶材加工方法， 包括以下步骤： (1)将原始铸锭加 热到合适的温度， 并保温； (2)对加热后的原始铸锭沿高度方向镦粗； (3)对镦粗后的铸锭沿 径向进行锻打拔长； (4)重复步骤(2)、 (3)至少2次， 且每重复一次后均对铸锭进 行一次中间 退火处理； (5)采用模锻方式进行锻打， 得到成品毛坯； (6)对成品毛坯进行最终退火处理， 得到铝铜靶 材； 其中， 步骤(3)中每次锻打后转动相应角度， 进 行圆周锻打， 使其锻打后的横 截面接近圆形。 采用该方案加工铝铜靶 材， 不仅可以改善组织的不均匀， 也可保证靶材组织 的均匀性， 有效的细化晶粒。 同时不用过多的去除侧边材料， 提高了材料利用率， 降低了成 本。 [0004]CN111286702A公开了一种旋转银铜靶材及其制备方法。 该方法包括以下步骤： (1) 制备粒径D10 ≥20 μm， D90≤70 μm的银铜粉末； (2)以不锈钢管或钛管作为靶材基管， 对靶材 基管依次进 行表面喷砂处理和打底处理； (3)冷喷涂： 将打底处理后的靶材基管安装在传动 设备上， 使靶材基管绕其中心轴转动， 喷枪沿靶材基管的水平方向相对往返移动， 启动冷却 装置后， 将银铜粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管表面， 沉积形成涂层， 得到靶材。 该制备工 艺简单、 操作方便， 适合大规模工业生产， 所制得的旋转银铜靶材纯度高， 尺 寸不受限制， 厚 度可达到3‑12mm， 长度可达 到4000mm， 氧含量低， 晶粒尺寸小。 [0005]但针对铜旋转靶材时， 在制 备前需要对原料铜管的表面晶粒情况观测， 以确保制 备过程中所用管材无晶粒异常的情况， 然而当天针对铜管表面晶粒的确认过程为车床对表 面加工后再经过酸洗腐蚀铜表 面， 使晶粒显 现明显， 但该过程仍存在过程复杂， 且铜表面酸 洗过程使用的是硝酸， 硝酸挥发后如果被人吸入 对人体有很大的危害的问题。 发明内容 [0006]鉴于现有技术中存在的问题， 本发明的目的在于提供一种用于铜材晶粒观测的表 面处理方法， 解决当前铜材表面晶粒观测中存在的效率低下， 精度差， 处理过程复杂的问 题。 [0007]为达此目的， 本发明采用以下技 术方案： [0008]本发明提供了一种用于铜材晶粒观测的表面处理方法， 所述表面处理方法包括对 铜材依次进行的第一保温、 第一车削、 第二保温和第二车削； [0009]所述第一保温的温度＞所述第二保温的温度； [0010]所述第一车削所用刀具为硬质合金刀， 所述第二车削的刀具为金刚石车刀。说　明　书 1/8 页 3 CN 115351304 A 3