(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222475058.4 (22)申请日 2022.09.19 (73)专利权人 合肥中科星翰科技有限公司 地址 230088 安徽省合肥市高新区习友路 2666号中科院合肥技术创新工程院研 发楼603、 604室 (72)发明人 韦虎　倪化生　黄炫　 (74)专利代理 机构 合肥律众知识产权代理有限 公司 34147 专利代理师 夏舜 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 9/093(2006.01) (54)实用新型名称 一种芯片表面 缺陷检测装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种芯片表面缺陷检测 装置， 涉及芯片检测技术领域， 包括芯片外观检 测仪， 所述 芯片外观检测仪的内侧壁上开设有滑 槽， 所述滑槽内滑动连接有托盘， 所述托盘表面 等距开设有多个槽口， 多个所述槽口底部均设置 有用于放置芯片的存放盒， 所述存放盒内设置有 抵接板， 所述抵接板一侧壁设置有定位杆， 所述 定位杆一端贯穿存放盒一侧壁， 且定位杆一端套 设有弹簧， 所述托盘下表面设置有固定块， 所述 定位杆一端贯穿固定块， 且定位杆外壁上设置有 限位圈， 所述弹簧两端分别与固定块和限位圈相 抵接。 本实用新型便于定位芯片的检测位置， 减 少芯片在运送过程中发生位置偏移或掉落的可 能， 提高检测作业的稳定性。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 218098917 U 2022.12.20 CN 218098917 U 1.一种芯片表面缺陷检测装置， 包括芯片外观检测仪(1)， 所述芯片外观检测仪(1)的 内侧壁上开设有滑槽(2)， 所述滑槽(2)内滑动连接有托盘(3)， 其特征在于， 所述托盘(3)表 面等距开设有多个槽口(4)， 多个所述槽口(4)底部均设置有用于放置 芯片的存放 盒(5)， 所 述存放盒(5)内设置有抵接板(6)， 所述抵接板(6)一侧壁设置有定位杆(7)， 所述定位杆(7) 一端贯穿存放盒(5)一侧壁， 且定位杆(7)一端套设有弹簧(8)， 所述托盘(3)下表面设置有 固定块(9)， 所述定位杆(7)一端贯穿固定块(9)， 且定位杆(7)外壁上设置有限位圈(10)， 所 述弹簧(8)两端分别与固定块(9)和限位圈(10)相抵接， 所述定位杆(7)一端通过设置有驱 动机构(1 1)带动抵 接板(6)在存放盒(5)内滑 移， 并抵接芯片的放置位置 。 2.根据权利要求1所述的一种芯片表面缺陷检测装置， 其特征在于， 所述抵接板(6)的 一侧壁设置有海绵垫(12)。 3.根据权利要求1所述的一种芯片表面缺陷检测装置， 其特征在于， 所述驱动机构(11) 包括安装条(111)和电动伸缩杆(112)， 所述安装条(111)设置在纵向同一列多根所述定位 杆(7)的一端处， 所述电动伸缩杆(112)设置在托盘(3)的下表面处， 且电动伸缩杆(112)的 输出轴和安装条(1 11)靠近定位杆(7)的一侧壁活动抵 接。 4.根据权利要求1所述的一种芯片表面缺陷检测装置， 其特征在于， 所述芯片外观检测 仪(1)的两边内侧壁分别开设有安装槽(13)， 所述安装槽(13)内设置有安装 杆(14)， 所述安 装杆(14)上铰接设置有安装板(15)， 所述安装板(15)一侧壁设置成倾斜面， 且安装板(15) 的水平位置高度高于托盘(3)的水平位置高度。 5.根据权利要求4所述的一种芯片表面缺陷检测装置， 其特征在于， 所述安装板(15)一 边设置有一组套环(16)， 一组所述套环(16)套设在安装杆(14)上， 所述安装板(15)的倾斜 面上设置有一组吹尘风机(17)， 所述吹尘风机(17)的输出端朝向托盘(3)表面的一侧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218098917 U 2一种芯片表面缺陷检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及芯片检测技 术领域， 具体是一种芯片表面 缺陷检测装置 。 背景技术 [0002]在芯片生产制造过程中， 各工艺流程环环相扣， 技术复杂， 材料、 环境、 工艺参数等 因素的微变常导致芯片产生缺陷， 影响产品良率。 芯片质量检测作为芯片生产线中的关键 环节， 可以积极地反馈产品质量信息。 芯片检测主要分为物理性检测和电性能检测。 物理性 检测主要可分为封装前的芯片表面 缺陷检测 和封装后的封装体缺陷检测。 [0003]芯片制造过程中产生的表面缺陷大致可划分为原 材料不良、 异物、 划伤、 Bu mp元件 缺陷(凸起、 错位或缺失)、 金属性污染物和蚀刻液脏污残留。 此外， 芯片制造过程中还会产 生如蚀刻锈斑、 电镀过多、 异色和金属线损坏等小样本缺陷。 [0004]目前的芯片制造过程中是通过芯片外观检测仪进行芯片表面缺陷检测作业， 是通 过芯片外观检测仪的拍摄端拍摄芯片， 并根据光学镜头转换为图象数据信号， 传送至后台 专用图像处理系统， 获得清晰度遍布、 色度、 色调等相关信息， 测算剖析芯片是否存在表面 缺陷问题。 [0005]现有的检测过程中， 是将芯片直接放置在托盘上， 不便定位芯片， 使芯片在运送过 程中存在发生位置偏移或掉落的可能， 进而影响检测作业的稳定性， 同时当托盘内放置不 同尺寸规格的芯片时， 芯片的存放位置不一易造成芯片外观检测仪摄像采集后的检测分析 发生误判。 实用新型内容 [0006]针对现有芯片表面缺陷检测过程中存在的上述技术问题， 本实用新型提供一种芯 片表面缺陷检测装置 。 [0007]一种芯片表面缺陷检测装置， 包括芯片外观检测仪， 所述芯片外观检测仪 的内侧 壁上开设有滑槽， 所述滑槽内滑动连接有托盘， 所述托盘表 面等距开设有多个槽口， 多个所 述槽口底部均设置有用于放置芯片的存放盒， 所述存放盒内设置有抵接板， 所述抵接板一 侧壁设置有定位杆， 所述定位杆一端贯穿存放 盒一侧壁， 且定位杆一端套设有弹簧， 所述托 盘下表面设置有固定块， 所述定位杆一端贯穿固定块， 且定位杆外壁上设置有限位圈， 所述 弹簧两端分别与固定块和限位圈相抵接， 所述定位杆一端通过设置有驱动机构带动抵接板 在存放盒内滑 移， 并抵接芯片的放置位置 。 [0008]进一步的， 所述抵 接板的一侧壁设置有海绵垫 。 [0009]进一步的， 所述驱动机构包括安装条和电动伸缩杆， 所述安装条设置在纵向同一 列多根所述定位杆的一端处， 所述电动伸缩杆设置在托盘的下表面处， 且电动伸缩杆的输 出轴和安装条靠 近定位杆的一侧壁活动抵 接。 [0010]进一步的， 所述芯片外观检测仪 的两边内侧壁分别开设有安装槽， 所述安装槽内 设置有安装杆， 所述安装杆上铰接 设置有安装板， 所述安装板一侧壁设置成倾斜面， 且安装说　明　书 1/3 页 3 CN 218098917 U 3