(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211065266.5 (22)申请日 2022.08.31 (71)申请人 北京七星华创集成电路装备有限公 司 地址 101312 北京市顺 义区天竺综合保税 区竺园三 街6号 (72)发明人 丁同周　孙增强　 (74)专利代理 机构 北京天昊联合知识产权代理 有限公司 1 1112 专利代理师 彭瑞欣　王婷 (51)Int.Cl. B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 晶圆翻转装置和晶圆清洗设备 (57)摘要 本发明提供一种晶圆翻转装置， 包括翻转组 件和夹持组件， 夹持组件包括 驱动装置和多个夹 持结构， 夹持结构具有多个第一夹持部和多个第 二夹持部， 多个第一夹持部沿夹持结构对应的转 轴的轴向间隔分布， 多个第二夹持部沿夹持结构 对应的转轴的轴向间隔分布， 多个夹持结构对应 的转轴相互平行， 驱动装置用于驱动每个夹持结 构绕对应的转轴旋转， 以驱动轴向位置对应的多 个第一夹持部夹持对应轴向位置的工艺前晶圆， 或者驱动轴向位置对应的多个第二夹持部夹持 对应轴向位置的工艺后晶圆； 翻转组件用于驱动 夹持组件翻转， 以使夹持组件带动其夹持的晶圆 一同翻转。 本发 明提供的晶圆翻转装置能够保证 晶圆表面的洁净度。 本发明还提供一种晶圆清洗 设备。 权利要求书2页 说明书11页 附图12页 CN 115301625 A 2022.11.08 CN 115301625 A 1.一种晶圆翻转装置， 其特征在于， 包括翻转组件和夹持组件， 所述夹持组件包括驱动 装置和多个夹持结构， 所述夹持结构具有多个第一夹持部和多个第二夹持部， 多个所述第 一夹持部沿所述夹持结构对应的转轴的轴向间隔分布， 多个所述第二夹持部沿所述夹持结 构对应的转轴的轴向间隔分布， 多个所述夹持结构对应的转轴相互平行， 所述驱动装置用 于驱动每个所述夹持结构绕对应的转轴旋转， 以驱动轴向位置对应的多个所述第一夹持部 夹持对应轴向位置的工艺前晶圆， 或者驱动轴向位置对应的多个所述第二夹持部夹持对应 轴向位置的工艺后晶圆； 所述翻转组件用于驱动所述夹持组件翻转， 以使所述夹持组件带 动其夹持的 晶圆一同翻转。 2.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置， 其特征在于， 所述翻转组件包括第 一安装座和 中空转台， 所述中空转台固定设置在所述第一安装座上， 所述中空转台的旋转部与所述夹 持组件连接， 以驱动所述夹持组件翻转。 3.根据权利要求2所述的晶圆翻转装置， 其特征在于， 所述夹持组件还包括连接座， 所 述连接座包括顶板、 底板、 第一侧板和第二侧板， 所述顶板与所述底板相对间隔设置， 所述 第一侧板和所述第二侧板分别由所述顶板和所述底板相对的两侧将所述顶板与所述底板 固定连接， 所述夹持组件包括四个所述夹持结构， 所述夹持结构的顶端及底端分别与所述 顶板和所述底板活动连接， 所述顶板及所述底板未与侧板连接的两侧分别形成为所述夹持 组件的第一走片口和第二走片口； 四个所述夹持结构中的两个对应设置在所述第 一走片口的两侧， 另外两个对应设置在 所述第二走片口的两侧， 使所述晶圆能够由与所述第一走片口对应的两个所述夹持结构之 间进出位于四个所述夹持结构之间的晶圆容置空间， 或者由与所述第二走片口对应的两个 所述夹持结构之间进出 所述晶圆容置空间； 所述中空转台的所述旋转部与所述第一侧板固定连接 。 4.根据权利要求3所述的晶圆翻转装置， 其特征在于， 所述第一侧板上形成有接线孔， 所述接线孔与所述中空转台的旋转部的内孔连通， 所述夹持组件还包括至少一根供电线 缆， 所述供电线缆的一端与所述驱动装置连接， 所述供电线缆的另一端依 次穿过所述接线 孔以及所述旋转部的内孔且用于与电源连接 。 5.根据权利要求4所述的晶圆翻转装置， 其特征在于， 所述夹持组件还包括指针， 所述 指针的第一端与所述第一侧板固定连接， 所述指针的第二端沿背离所述第二侧板方向延伸 并穿过所述旋转部的内孔； 所述翻转组件还包括多个旋转传感器， 多个所述旋转传感器环绕所述旋转部的内孔设 置， 用于检测所述指针的第二端的位置， 以确定所述夹持组件的旋转角度。 6.根据权利要求3所述的晶圆翻转装置， 其特征在于， 所述夹持组件还包括第 一晶圆传 感器和至少一个第二晶圆传感器， 所述第一晶圆传感器用于检测多个所述夹持结构是否承 载有晶圆； 所述第二晶圆传感器用于检测多个所述夹持结构承载的所述晶圆在沿所述第二 走片口指向所述第一走片口 的方向上 是否由所述夹持结构脱出。 7.根据权利要求6述的晶圆翻转装置， 其特征在于， 所述第 一晶圆传感器包括第 一信号 发射器和 第一信号接收器， 所述第一信号发射器与所述第一信号接收器中的一者设置在所 述顶板对应于所述第一走片口一侧的边缘上， 另一者设置在所述底板上对应于所述第一走 片口一侧的边缘处， 所述第一信号接 收器用于接 收所述第一信号发射器发出 的第一信号，权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115301625 A 2且所述第一信号能够 在所述夹持结构承载有晶圆时被所述晶圆遮挡； 所述第二晶圆传感器包括第 二信号发射器和第 二信号接收器， 所述第 二信号发射器与 所述第二信号接收器中的一者设置在所述顶板对应于所述第一走片口一侧的边缘上， 另一 者设置在所述底板上对应于所述第一走片口一侧的边缘处， 所述第二信号接收器用于接收 所述第二信号发射器发出的第二信号， 且所述第二信号能够被由所述夹持结构脱 出的所述 晶圆遮挡。 8.根据权利要求3至7中任意一项所述的晶圆翻转装置， 其特征在于， 所述晶圆翻转装 置还包括支撑组件， 所述支撑组件包括第二安装座和支撑轴， 所述支撑轴活动设置在所述 第二安装座上且能够绕自身轴线旋转， 所述支撑轴与所述中空转台同轴， 所述支撑轴的一 端与所述夹持组件的第二侧板固定连接 。 9.根据权利要求1至7中任意一项所述的晶圆翻转装置， 其特征在于， 所述第一夹持部 和所述第二夹持部中均形成有用于夹持晶圆的晶圆固定槽， 所述晶圆固定槽的底部沿对应 的转轴的轴线方向的投影形状为圆弧形。 10.一种晶圆清洗设备， 其特征在于， 所述晶圆清洗设备包括进片侧运输装置、 出片侧 运输装置、 清洗槽和权利要求1至9中任意一项所述的晶圆翻转装置， 所述进片侧运输装置 用于将待清洗晶圆水平放入所述晶圆翻转装置中， 以及由所述晶圆翻转装置中取出水平放 置的清洗后的晶圆， 所述出片侧运输装置用于由所述晶圆翻转装置中取出竖直放置的所述 待清洗晶圆并将所述待清洗晶圆传输至所述清洗槽中， 以及将所述清洗后的晶圆由所述清 洗槽中取出并竖直 放入所述晶圆翻转装置中； 所述清洗 槽用于清洗晶圆。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115301625 A 3