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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222347597.X (22)申请日 2022.09.03 (73)专利权人 北京北方华创真空技 术有限公司 地址 102600 北京市大兴区北京经济技 术 开发区文昌大道8号1幢401室 (72)发明人 常晓鱼 陈辉 黄鸣  (74)专利代理 机构 北京维正专利代理有限公司 11508 专利代理师 陈永军 (51)Int.Cl. B62B 3/02(2006.01) B62B 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 单晶炉导 流筒搬运小车 (57)摘要 本申请涉及单晶炉的技术领域, 尤其是涉及 一种单晶炉导流筒搬运小车, 包括车架及安装在 车架上的承托装置。 承托装置包括高度调节组 件、 横向调节组件及承托组件。 高度调节组件安 装在车架上, 横向调节组件安装在高度调节组件 远离车架的一端, 横向调节组件与高度调节组件 相互垂直。 承托组件安装在横向调节组件远离高 度调节组件的一端, 承托组件用于承托导流筒。 本申请具有便于对不同尺寸的导流筒进行搬运 的效果。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217892898 U 2022.11.25 CN 217892898 U 1.一种单晶炉导流筒搬运小车, 其特征在于: 包括车架 (1) 及安装在所述车架 (1) 上的 承托装置 (2) , 所述承托装置 (2) 包括高度调节组件 (21) 、 横向调节组件 (22) 及承托组件 (23) , 所述高度调节组件 (21) 安装在所述车架 (1) 上, 所述横向调节组件 (22) 安装在所述高 度调节组件 (21) 远离所述车架 (1) 的一端, 所述横向调节组件 (22) 与所述高度调节组件 (21) 相互垂直, 所述承托组件 (23) 安装在所述横向调节组件 (22) 远离所述高度调节组件 (21) 的一端, 所述承托组件 (23) 用于承托 导流筒 (3) 。 2.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒搬运小车, 其特征在于: 所述承托装置 (2) 至少 设置有两个, 两个所述承托装置 (2) 相对设置 。 3.根据权利要求2所述的单晶炉导流筒搬运小车, 其特征在于: 所述承托装置 (2) 设置 有三个, 三个所述承托装置 (2) 呈三角形分布。 4.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒搬运小车, 其特征在于: 所述承托组件 (23) 包括 托块 (231) 及托架 (232) , 所述托架 (232) 呈L形设置, 所述托架 (232) 的一端与所述横向调节 组件 (22) 连接, 所述托块 (231) 安装在所述托架 (232) 的另一端, 所述托块 (231) 呈弧形设 置, 所述托块 (231) 的两端延伸至所述托架 (232) 的外侧, 所述托块 (231) 用于为导流筒 (3) 提供承托 位置。 5.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒搬运小车, 其特征在于: 所述高度调 节组件 (21) 为由两个杆状 体套设形成的套杆 结构。 6.根据权利要求5所述的单晶炉导流筒搬运小车, 其特征在于: 所述套杆结构包括支撑 杆 (211) 、 方管 (212) 、 定位螺栓 (213) , 所述支撑杆 (211) 安装在所述车架 (1) 上, 所述方管 (212) 滑动套设在所述支撑杆 (211) 远离所述车架 (1) 的一端, 所述方管 (212) 上贯穿开设有 多个调节螺孔 (2121) , 所述支撑杆 (211) 上开设有连接螺孔 (2111) , 所述连接螺孔 (2111) 的 轴线与所述调节螺孔 (2121) 的轴线重合, 所述定位螺栓 (213) 分别插设在所述调节螺孔 (2121) 和所述连接螺孔 (2111) 内, 所述方管 (212) 远离所述支撑杆 (211) 的一端与所述横向 调节组件 (2 2) 连接。 7.根据权利要求6所述的单晶炉导流筒搬运小车, 其特征在于: 多个所述调节螺孔 (2121) 沿所述方 管 (212) 的长度方向均匀分布。 8.根据权利要求6所述的单晶炉导流筒搬运小车, 其特征在于: 所述横向调 节组件 (22) 包括调节螺栓 (221) 及定位螺母 (222) , 所述调节螺栓 (221) 安装在所述方管 (212) 远离所述 支撑杆 (211) 的一端, 所述调节螺栓 (221) 插设在所述调节螺孔 (2121) 内, 所述调节螺栓 (221) 的两端分别穿出所述调节螺孔 (2121) , 所述定位螺母 (222) 套设在所述调节螺栓 (221) 上, 所述定位螺母 (222) 背离所述调节螺栓 (221) 的一侧固定连接在所述承托组件 (23) 上。 9.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒搬运小车, 其特征在于: 所述车架 (1) 包括连接 杆 (11) 及万向轮 (12) , 所述连接杆 (11) 设置有多个, 多个所述连接杆 (11) 首尾相连, 所述高 度调节组件 (21) 安装在 多个所述连接杆 (11) 的连接处, 所述万向轮 (12) 安装在 多个所述连 接杆 (11) 的连接处, 所述万向轮 (12) 位于所述连接杆 (11) 背离所述高度调节组件 (21) 的一 侧。 10.根据权利要求9所述的单晶炉导流筒搬运小车, 其特征在于: 所述连接杆 (11) 与所 述高度调节组件 (21) 之间设置有加强筋 (13) 。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217892898 U 2单晶炉导流筒搬运 小车 技术领域 [0001]本申请涉及单晶炉的技 术领域, 尤其是 涉及一种单晶炉导 流筒搬运小车。 背景技术 [0002]目前, 使用单晶炉制作单晶棒时, 通常采用直拉法, 该方法是将多晶硅放入单晶炉 内, 进行高温融化后, 再经过多道工序, 完成单晶硅棒的拉制。 然后, 待单晶炉冷却后, 需要 对单晶炉内的导流筒进行清理。 在清理单 晶炉内的导流筒时, 需要先将导流筒从单 晶炉内 取出, 并采用小车将导 流筒搬运到指定位置, 再进行清理。 [0003]导流筒呈圆筒状, 且悬挂在单晶筒的中炉腔内。 [0004]针对上述中的相关技术: 一种小车只能用于搬运一种导流筒, 而不同种类的导流 筒的尺寸大小不同, 因此在搬运不同种类的导流筒时, 需要选用相应的小 车来进行搬运, 操 作较为繁琐。 实用新型内容 [0005]为了便于对不同尺寸的导流筒进行搬运, 本申请提供一种单晶炉导流筒搬运小 车。 [0006]本申请提供的一种单晶炉导 流筒搬运小车采用如下的技 术方案: [0007]一种单晶炉导流筒搬运小车, 包括车架及安装在所述车架上的承托装置, 所述承 托装置包括高度调节组件、 横向调节组件及承托组件, 所述高度调节组件安装在所述车架 上, 所述横向调节组件安装在所述高度调节组件远离所述车架的一端, 所述横向调节组件 与所述高度调节组件相互垂 直, 所述承托组件安装在所述横向调节组件远离所述高度调节 组件的一端, 所述承托组件用于承托 导流筒。 [0008]通过采用上述技术方案, 高度调节组件能够调节横向调节组件及承托组件与车架 之间的距离, 横向调节组件能够调节承托组件的横向位置, 从而便于根据导流筒的尺寸, 调 整承托组件的位置, 进而便于将导流筒放置在搬运小车上, 有利于对不同尺寸的导流筒进 行搬运。 [0009]可选的, 所述承托装置 至少设置有两个, 两个所述承托装置相对设置 。 [0010]通过采用上述技术方案, 两个承托装置相对设置, 使得导流筒能够放置在承托装 置上, 从而便 于利用搬运小车对导 流筒进行搬运。 [0011]可选的, 所述承托装置设置有三个, 三个所述承托装置呈三角形分布。 [0012]通过采用上述技术方案, 三个承托装置呈三角形分布, 从而使得导流筒能够稳定 放置在承托装置上, 进 而有利于导 流筒放置在承托装置上后, 出现晃动或翻倒的可能性。 [0013]可选的, 所述承托组件包括托块及托架, 所述托架呈L形设置, 所述托架的一端与 所述横向调节组件连接, 所述托块安装在所述托架的另一端, 所述托块呈弧形设置, 所述托 块的两端延伸至所述 托架的外侧, 所述 托块用于为 导流筒提供承托 位置。 [0014]通过采用上述技术方案, 托块呈弧形设置, 使得托块能够与导流筒的周向外壁贴说 明 书 1/4 页 3 CN 217892898 U 3

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